CN205415324U - 抛光研磨机的上盘水冷机构 - Google Patents
抛光研磨机的上盘水冷机构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205415324U CN205415324U CN201620216781.2U CN201620216781U CN205415324U CN 205415324 U CN205415324 U CN 205415324U CN 201620216781 U CN201620216781 U CN 201620216781U CN 205415324 U CN205415324 U CN 205415324U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- water
- cooling
- connecting portion
- upper dish
- mentioned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
本实用新型提供了一种抛光研磨机的上盘水冷机构，属于机械技术领域。它解决了现有技术存在着稳定性差的问题。本抛光研磨机的上盘水冷机构包括吊板、水冷压板、定盘支柱和进水组件，上述水冷压板用于与上盘密封连接，上述的吊板与水冷压板平行设置，上述定盘支柱的两端分别固连在吊板和水冷压板上，所述的进水组件上具有连接部一和连接部二，所述连接部一和连接部二轴向固连且能周向转动，所述连接部一与连接部二之间具有能将水导入水冷压板与上盘之间的间隙处。本机构稳定性高。
Description
技术领域
本实用新型属于机械技术领域，涉及一种抛光研磨机的上盘水冷机构。
背景技术
双面抛光机在工业抛光作业中能起到良好的抛光效果。但是，有些材质的工件需要长时间的抛光才能达到表面度要求。现有的抛光机遇到这一情况就会产生致命的问题，就是随着抛光时间的延长，抛光机自身的温度也会升高。
这样就会造成抛光机抛光盘变形，影响抛光精度，导致抛光产品达不到抛光要求。
中国专利其公开号CN204094637U提供了一种用于给下抛光盘降温的晶片抛光机中下抛光盘的冷却装置，包括：冷却盘，冷却盘的中央开设有进水孔和出水孔，冷却盘的背面上设置有与进水孔相通的进水管和与出水孔相通的出水管，冷却盘的冷却面上由外而内依次设置有一圈周向布置的安装通孔和第一环形密封槽，冷却盘的冷却面上在第一环形密封槽的里侧设置有一对迂回的冷却槽、以及一对将相应冷却槽的外端与出水孔相连的连接槽，冷却槽的里端与进水孔相连通；进水管套设在出水管中，出水孔与出水管中的出水通道相连通，进水管的相应端密封设置在所述的进水孔中，出水管的相应端通过安装法兰密封固定在冷却盘的背面上。本冷却装置尤其适用于冷却抛光机中的下抛光盘。
可以看出，上述装置结构过于复杂。
现有的其它装置也都存在着类似的问题。
发明内容
本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供一种能有效提高抛光机稳定性的抛光研磨机的上盘水冷机构。
本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：
一种抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，包括吊板、水冷压板、定盘支柱和进水组件，上述水冷压板用于与上盘密封连接，上述的吊板与水冷压板平行设置，上述定盘支柱的两端分别固连在吊板和水冷压板上，所述的进水组件上具有连接部一和连接部二，所述连接部一和连接部二轴向固连且能周向转动，所述连接部一与连接部二之间具有能将水导入水冷压板与上盘之间的间隙处。
在进水组件与吊板之间具有轴承，抛光机工作过程中带动水冷压板转动，水冷压板与抛光机中的上盘是密封连接的在两者之间具有供水进入的间隙。
水冷压板随着上盘一同转动的过程中，冷却水依次由进水组件的连接部一、连接部二进入上述的间隙处。冷却水的进入降低了上盘的温度，有效的起到冷却作用。
由于连接部一与连接部二是轴向固定的，因此，连接部二能随着水冷压板移动转动，而连接部一保持固定不动。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，所述定盘支柱的数量为若干根且均布在吊板和水冷压板之间。
多根定盘支柱能将吊板与水冷压板牢固的连接在一起。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，所述连接部一包括呈圆柱状的吊耳，所述吊耳的上部具有上挡沿，所述吊耳下部具有下挡沿，所述吊板上具有贯穿的连接孔，上述吊耳位于连接孔处且上挡沿抵靠在吊板的上部，所述下挡沿抵靠在吊耳下部处。
上挡沿和下挡沿分别抵靠在吊板的上部和下部，这样的结构能将吊耳牢固的连接在吊板上。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，所述下挡沿与吊耳为分体式结构且两者通过紧固件相联。
分体式结构的下挡沿便于整个机构组装。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，所述连接部二包括呈柱状的接头，所述接头上端轴向固连在吊耳下部。
呈圆柱状的接头能稳定的与吊耳下部轴向固连。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，所述的接头下端处侧部具有出水接口，所述接头上沿其轴向设置有进水通道，上述下挡沿上具有进水接口，上述进水通道的两端分别与出水接口和进水接口相联通。
进水接口用于连接外部水源，出水接口用于与水冷压板相联。进水通道用于将上述的进水接口与出水接口相联通。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，所述下挡沿与接头上端之间具有密封圈。
