CN109626835A - 一种组立式保护治具 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 4
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 125000003003 spiro group Chemical group 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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Abstract
本发明公开了一种组立式保护治具，包括蒸镀机，蒸镀机上的进料口内套装有保护治具，保护治具包括横板和侧板，所述横板和侧板都有两块，所述横板为长方体状，所述侧板为U型，横板的两端连接有所述侧板，两块横板分别连接在侧板的U型端口处，两块横板和两块侧板连接组成口字型保护治具，本发明提出的保护治具采用组合式结构，组合式结构在加工时比较方便且加工成本低，加工后的产品携带方便，组合式结构能够方便的更换横板，不用更换整个保护治具，节省了材料。
Description
技术领域
本发明属于液晶显示产品的加工处理技术领域，具体涉及一种组立式保护治具。
背景技术
液晶显示产品的制造过程中，通常需要对玻璃基板进行干法刻蚀等处理工艺。在干法刻蚀处理过程中，需要保护设备内腔表面，避免设备被刻蚀，影响设备使用寿命，通常的方法是在内腔四周固定硬质阳极氧化部件来对设备进行保护。玻璃基板进出腔体进行干法刻蚀是由Gate部位进出的，原有Gate部位的保护治具为一体式，一体式的保护治具存在以下缺点，保护治具的薄边容易被腐蚀，且整体加工难度大，加工成本高。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提出一种组立式保护治具，以解决背景技术中的全部问题或之一。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种组立式保护治具，包括蒸镀机，蒸镀机上的进料口内套装有保护治具，保护治具包括横板和侧板，所述横板和侧板都有两块，所述横板为长方体状，所述侧板为U型，横板的两端连接有所述侧板，两块横板分别连接在侧板的U型端口处，两块横板和两块侧板连接组成口字型保护治具。
优选的，所述横板包括第一底板、第一上沿板和螺钉孔，所述第一底板和第一上沿板为一体成型，第一上沿板位于第一底板顶端面的内侧，所述螺钉孔位于第一底板两端面上，所述第一底板的底端面上设有螺栓孔。
优选的，所述侧板包括第二底板、第二上沿板和第二螺钉孔，所述第二底板和第二上沿板为一体成型，所述第二上沿板位于第二底板顶端面的内侧，所述第二螺钉孔位于第二底板的两个U型端口处，所述第二底板的底端面上设有螺栓孔。
优选的，所述第一底板和第二底板的厚度为10mm，所述第一上沿板和第二上沿板的厚度为1mm。
优选的，所述第一底板两端面的内侧处设有凹槽，凹槽的宽度为2mm。
优选的，所述第二底板两个U型端口处的内侧设有凸起，凸起的宽度为2mm。
优选的，所述第一底板的一个端面上的螺钉孔的数量为个，所述第二螺钉孔能够和螺钉孔相适配，所述螺钉孔内设有内螺纹，第一底板和第二底板之间通过螺钉连接。
优选的，第一上沿板和第二上沿板位于蒸镀机的进料口的内部，螺栓孔位于蒸镀机的进料口的外部。
优选的，横板和侧板的材质为铝合金。
本发明有益效果是:
1.保护治具采用组合式结构，组合式结构在加工时比较方便且加工成本低，加工后的产品携带方便，保护治具在使用过程中，其中横板容易损坏，组合式结构能够方便的更换横板，不用更换整个保护治具，节省了材料。
2.第一底板上设置的凹槽和第二底板上设置的凸起相适配，保证了第一底板和第二底板之间不会存在缝隙，提高了保护治具的性能，保证了设备不会受到损坏。
3.铝合金材质的横板和侧板质量轻，加工方便，由于保护治具是安装在设备的进料口处，保护治具的重量较轻则不会对设备造成损坏。
附图说明
下面对本说明书附图所表达的内容及图中的标记作简要说明：
图1是本发明的具体实施方式的组立式保护治具的整体示意图。
图2是本发明的具体实施方式的保护治具的结构示意图。
图3是本发明的具体实施方式中横板的俯视图。
