CN205209099U - 一种烘干机 - Google Patents
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- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims abstract description 34
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 30
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 abstract 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 19
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 19
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 238000007634 remodeling Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
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- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
一种烘干机，包括机架和位于机架下部的烘干箱，机架上部装有控制部件，烘干箱包括箱门和设置在箱门内的搁物架，烘干箱的内壁上装有电热管，烘干箱还设有氮气入口和废气出口，氮气入口连接氮气输入管，废气出口连接废气排出管；烘干箱的底板上装有驱动缸，驱动缸的活塞杆穿过连接孔后连接在搁物架上。本机具有烘干效果好、烘干速度快、节能降耗之优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体材料技术领域，尤其是涉及一种硅片清洗后水分烘干用途的烘干机。
背景技术
硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片的光刻、离子注入等技术，可以制作成各种半导体器件，而用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力，这使得硅片广泛应用于航空航天、工业、农业和国防，甚至已经进入每一个家庭内。
为了去除硅片表面杂质，需要对硅片进行清洗，清洗后的硅片表面有水分，故需要及时对其进行烘干。现有技术中，烘干机内设有升温用的电热管，将装有硅片的花篮置于烘干机内的搁物架上，由电热管进行热烘干处理，该烘干机在对硅片进行烘干处理时存在以下缺陷：1）热介质为空气，烘干中易造成硅片的氧化，影响硅片质量；2）硅片置于花篮中，花篮置于烘干机的烘干架上，由于相邻硅片之间间隔较小，故烘干效率低、烘干时间长。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺点，提供一种硅片烘干用烘干机，该机为了防止烘干中硅片被空气中的氧气氧化，特别充入了氮气作为加热介质；为了提高烘干的速度，在搁物架下安装了驱动缸，以带动搁物架上下移动，加快烘干速度，采用的技术方案是：一种烘干机，包括机架和位于机架下部的烘干箱，所述机架上部装有控制部件，所述烘干箱包括箱门和设置在所述箱门内的搁物架，所述烘干箱的内壁上装有电热管，其特征在于：所述烘干箱还设有氮气入口和废气出口，所述氮气入口连接氮气输入管，所述废气出口连接废气排出管；所述烘干箱的底板上装有驱动缸，所述驱动缸的活塞杆穿过连接孔后连接在所述搁物架上。
本实用新型的技术特征还有：所述驱动缸为驱动气缸。
本实用新型的技术特征还有：所述驱动缸为驱动油缸。
本实用新型的技术特征还有：所述控制部件包括控制面板，所述控制面板上设有超温报警按钮。
本实用新型的有益效果在于：本机改变了传统烘干机所用传热介质，以达到避免硅片氧化的目的；本机的搁物架下连接驱动缸的活塞杆，在驱动缸的带动下，可实现搁物架间歇或者连续的上下移动，以加速硅片表面水分的烘干速度，提高烘干效率；本机具有烘干效果好、烘干速度快、节能降耗之优点。
附图说明
附图1是本实用新型主视图，附图2是烘干箱结构示意图，其中1是机架，2是烘干箱，21是箱门，22是把手，23是搁物架，24是底板，25是连接板，3是驱动缸，31是活塞杆，4是控制面板。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行说明。本实用新型公开了一种烘干机，该机适用于比如硅片之类对烘干要求高、且烘干时排布较为紧密的产品的烘干。该机包括机架1、位于机架1上部的控制部件和位于机架1下部的烘干箱2，其中烘干箱2包括箱门21、把手22和设置在箱门21内的搁物架23，烘干箱2的内壁上装有电热管（图中未示出），为了防止硅片被氧化，本机将加热介质改成了惰性气体——氮气，为此烘干箱还设有氮气入口和废气出口，氮气入口上连接氮气输入管，废气排出口上连接废气排出管，通过氮气输入管和氮气入口向烘干箱内输送氮气，并由废气出口和废气排出管将废气排出。为了实现搁物架23的上下移动，在烘干箱2的底板上装有驱动缸3，驱动缸3的活塞杆31穿过连接板25上的连接孔后连接在搁物架23上，此处的驱动缸3可为驱动气缸或者驱动油缸。
控制部件包括控制面板，控制面板上设有超温报警按钮，当感温探头检测到烘干箱2内温度超过设定温度时，超温报警器将报警，以避免高温对硅片的损伤。
当然，上述说明并非对本实用新型的限制，本实用新型也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种烘干机，包括机架和位于机架下部的烘干箱，所述机架上部装有控制部件，所述烘干箱包括箱门和设置在所述箱门内的搁物架，所述烘干箱的内壁上装有电热管，其特征在于：所述烘干箱还设有氮气入口和废气出口，所述氮气入口连接氮气输入管，所述废气出口连接废气排出管；所述烘干箱的底板上装有驱动缸，所述驱动缸的活塞杆穿过连接孔后连接在所述搁物架上。
2.按照权利要求1所述的烘干机，其特征在于：所述驱动缸为驱动气缸。
3.按照权利要求1所述的烘干机，其特征在于：所述驱动缸为驱动油缸。
4.按照权利要求1所述的烘干机，其特征在于：所述控制部件包括控制面板，所述控制面板上设有超温报警按钮。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520930976.9U CN205209099U (zh) | 2015-11-23 | 2015-11-23 | 一种烘干机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520930976.9U CN205209099U (zh) | 2015-11-23 | 2015-11-23 | 一种烘干机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205209099U true CN205209099U (zh) | 2016-05-04 |
Family
ID=55846814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520930976.9U Active CN205209099U (zh) | 2015-11-23 | 2015-11-23 | 一种烘干机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205209099U (zh) |
-
2015
- 2015-11-23 CN CN201520930976.9U patent/CN205209099U/zh active Active
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A drying machine Effective date of registration: 20230321 Granted publication date: 20160504 Pledgee: Shandong Tongsheng Financing Guarantee Co.,Ltd. Pledgor: JINAN ZHUOWEI ELECTRONICS Co.,Ltd. Registration number: Y2023980035528 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right |
Date of cancellation: 20231212 Granted publication date: 20160504 Pledgee: Shandong Tongsheng Financing Guarantee Co.,Ltd. Pledgor: JINAN ZHUOWEI ELECTRONICS Co.,Ltd. Registration number: Y2023980035528 |
|
| PC01 | Cancellation of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of utility model: A drying machine Effective date of registration: 20231215 Granted publication date: 20160504 Pledgee: Shandong Tongsheng Financing Guarantee Co.,Ltd. Pledgor: JINAN ZHUOWEI ELECTRONICS Co.,Ltd. Registration number: Y2023980071958 |
|
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |