CN205229219U - 一种基于探针的检测头结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及自动化检测工装技术领域,公开了一种基于探针的检测头结构,包括电路板、探针座,探针座的四个内壁分别向内延伸形成支撑块,探针座内部未被支撑块遮挡的空间形成卍字形通槽,支撑块的底面与探针座的底端平齐,支撑块的顶面从外端到内端向下倾斜,探针座的顶面上与支撑块的连接处设有凹槽,凹槽的底面由支撑块上的顶面延伸形成,每个凹槽内设有一组探针,探针通过绝缘胶与探针座连接,探针的头部位于卍字形通槽内,探针的头部高出探针座顶面,每根探针的尾部通过导线与电路板连接。本实用新型结构紧凑、体积小,能用于多组探针同时安装定位、提高检测效率的有益效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及自动化检测技术领域,尤其涉及一种基于探针的检测头结构。
背景技术
探针是电测试的接触媒介,探针通常包括探针壳、探针头,探针头与探针壳之间弹性连接,探针头可在探针套内伸缩。探针通常用来测试一些微型电子元器件的参数,例如测量电子元器件上两个焊点之间的电阻、电流、电压等。晶元是生产集成电路所用的载体,通常通过探针对进行检测,由于一个晶元片上存在上百个晶元,单探针检测头检测效率低,无法满足生产检测需求,需要多组探针同时检测,然而目前没有专门用于多组探针固定的夹具,即使有多组探针的检测头,检测头本身尺寸较大,无法检测晶元片上排列紧密的晶元。
实用新型内容
本实用新型为了解决现有技术中的探针检测头存在的上述的问题,提供了一种结构紧凑、体积小,能用于多组探针同时安装定位、提高检测效率的检测头结构,尤其适用于晶元芯片检测。
为了实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:
一种基于探针的检测头结构,包括电路板、探针座,所述的探针座呈回字形结构,探针座上设有连接孔,探针座的底面通过连接孔与电路板连接,所述探针座的四个内壁分别向内延伸形成支撑块,探针座内部未被支撑块遮挡的空间形成卍字形通槽,所述支撑块的底面与探针座的底端平齐,支撑块的顶面从外端到内端向下倾斜,所述探针座的顶面上与支撑块的连接处设有凹槽,所述凹槽的底面由支撑块上的顶面延伸形成,每个凹槽内设有一组探针,所述的探针通过绝缘胶与探针座连接,探针的头部位于卍字形通槽内,所述探针的头部高出探针座顶面,每根探针的尾部通过导线与电路板连接。
检测头直接安装到自动化检测设备上,能快速对呈阵列分布的电子元器件进行检测,尤其适合晶元片上的晶元检测,四个支撑块的分布非常紧凑,从而可以很大程度的缩减探针座的尺寸,更有利于测量排列紧密的晶元。
作为优选,所述的探针包括探针套、探针头,探针头可在探针套内弹性伸缩,探针头的外端弯曲形成检测端子,所述的检测端子的轴线与探针座的端面垂直。检测时,检测端子保持与晶元片垂直,使得探针受力稳定,提高探针使用寿命。
作为优选,所述检测端子的端面为球面。球面能防止检测端子移动时在晶元表面产生刮痕。
作为优选,所述的电路板上位于探针座底面处设有观察孔,每个支撑块的底面外端设有连接柱。观察孔是为了避让卍字形通槽,连接柱与自动化设备连接,外界可以从观察孔、卍字形通槽内直观的看到探针头部与待检测物品的接触状态。
因此,本实用新型具有结构紧凑、体积小,能用于多组探针同时安装定位、提高检测效率的有益效果。
附图说明
图1为本实用新型的一种结构示意图。
图2为探针座的正面结构示意图。
图3为探针座的底面结构示意图。
图4为图2中A-A处截面图。
图5为探针的结构示意图。
图中:电路板1、探针座2、连接孔3、支撑块4、卍字形通槽5、凹槽6、探针7、绝缘胶8、导线9、观察孔10、连接柱11、探针套70、探针头71、检测端子72。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步描述:
如图1、图2和图3所示的一种基于探针的检测头结构,包括电路板1、探针座2,探针座2呈回字形结构,探针座2上设有连接孔3,探针座2的底面通过连接孔3与电路板连接,探针座的底面和顶面平行,探针座2的四个内壁分别向内延伸形成支撑块4,探针座2内部未被支撑块4遮挡的空间形成卍字形通槽5,如图4所示,支撑块4的底面与探针座的底端平齐,支撑块4的顶面从外端到内端向下倾斜,探针座2的顶面上与支撑块的连接处设有凹槽6,凹槽6的底面由支撑块上的顶面延伸形成,每个凹槽6内设有一组探针7,探针通过绝缘胶8与探针座连接,探针7的头部位于卍字形通槽5内,探针的头部高出探针座2顶面,每根探针的尾部通过导线9与电路板1连接;电路板1上位于探针座的底面处设有观察孔10,每个支撑块的底面外端设有连接柱11。