图4是本发明的具体实施方式中横板的主视图。
图5是本发明的具体实施方式中侧板的左视图。
图6是本发明的具体实施方式中侧板的俯视图。
具体实施方式
下面通过对实施例的描述，本发明的具体实施方式如所涉及的各构件的形状、构造、各部分之间的相互位置及连接关系、各部分的作用及工作原理、制造工艺及操作使用方法等，作进一步详细的说明，以帮助本领域技术人员对本发明的发明构思、技术方案有更完整、准确和深入的理解。
如图1-2所示，一种组立式保护治具，包括蒸镀机5，蒸镀机5上的进料口内套装有保护治具，保护治具安装在蒸镀机5的进料口处是为了保护蒸镀机5的内腔被刻蚀，蒸镀机5的价格昂贵，若蒸镀机5的内腔被刻蚀，则影响蒸镀机5的正常工作，为了增加蒸镀机5的使用寿命，在蒸镀机5的进料口内套接安装有保护治具，为了使保护治具便于安装和生产本，发明把保护治具拆分成分散式结构，保护治具包括横板1和侧板2，横板1和侧板2都有两块，横板1为长方体状，侧板2为U型，两块横板1平行连接在侧板2的侧边，两个横板1分别位于侧板2的U型端口处，两块横板1和两块侧板2连接组成口字型保护治具，保护治具的形状与蒸镀机5的进料口的形状相同，且保护治具的大小和蒸镀机5的进料口的内壁大小相同，保证了保护治具能正好套接在蒸镀机5的进料口内，保护治具在使用过程中，由于在干法刻蚀工艺中，容易对横板2造成损坏，所以在本发明中的保护治具采用组合式结构，组合式结构的保护治具有以下优点，生产加工比较方便，安装拆卸方便，如果横板2损坏可以单独更换横板2，不用直接更换整个保护治具，节省了材料。
如图1-6所示，在本实施例中，横板1包括第一底板11、第一上沿板12和螺钉孔13，为了提高保护治具的强度，获得性能好的产品，第一底板11和第一上沿板12采用一体成型的工艺，一体成型制作第一底板11和第一上沿板12不仅具有生产效率高的优点，而且能够节省材料，在安装保护治具时，第一上沿板12在蒸镀机5进料口的内部，为了保护第一上沿板12不会在安装时受到破坏，且能够安装方便，所以把第一上沿板12设置在第一底板11顶端面的内侧，螺钉孔13位于第一底板11两端面上，第一底板11的底端面上设有螺栓孔4，保护治具外侧要安装其他板材，所以在第一底板11的底端面上设置螺栓孔4，螺栓孔4的设置是为了方便保护治具和其他板材的连接。侧板2包括第二底板21、第二上沿板22和第二螺钉孔23，为了提高保护治具的强度，获得性能好的产品，第二底板21和第二上沿板22采用一体成型工艺，一体成型制作第二底板21和第二上沿板22不仅具有生产效率高的优点，而且能够节省材料，在安装保护治具时，第二上沿板22在蒸镀机5进料口的内部，为了保护第二上沿板22不会在安装时受到破坏，且能够安装方便，所以把第二上沿板22设置在第二底板21顶端面的内侧，第二螺钉孔23位于第二底板12的两个U型端口处，所述第二底板21的底端面上设有螺栓孔4，保护治具外侧要安装其他板材，所以在第二底板21的底端面上设置螺栓孔4，螺栓孔4的设置是为了方便保护治具和其他板材的连接。为了使第一底板11和第二底板21能够安装稳固，且第一底板11和第二底板21之间能够拆卸方便，所有把第一底板11的端面上设置有螺钉孔13，螺钉孔13的数量为3个，3个螺钉孔能够保证第一底板11和第二底板21之间的稳定，第二螺钉孔23能够和第一螺钉孔13相适配，螺钉孔13内设有内螺纹，第二螺钉孔23内没有螺纹，第一底板11和第二底板12之间通过螺钉连接。
如图1-6所示，在本实施例中，在玻璃基板干法刻蚀处理过程中，由于经常清洗保护治具，清洗保护治具所用到的清洗剂有一定的腐蚀性，为了增加保护治具的使用寿命，把第一底板11和第二底板21的厚度采用10mm，第一上沿板12和第二上沿板22的厚度采用1mm。横板1和侧板2采用铝合金，能够具有较高的强度，且铝合金材质在加工过程中加工方便，铝合金材质质量轻，由于保护治具是安装在蒸镀机5的进料口内部，所以要求保护治具的质量轻，铝合金材质正好能能满足这一要求。为了使第一底板11和第二底板21在安装后不会有间隙，第一底板11两端面的内侧处设有凹槽，凹槽的宽度为2mm，第二底板21两个U型端口处的内侧设有凸起，凸起的宽度为2mm，第一底板11上的凹槽正好与第二底板21上的凸起相适配，保证了第一底板11和第二底板21连接后它们之间存在间隙，若第一底板11和第二底板21之间存在间隙则会影响保护治具对蒸镀机5的保护作用，可能会导致蒸镀机5的使用寿命降低。为了保证使用要求，把第一上沿板12和第二上沿板22安装在蒸镀机5的进料口的内部，螺栓孔4则位于蒸镀机5的进料口的外部。
