CN205317609U - 细颗粒物吸附装置 - Google Patents
细颗粒物吸附装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205317609U CN205317609U CN201521030634.8U CN201521030634U CN205317609U CN 205317609 U CN205317609 U CN 205317609U CN 201521030634 U CN201521030634 U CN 201521030634U CN 205317609 U CN205317609 U CN 205317609U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fine particle
- electric field
- adsorption unit
- fine particles
- driving electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
本实用新型实施例涉及一种细颗粒物吸附装置,所述装置包括:单极荷电器,用于产生吸附在细颗粒物上的单极性电离子;驱动电极,用于产生驱动电场,当所述吸附有电离子的细颗粒物进入所述驱动电场后,在电场力的作用下,所述细颗粒物稳定的吸附在所述吸附装置上。本实用新型实施例提出的细颗粒物吸附装置,通过单极荷电器产生单极性电离子,产生的单极性电离子吸附在细颗粒物上,同时在吸附装置上增加驱动电极,驱动电极之间形成有驱动电场,通过控制驱动电极两端的电压,使得带电的细颗粒物在进入驱动电场后,在电场力的作用下,稳定的吸附在吸附装置上,从而有效的增加了吸附装置对细颗粒物的吸附能力。
Description
技术领域
本实用新型实施例涉及微机电系统制造与应用领域,尤其涉及一种细颗粒物吸附装置。
背景技术
基于微机电系统工艺的微机械谐振器是实现PM2.5监测设备微型化的关键器件。微谐振器的振动质量对谐振的频率具备敏感性,通过检测沉积前后的频率差,可计算得出附着细颗粒物的质量,继而推算待测空气样本中相应的PM2.5细颗粒物的浓度。现有的研究侧重于检测机理研究和质量敏感器件的制造工艺,气体处理、外围驱动和检测电路多沿用宏观设备,对器件在长期细颗粒物沉积、气体扰动、空气湿度等条件下的实际应用场景的问题研究较为匮乏。
然而,细颗粒物在微谐振器上沉积和附着的能力是体现设备微型化、实现装置高精度和高可靠性检测的关键。基于以上分析,需要一种稳定有效的细颗粒物沉积、吸附和排出的设计和实现装置,以实现高精度、小体积、动态连续的PM2.5细颗粒物的检测。
发明内容
本实用新型实施例的目的是提出一种细颗粒物吸附装置,用于解决现有颗粒物吸附装置吸附力小,颗粒物容易从吸附装置上脱离,影响测量精度的问题。
为实现上述目的,本实用新型实施例提供了一种细颗粒物吸附装置,所述装置包括:单极荷电器,用于产生吸附在细颗粒物上的单极性电离子;驱动电极,用于产生驱动电场,当所述吸附有电离子的细颗粒物进入所述驱动电场后,在电场力的作用下,所述细颗粒物稳定的吸附在所述吸附装置上。
本实用新型实施例提出的细颗粒物吸附装置,通过单极荷电器产生单极性电离子,产生的单极性电离子吸附在细颗粒物上。同时在吸附装置上增加驱动电极,驱动电极之间形成有驱动电场,通过控制驱动电极两端的电压,使得带电的细颗粒物在进入驱动电场后,在电场力的作用下,稳定的吸附在吸附装置上,从而有效的增加了吸附装置对细颗粒物的吸附能力,使得测量结果更加准确。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例的细颗粒物吸附装置的结构示意图。
具体实施方式
下面通过附图和实施例,对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。
本实用新型实施例提出了一种细颗粒物吸附装置,通过单极荷电器产生单极性电离子,产生的单极性电离子吸附在细颗粒物上。同时在吸附装置上增加驱动电极,驱动电极之间形成有驱动电场,通过控制驱动电极两端的电压,使得带电的细颗粒物在进入驱动电场后,在电场力的作用下,稳定的吸附在吸附装置上,从而有效的增加了吸附装置对细颗粒物的吸附能力,使得测量结果更加准确。
图1为本实用新型实施例的细颗粒物吸附装置的结构示意图,如图1所示,本实用新型实施例的细颗粒物吸附装置1包括单极荷电器10、驱动电极20、驱动电场30及微谐振器40。
细颗粒物50通过细颗粒物吸附装置1的开口60进入吸附装置的内部。