如图5所示,探针7包括探针套70、探针头71,探针头可在探针套内弹性伸缩,探针头71的外端弯曲形成检测端子72,检测端子72的轴线与探针座1的端面垂直,检测端子72的端面为球面。
检测头通过连接柱安装到自动化监测设备上,外界从观察孔、卍字形通槽内直观的看到探针头部与待检测物品的接触状态,待检测的晶元片安装在滑动支架上,四组探针分别与晶元片上相邻的四个晶元接触,滑动支架带动晶元片步进移动,每移动一次,同时检测四个晶元,检测效率高;本结构中,四个支撑块的分布非常紧凑,从而可以很大程度的缩减探针座的尺寸,更有利于测量排列紧密的晶元,而且从底部的卍字形通槽中还能直观的看到探针与待检测物品的接触状态。本实用新型结构紧凑、体积小,能用于多组探针同时安装定位、提高检测效率的有益效果。
Claims (4)
1.一种基于探针的检测头结构,其特征是,包括电路板、探针座,所述的探针座呈回字形结构,探针座上设有连接孔,探针座的底面通过连接孔与电路板连接,所述探针座的四个内壁分别向内延伸形成支撑块,探针座内部未被支撑块遮挡的空间形成卍字形通槽,所述支撑块的底面与探针座的底端平齐,支撑块的顶面从外端到内端向下倾斜,所述探针座的顶面上与支撑块的连接处设有凹槽,所述凹槽的底面由支撑块上的顶面延伸形成,每个凹槽内设有一组探针,所述的探针通过绝缘胶与探针座连接,探针的头部位于卍字形通槽内,所述探针的头部高出探针座顶面,每根探针的尾部通过导线与电路板连接。
2.根据权利要求1所述的一种基于探针的检测头结构,其特征是,所述的探针包括探针套、探针头,探针头可在探针套内弹性伸缩,探针头的外端弯曲形成检测端子,所述的检测端子的轴线与探针座的端面垂直。
3.根据权利要求2所述的一种基于探针的检测头结构,其特征是,所述检测端子的端面为球面。
4.根据权利要求1所述的一种基于探针的检测头结构,其特征是,所述的电路板上位于探针座底面处设有观察孔,每个支撑块的底面外端设有连接柱。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201521035563.0U CN205229219U (zh) | 2015-12-12 | 2015-12-12 | 一种基于探针的检测头结构 |
Applications Claiming Priority (1)
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CN201521035563.0U CN205229219U (zh) | 2015-12-12 | 2015-12-12 | 一种基于探针的检测头结构 |
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CN205229219U true CN205229219U (zh) | 2016-05-11 |
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ID=55904276
Family Applications (1)
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CN201521035563.0U Expired - Fee Related CN205229219U (zh) | 2015-12-12 | 2015-12-12 | 一种基于探针的检测头结构 |
Country Status (1)
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CN (1) | CN205229219U (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107132379A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-09-05 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置 |
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CN107132379A (zh) * | 2017-05-24 | 2017-09-05 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置 |
CN107132379B (zh) * | 2017-05-24 | 2019-10-22 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种用于扫描探针显微镜的探针夹持装置 |
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