上面对本发明进行了示例性描述，显然本发明具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本发明的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本发明的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。
Claims (9)
1.一种组立式保护治具，包括蒸镀机(5)，蒸镀机(5)上的进料口内套装有保护治具，其特征在于：保护治具包括横板(1)和侧板(2)，所述横板(1)和侧板(2)都有两块，所述横板(1)为长方体状，所述侧板(2)为U型，横板(1)的两端连接有所述侧板(2)，两块横板(1)分别连接在侧板(2)的U型端口处，两块横板(1)和两块侧板(2)连接组成口字型保护治具。
2.根据权利要求1所述的组立式保护治具，其特征在于：所述横板(1)包括第一底板(11)、第一上沿板(12)和螺钉孔(13)，所述第一底板(11)和第一上沿板(12)为一体成型，第一上沿板(12)位于第一底板(11)顶端面的内侧，所述螺钉孔(13)位于第一底板(11)两端面上，所述第一底板(11)的底端面上设有螺栓孔(4)。
3.根据权利要求1所述的组立式保护治具，其特征在于：所述侧板(2)包括第二底板(21)、第二上沿板(22)和第二螺钉孔(23)，所述第二底板(21)和第二上沿板(22)为一体成型，所述第二上沿板(22)位于第二底板(21)顶端面的内侧，所述第二螺钉孔(23)位于第二底板(12)的两个U型端口处，所述第二底板(21)的底端面上设有螺栓孔(4)。
4.根据权利要求2或3所述的组立式保护治具，其特征在于：所述第一底板(11)和第二底板(21)的厚度为10mm，所述第一上沿板(12)和第二上沿板(22)的厚度为1mm。
5.根据权利要求2所述的组立式保护治具，其特征在于：所述第一底板(11)两端面的内侧处设有凹槽，凹槽的宽度为2mm。
6.根据权利要求3所述的组立式保护治具，其特征在于：所述第二底板(21)两个U型端口处的内侧设有凸起，凸起的宽度为2mm。
7.根据权利要求2或3所述的组立式保护治具，其特征在于：所述第一底板(11)的一个端面上的螺钉孔(13)的数量为3个，所述第二螺钉孔(23)能够和螺钉孔(13)相适配，所述螺钉孔(13)内设有内螺纹，第一底板(11)和第二底板(12)之间通过螺钉连接。
8.根据权利要求2或3所述的组立式保护治具，其特征在于：第一上沿板(12)和第二上沿板(22)位于蒸镀机(5)的进料口的内部，螺栓孔(4)位于蒸镀机(5)的进料口的外部。
9.根据权利要求1所述的组立式保护治具，其特征在于：横板(1)和侧板(2)的材质为铝合金。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811218254.5A CN109626835A (zh) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 一种组立式保护治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811218254.5A CN109626835A (zh) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 一种组立式保护治具 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN109626835A true CN109626835A (zh) | 2019-04-16 |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN109626835A (zh) |
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