单极荷电器10可以产生吸附在细颗粒物50上的单极性电离子11,具体的,单极荷电器10上设置有放电针12。放电针12的直径为20微米,长度为500微米,放电针12是通过在硅衬底材料上使用高深宽比干法刻蚀工艺,并双面电镀金属铜制造而成。由于放电针12末端尺寸在微米量级,且两面金属距离非常近,只需要使用小功率电源就可在放电针12末端形成高压放电效应,在腔体13内形成有效电晕放电,将放电针12垂直置于腔体13中间,在电压激励下释放足量单极性电离子11,单极性电离子11的荷电量可随电压升高而得以提升。当细颗粒物50经过腔体13以后,吸附了大量的单极性电离子11。
本实用新型实施例的细颗粒物吸附装置还包括过滤装置14,用于对细颗粒物的直径大小进行过滤。可以将直径较大的一部分颗粒物过滤掉,只让直径较小的颗粒物通过。例如,只允许颗粒物直径小于PM2.5的细颗粒物通过。过滤装置14可以设置在单极荷电器10上,也可以单独设置在吸附装置的其他位置。
细颗粒物50经过腔体13以后将进入驱动电极20内部,驱动电极20可以产生驱动电场30,当所述吸附有单极性电离子11的细颗粒物50进入驱动电场30后,会受到向下的电场力,在电场力的作用下,细颗粒物30向微谐振器40加速运动,最终稳定的吸附在微谐振器40上。
具体的,驱动电极20包括第一驱动电极21和第二驱动电极22,第一驱动电极21和第二驱动电极22之间施加电压,从而产生驱动电场30。通过调整驱动电场30的方向,使得吸附有单极性电离子11的细颗粒物50受到向下的电场力,在电场力的作用下,细颗粒物30向微谐振器40加速运动,最终稳定的吸附在微谐振器40上,从而有效的增加了吸附装置对细颗粒物的吸附力。
本实用新型实施例的细颗粒物吸附装置还包括微泵驱动装置,微泵驱动装置可以提供外力,将细颗粒物送入所述驱动电场内。微泵驱动装置可以设置在第一驱动电极21上,也可以单独设置在吸附装置的其他位置。
本实用新型实施例的细颗粒物吸附装置当测试完成以后,可以通过在第一驱动电极21和第二驱动电极22施加反转电压产生反向的驱动电场,使所述细颗粒物脱离所述吸附装置。从而可以将细颗粒物有效排出吸附装置,不影响后续测量的精度。
本实用新型实施例的细颗粒物吸附装置,通过单极荷电器产生单极性电离子,产生的单极性电离子吸附在细颗粒物上。同时在吸附装置上增加驱动电极,驱动电极之间形成有驱动电场,通过控制驱动电极两端的电压,使得带电的细颗粒物在进入驱动电场后,在电场力的作用下,稳定的吸附在吸附装置上,从而有效的增加了吸附装置对细颗粒物的吸附能力,使得测量结果更加准确。在测试完成后,通过反转电压产生反向的驱动电场,使得细颗粒物受到相反方向的电场力脱离所述吸附装置,从而可以将细颗粒物有效排出吸附装置,不影响后续测量的精度。
以上所述的具体实施方式,对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已,并不用于限定本实用新型的保护范围,凡在本实用新型的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种细颗粒物吸附装置,其特征在于,所述装置包括:
单极荷电器,用于产生吸附在细颗粒物上的单极性电离子;
驱动电极,用于产生驱动电场,当所述吸附有电离子的细颗粒物进入所述驱动电场后,在电场力的作用下,所述细颗粒物稳定的吸附在所述吸附装置上。
2.根据权利要求1所述的细颗粒物吸附装置,其特征在于,所述单极荷电器设置有放电针,所述放电针用于释放单极性电离子。
3.根据权利要求1所述的细颗粒物吸附装置,其特征在于,所述驱动电极具体包括第一驱动电极与第二驱动电极,所述第一驱动电极与第二驱动电极之间产生所述驱动电场。
4.根据权利要求1所述的细颗粒物吸附装置,其特征在于,所述装置还包括过滤装置,用于对细颗粒物的直径大小进行过滤。
5.根据权利要求1所述的细颗粒物吸附装置,其特征在于,所述装置还包括微泵驱动装置,用于将细颗粒物送入所述驱动电场内。
6.根据权利要求1所述的细颗粒物吸附装置,其特征在于,所述驱动电极通过反转电压产生反向的驱动电场,使所述细颗粒物脱离所述吸附装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201521030634.8U CN205317609U (zh) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | 细颗粒物吸附装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201521030634.8U CN205317609U (zh) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | 细颗粒物吸附装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN205317609U true CN205317609U (zh) | 2016-06-15 |
Family
ID=56184981