通过密封圈能有效提高下挡沿与接头之间的密封性。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，还包括进水管，上述进水管上端伸出吊耳用于与水源相联，所述进水管下端与进水接口相联。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，还包括出水管，上述出水管上端与出水接口相联，所述水冷压板上具有入水孔，上述出水管下端与入水孔相联。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，所述进水管和出水管均为软管。
软管材质的进水管和出水管能提高其适用性。
在上述的抛光研磨机的上盘水冷机构中，所述上挡沿具有定位孔，上述的进水管穿设在定位孔处。
进水管穿设在定位孔处，从而能使进水管与上挡沿能稳定连接在一起，对进水管起到定位作用。
与现有技术相比，本抛光研磨机的上盘水冷机构由于在抛光作业过程中能提供给上盘足够的制冷水，因此，它能有效的降低本抛光机工作时的温度，提高稳定性以及抛光精度。
同时，本机构创造性的将进水组件分为连接部一和连接部二，使得水冷压板随着转动的过程中，制冷水也能稳定的进入，其稳定性比较高，具有很高的实用价值。
附图说明
图1是本抛光研磨机的上盘水冷机构的立体结构示意图。
图2是本抛光研磨机的上盘水冷机构的剖视结构示意图。
图3是本抛光研磨机的上盘水冷机构中进水组件处的立体结构示意图。
图中，1、吊板；2、水冷压板；2a、入水孔；3、定盘支柱；4、上盘；5、吊耳；5a、上挡沿；5a1、定位孔；5b、下挡沿；5b1、进水接口；6、接头；6a、出水接口；7、进水通道；8、进水管；9、出水管。
具体实施方式
如图1和图2和图3所示，本抛光研磨机的上盘水冷机构包括吊板1、水冷压板2、定盘支柱3和进水组件，上述水冷压板2用于与上盘4密封连接，上述的吊板1与水冷压板2平行设置，上述定盘支柱3的两端分别固连在吊板1和水冷压板2上，所述的进水组件上具有连接部一和连接部二，所述连接部一和连接部二轴向固连且能周向转动，所述连接部一与连接部二之间具有能将水导入水冷压板2与上盘之间的间隙处。
所述定盘支柱3的数量为若干根且均布在吊板1和水冷压板2之间。
所述连接部一包括呈圆柱状的吊耳5，所述吊耳5的上部具有上挡沿5a，所述吊耳5下部具有下挡沿5b，所述吊板1上具有贯穿的连接孔，上述吊耳5位于连接孔处且上挡沿5a抵靠在吊板1的上部，所述下挡沿5b抵靠在吊耳5下部处。
所述下挡沿5b与吊耳5为分体式结构且两者通过紧固件相联。
所述连接部二包括呈柱状的接头6，所述接头6上端轴向固连在吊耳5下部。
所述的接头6下端处侧部具有出水接口6a，所述接头6上沿其轴向设置有进水通道7，上述下挡沿5b上具有进水接口5b1，上述进水通道7的两端分别与出水接口6a和进水接口5b1相联通。
所述下挡沿5b与接头6上端之间具有密封圈。
还包括进水管8，上述进水管8上端伸出吊耳5用于与水源相联，所述进水管8下端与进水接口5b1相联。
还包括出水管9，上述出水管9上端与出水接口6a相联，所述水冷压板2上具有入水孔2a，上述出水管9下端与入水孔2a相联。
所述进水管8和出水管9均为软管。
所述上挡沿5a具有定位孔5a1，上述的进水管8穿设在定位孔5a1处。
在进水组件与吊板1之间具有轴承，抛光机工作过程中带动水冷压板2转动，水冷压板2与抛光机中的上盘4是密封连接的在两者之间具有供水进入的间隙。
水冷压板2随着上盘4一同转动的过程中，冷却水依次由进水组件的连接部一、连接部二进入上述的间隙处。冷却水的进入降低了上盘4的温度，有效的起到冷却作用。
由于连接部一与连接部二是轴向固定的，因此，连接部二能随着水冷压板2移动转动，而连接部一保持固定不动。
Claims (10)
1.一种抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，包括吊板、水冷压板、定盘支柱和进水组件，上述水冷压板用于与上盘密封连接，上述的吊板与水冷压板平行设置，上述定盘支柱的两端分别固连在吊板和水冷压板上，所述的进水组件上具有连接部一和连接部二，所述连接部一和连接部二轴向固连且能周向转动，所述连接部一与连接部二之间具有能将水导入水冷压板与上盘之间的间隙处。
2.根据权利要求1所述的抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，所述定盘支柱的数量为若干根且均布在吊板和水冷压板之间。
3.根据权利要求1所述的抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，所述连接部一包括呈圆柱状的吊耳，所述吊耳的上部具有上挡沿，所述吊耳下部具有下挡沿，所述吊板上具有贯穿的连接孔，上述吊耳位于连接孔处且上挡沿抵靠在吊板的上部，所述下挡沿抵靠在吊耳下部处。
4.根据权利要求3所述的抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，所述下挡沿与吊耳为分体式结构且两者通过紧固件相联。
5.根据权利要求3所述的抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，所述连接部二包括呈柱状的接头，所述接头上端轴向固连在吊耳下部。
6.根据权利要求5所述的抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，所述的接头下端处侧部具有出水接口，所述接头上沿其轴向设置有进水通道，上述下挡沿上具有进水接口，上述进水通道的两端分别与出水接口和进水接口相联通。
7.根据权利要求4所述的抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，所述下挡沿与接头上端之间具有密封圈。
8.根据权利要求6所述的抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，还包括进水管，上述进水管上端伸出吊耳用于与水源相联，所述进水管下端与进水接口相联。
9.根据权利要求8所述的抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，还包括出水管，上述出水管上端与出水接口相联，所述水冷压板上具有入水孔，上述出水管下端与入水孔相联。
