CN205723585U - 一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体和电池片入口，该刻蚀机主体顶部中间位置设有平行与电池片入口的中间挡板；中间挡板的两端分别垂直设有侧面盖板；刻蚀机主体平行于中间挡板的两个顶边上分别设有转动槽；转动槽内分别活动连接位于中间挡板两侧的盖板；刻蚀机主体内设有紧贴刻蚀机主体内侧壁的“日”字形引流槽。本实用新型自动回流原液，结构设计合理，不仅大大提高了生产效率，而且延长了机器使用寿命，提高了原液的利用效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池基片刻蚀技术领域，具体涉及一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机。
背景技术
在太阳能电池的生产制造工艺中，要用到一个关键设备就是刻蚀机。使用刻蚀机的目的是清洗太阳电池背面的一些杂质离子或者利用化学反应去除太阳电池背面一些不需要的物质。刻蚀机的原理是在一个长方体的槽体内装入反应用的化学药品原液，太阳能电池在刻蚀机内部通过时，其背面与原液接触进行反应，达到刻蚀、清洗的目的。
在这一过程中，因为刻蚀机内部填充的原液是具有挥发性的化学药品，原液在反应中极易挥发并凝结在刻蚀机的盖板上，传统的刻蚀机盖板平行于刻蚀机槽体设计，当盖板上凝结的原液足够多时，就会在太阳能电池片刻蚀过程中滴落到太阳能电池的正面，而造成太阳能电池的报废。为了避免这种现象的产生，在生产过程中通常采用的做法是刻蚀机使用一段时间后，取下盖板擦拭干净原液后继续使用，既导致了生产效率的极度低下，又缩短了刻蚀机的使用寿命，并且造成了原液的极大浪费。
发明内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术存在的问题，提供一种设计合理，提高生产效率，延长使用寿命，提高原液利用率，可自动回流原液的用于太阳能电池基片刻蚀的的等离子体刻蚀机。
为实现上述目的，本实用新型所述的一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体和电池片入口，其特征在于：所述刻蚀机主体顶部中间位置设有平行与所述电池片入口的中间挡板；所述中间挡板的两端分别垂直设有侧面盖板；所述刻蚀机主体平行于所述中间挡板的两个顶边上分别设有转动槽；所述转动槽内分别通过连接件活动连接位于所述中间挡板两侧的盖板；所述刻蚀机主体内设有紧贴刻蚀机主体内侧壁的“日”字形引流槽。
所述中间挡板的高度大于等于所述刻蚀机主体长度的二分之一，该中间挡板的宽度等于所述刻蚀机主体的宽度。
所述盖板的盖板外表面与连接盖板内表面的连接边之间的夹角α为45°角。
所述引流槽的四个顶角上设有回流孔。
本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：
本实用新型由于采用上述结构，挥发到盖板、侧面盖板及中间挡板的原液最终沿板壁回落到引流槽内，再通过回流孔回流到刻蚀机内部，不用定期擦拭，可见，一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，自动回流原液，结构设计合理，不仅大大提高了生产效率，而且延长了机器使用寿命，提高了原液的利用效率。
附图说明
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明。
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型盖板示意图。
图中：1.刻蚀机主体，2.引流槽，3.转动槽，4.中间挡板，5.盖板，6.连接件，7.盖板外表面，8.侧面盖板，9.电池片入口，10.连接盖板内表面的连接边。
具体实施方式
如图1、2所示一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体1和电池片入口9，该刻蚀机主体1顶部中间位置设有平行与电池片入口9的中间挡板4；中间挡板4的两端分别垂直设有侧面盖板8；刻蚀机主体1平行于中间挡板4的两个顶边上分别设有转动槽3；转动槽3内分别通过连接件6活动连接位于中间挡板4两侧的盖板5；刻蚀机主体1内设有紧贴刻蚀机主体内侧壁的“日”字形引流槽2。
上述中间挡板4的高度大于等于刻蚀机主体1长度的二分之一，该中间挡板4的宽度等于刻蚀机主体1的宽度。
上述盖板5的盖板外表面7与连接盖板内表面的连接边10之间的夹角α为45°角。
上述引流槽2的四个顶角上设有回流孔（图中未画出）。
太阳能电池刻蚀前，先将盖板5合在中间挡板4上，形成密闭环境；在太阳能电池蚀刻的过程中，太阳能电池在滚轮的作用下，匀速经过刻蚀机主体1，在刻蚀机内太阳能电池背面与原液接触，进行反应，挥发后的原液会在盖板5内表面、侧面盖板8和中间挡板4表面凝结，然后顺着盖板5内表面、侧面盖板8和中间挡板4流向“日”字形回流槽2中，回流槽2中的原液再通过回流孔回流进入刻蚀机内部，进行再利用；当刻蚀机内部需要检修或添加反应原液时，揭开盖板5即可。
Claims (4)
1.一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，包括刻蚀机主体（1）和电池片入口（9），其特征在于：所述刻蚀机主体（1）的顶部中间位置设有平行与所述电池片入口（9）的中间挡板（4）；所述中间挡板（4）的两端分别垂直设有侧面盖板（8）；所述刻蚀机主体（1）平行于所述中间挡板（4）的两个顶边上分别设有转动槽（3）；所述转动槽（3）内分别通过连接件（6）活动连接位于所述中间挡板（4）两侧的盖板（5）；所述刻蚀机主体（1）内设有紧贴刻蚀机主体内侧壁的“日”字形引流槽（2）。
2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述中间挡板（4）的高度大于等于所述刻蚀机主体（1）长度的二分之一，该中间挡板（4）的宽度等于所述刻蚀机主体（1）的宽度。
3.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述盖板（5）的盖板外表面（7）与连接盖板内表面的连接边（10）之间的夹角α为45°角。
4.根据权利要求1所述的一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机，其特征在于：所述引流槽（2）的四个顶角上设有回流孔。
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| CN201620364614.2U CN205723585U (zh) | 2016-04-27 | 2016-04-27 | 一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机 |
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| CN201620364614.2U CN205723585U (zh) | 2016-04-27 | 2016-04-27 | 一种用于太阳能电池基片刻蚀的等离子体刻蚀机 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109626835A (zh) * | 2018-10-18 | 2019-04-16 | 芜湖研历光电科技有限公司 | 一种组立式保护治具 |
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2016
- 2016-04-27 CN CN201620364614.2U patent/CN205723585U/zh not_active Expired - Fee Related
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