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201521030634.8U Active CN205317609U (zh) | 2015-12-10 | 2015-12-10 | 细颗粒物吸附装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN205317609U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105588776A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-05-18 | 中国电子科技集团公司信息科学研究院 | 细颗粒物吸附装置及其吸附方法 |
-
2015
- 2015-12-10 CN CN201521030634.8U patent/CN205317609U/zh active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105588776A (zh) * | 2015-12-10 | 2016-05-18 | 中国电子科技集团公司信息科学研究院 | 细颗粒物吸附装置及其吸附方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20060091021A (ko) | 나노 내지 마이크로 크기의 포어가 형성되어 있는 막을 포함하는 미세유동장치 및 그를 이용하여 분극성 물질을 분리하는 방법 | |
CN107921444A (zh) | 根据颗粒尺寸实现选择性气溶胶颗粒收集的方法和装置 | |
Li et al. | High-yield fabrication of graphene chemiresistors with dielectrophoresis | |
JP2013181840A5 (zh) | ||
WO2013039487A1 (en) | Miniaturized gas chromatograph | |
JP2005104750A (ja) | ナノチューブの精製方法 | |
WO2016021063A1 (ja) | 粒子荷電装置 | |
CN205317609U (zh) | 细颗粒物吸附装置 | |
Dinh et al. | Particle precipitation by bipolar corona discharge ion winds | |
Nerowski et al. | Bottom-up synthesis of ultrathin straight platinum nanowires: Electric field impact | |
US20140340093A1 (en) | Liquid ion detector | |
CN103476195A (zh) | 一种提高大气细颗粒物高效荷电的装置及方法 | |
US9259742B2 (en) | Electrostatic collecting system for suspended particles in a gaseous medium | |
CN102646571B (zh) | 基于离子风抽气系统的高场不对称波形离子迁移谱仪 | |
CN103513119A (zh) | 静电分选机转辊表面电荷密度分布的测量方法及测量装置 | |
CN103033556A (zh) | 用于微流控芯片上样品直接电喷雾电离的装置及质谱分析方法 | |
JP5611582B2 (ja) | 電気的中性物質の分離方法、及び電気的中性物質の分離装置 | |
Abdulhameed et al. | Simulation of dielectrophoretic alignment for carbon nanotube on indium tin oxide | |
CN105588776A (zh) | 细颗粒物吸附装置及其吸附方法 | |
KR101241086B1 (ko) | 스파크 방전장치와 하전장치를 이용한 금속합금 제조장치 및 제조방법 | |
KR101322689B1 (ko) | 섬유형상 입자의 분리 방법 및 시스템 | |
dos Santos et al. | Electrical manipulation of a single nanowire by dielectrophoresis | |
US11885729B2 (en) | Particle matter analysis device, analysis method and manufacturing method thereof | |
CN103623925A (zh) | 大气颗粒物双极性荷电装置 | |
CN206996860U (zh) | 干式微小颗粒分离装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |