CN205785568U - 一种真空热处理设备的测温系统 - Google Patents

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卢国英
石昌仑
石武昌
兰睿
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Changzhou Quark Coating Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种真空热处理设备的测温系统。将热电偶测温端固定在一个热电偶夹具(3)上,热电偶夹具(3)夹在工件转架(2)上,热电偶接线端(4)从真空室(1)顶部探出,在真空室(1)顶部装有旋转轴(5),旋转轴(5)处为动密封结构。在真空热处理设备中,用独特的旋转密封机构以及负偏压隔离技术,使得热电偶随工件旋转,并加载负偏压,从而能更好地监测并控制工件的温度。在保证产品质量及均匀性的同时,降低工件被回火的风险。

Description

一种真空热处理设备的测温系统
技术领域
本实用新型涉及真空热处理技术领域,尤其涉及一种真空热处理设备的测温系统。
背景技术
目前真空热处理设备,比如真空离子渗氮,真空涂层设备中,温度的测量往往是热电偶伸入真空10cm的空间中,处于静止状态。由于工件上加载有偏压,并且处于旋转状态,与热电偶处于相对运动中,所以热电偶测得的温度与工件的实际温度偏差较大,从而影响了工艺的稳定性及产品品质。
实用新型内容
为了克服现有技术热电偶测得的温度与工件的实际温度偏差较大的技术问题,本实用新型提供了一种真空热处理设备的测温系统。
本实用新型提供了一种真空热处理设备的测温系统,将热电偶测温端固定在一个热电偶夹具上,热电偶夹具夹在工件转架上,热电偶接线端从真空室顶部探出,在真空室顶部装有旋转轴,旋转轴处为动密封结构。
优选的,在真空室外面,热电偶与传感器之间通过旋转接头转换信号,并装有负偏压隔离装置。负偏压隔离装置与旋转接头出来的信号线相连,这样可以隔离工件上加载的负偏压对于温度信号的影响,从而得到更为真实可靠的温度值。
优选的,热电偶夹具上、中、下位置依次设置一组热电偶。
有益效果:在真空热处理设备中,用独特的旋转密封机构以及负偏压隔离技术,使得热电偶随工件旋转,并加载负偏压,从而能更好地监测并控制工件的温度。在保证产品质量及均匀性的同时,降低工件被回火的风险。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的一种真空热处理设备的测温系统结构图。
具体实施方式
为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型,而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部内容。
请参照图1,本实施例的真空热处理设备的测温系统,将热电偶测温端固定在一个热电偶夹具3上,热电偶夹具3夹在工件转架2上,热电偶接线端4从真空室1顶部探出,在真空室1顶部装有旋转轴5,旋转轴5处为动密封结构。
在真空室1外面,热电偶与传感器之间通过旋转接头转换信号,并装有负偏压隔离装置。负偏压隔离装置与旋转接头出来的信号线相连,这样可以隔离工件上加载的负偏压对于温度信号的影响,从而得到更为真实可靠的温度值。
热电偶夹具3上、中、下位置依次设置一组热电偶。
在真空室纵向方向上,从上到下装置了3组热电偶,能够准确的反映真空室纵向温度变化。热电偶工作时,固定热电偶的夹具随工件转架一起转动,从而能得到更为准确的温度
在加载负偏压轰击过程中,测得的温度比传统的测量方式测得的温度高100℃以上。
验证:放入高速钢样片,加载负偏压持续轰击4小时,传统测温方式测得的温度大约为450度左右,而我们测得的温度为550℃,样片最终检测洛氏硬度有明显下降,说明炉内温度已经超过了高速钢的回火温度(530℃),从而验证了我们的测温方式更为准确。
在保证产品质量及均匀性的同时,降低工件被回火的风险。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (3)

1.一种真空热处理设备的测温系统,其特征在于,将热电偶测温端固定在一个热电偶夹具(3)上,热电偶夹具(3)夹在工件转架(2)上,热电偶接线端(4)从真空室(1)顶部探出,在真空室(1)顶部装有旋转轴(5),旋转轴(5)处为动密封结构。
2.根据权利要求1所述的真空热处理设备的测温系统,其特征在于,在真空室(1)外面,热电偶与传感器之间通过旋转接头转换信号,并装有负偏压隔离装置,与旋转接头出来的信号线相连。
3.根据权利要求1所述的真空热处理设备的测温系统,其特征在于,热电偶夹具(3)上、中、下位置依次设置一组热电偶。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109405988A (zh) * 2018-12-22 2019-03-01 湖南玉丰真空科学技术有限公司 一种真空室内在线运动监控温度测量装置
CN109837520A (zh) * 2018-12-20 2019-06-04 兰州空间技术物理研究所 电压和测温信号同轴传导的旋转工件的转轴及安装方法

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