10.根据权利要求9所述的抛光研磨机的上盘水冷机构，其特征在于，所述进水管和出水管均为软管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620216781.2U CN205415324U (zh) | 2016-03-21 | 2016-03-21 | 抛光研磨机的上盘水冷机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620216781.2U CN205415324U (zh) | 2016-03-21 | 2016-03-21 | 抛光研磨机的上盘水冷机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205415324U true CN205415324U (zh) | 2016-08-03 |
Family
ID=56519756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620216781.2U Active CN205415324U (zh) | 2016-03-21 | 2016-03-21 | 抛光研磨机的上盘水冷机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205415324U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106881660A (zh) * | 2017-03-20 | 2017-06-23 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种用于大尺寸晶片单面抛光的旋转调节式上轴机构 |
| CN107671728A (zh) * | 2017-11-15 | 2018-02-09 | 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 | 一种抛光研磨机的上盘水冷机构 |
-
2016
- 2016-03-21 CN CN201620216781.2U patent/CN205415324U/zh active Active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106881660A (zh) * | 2017-03-20 | 2017-06-23 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种用于大尺寸晶片单面抛光的旋转调节式上轴机构 |
| CN106881660B (zh) * | 2017-03-20 | 2023-07-18 | 东旭集团有限公司 | 一种用于大尺寸晶片单面抛光的旋转调节式上轴机构 |
| CN107671728A (zh) * | 2017-11-15 | 2018-02-09 | 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 | 一种抛光研磨机的上盘水冷机构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205415324U (zh) | 抛光研磨机的上盘水冷机构 | |
| CN110509143B (zh) | 一种光学零件平面研磨装置 | |
| CN108856041A (zh) | 一种车轮法兰面清扫装置 | |
| CN100398897C (zh) | 径向回转接头 | |
| CN113263402A (zh) | 一种石棉橡胶垫片成型加工机械及成型加工方法 | |
| CN103449180A (zh) | 一种同步轮传送机构 | |
| CN212509952U (zh) | 一种用于纸厂开放式齿轮旋转接头 | |
| CN201613433U (zh) | 数控焊接机工件回转装置 | |
| CN109108793A (zh) | 双输出数控外圆磨床 | |
| CN105881145B (zh) | 一种固定效果好的法兰盘专用打磨机 | |
| CN108386545A (zh) | 带机架式双端面机械密封装置 | |
| CN210208937U (zh) | 一种气动回转工作台 | |
| CN204053737U (zh) | 一种金属垫环的内侧壁抛光试验装置 | |
| CN210850894U (zh) | 一种用于生产密封条的密封式炼胶装置 | |
| CN203750623U (zh) | 一种卧式涂料研磨机 | |
| CN210660618U (zh) | 一种环保设备用磁力泵 | |
| CN107671728A (zh) | 一种抛光研磨机的上盘水冷机构 | |
| CN102284336A (zh) | 偏心研磨机 | |
| CN209160072U (zh) | 膏体灌装机 | |
| CN109571239B (zh) | 一种均匀散热动态研磨机的下磨机构 | |
| CN207127712U (zh) | 磨床结构 | |
| CN106041698A (zh) | 一种双面抛光机的上盘温度检测结构 | |
| CN204075971U (zh) | 一种金属垫环的内侧壁抛光试验装置 | |
| CN104776280A (zh) | 一种旋转接头装置 | |
| CN205245774U (zh) | 回转造粒窑窑头密封装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: Hanging wall water -cooling mechanism of machine is ground in polishing Effective date of registration: 20171201 Granted publication date: 20160803 Pledgee: Agricultural Bank of China Limited by Share Ltd Jiaxing science and Technology Branch Pledgor: MORINAGA OPTICAL & ELECTRONIC-EQUIPMENT CO., LTD. Registration number: 2017330000220 |