CN205205223U - 一种镀膜基片架及真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型适用于真空镀膜技术领域，公开了一种镀膜基片架及真空镀膜设备，所述镀膜基片架包括用于传动和支撑的外部框架和设置在外部框架内的至少两个竖杆和至少两个横杆，每相邻的两个竖杆和每相邻的两个横杆围合成尺寸可调的内部框架；每一竖杆与每一横杆滑动连接，每一竖杆可沿横杆的长度方向滑动，每一横杆可沿竖杆的长度方向滑动，以调节内部框架的尺寸。本实用新型通过将至少两个横杆和至少两个竖杆滑动连接在外部框架内，可自由组合成各种尺寸的内部框架，再将横杆和竖杆固定在镀膜基片架外部框架上，即可开始放玻璃片进行镀膜，可快速在线切换产品尺寸；同时，在实际镀膜生产中的应用，既节约了生产成本也提高了生产效率。

Description

一种镀膜基片架及真空镀膜设备

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种镀膜基片架及真空镀膜设备。

背景技术

基片架属于真空镀膜设备的一部分，是基片的载体及传输系统的一部分。目前的镀膜生产中，都是一种尺寸玻璃专用一套基片架,其结果是由于生产玻璃尺寸的多样性，往往需要多套不同尺寸的基片架，从而造成生产成本的增加。同时，更换生产的产品尺寸时，需要更换相应尺寸的整套基片架，无形中造成了时间的浪费和人力的浪费。所以定制每种规格一套基片架，更换使用的生产方式，造成了生产成本的增加及生产效率的下降。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种镀膜基片架及真空镀膜设备，其可方便快捷地调整内部框架的尺寸以适应不同规格的玻璃，节约了成本，并提高了生产效率。

本实用新型的技术方案是：提供了一种镀膜基片架，包括用于传动和支撑的外部框架和设置在所述外部框架内的至少两个竖杆和至少两个横杆，每相邻的两个所述竖杆和每相邻的两个所述横杆围合成尺寸可调的内部框架；每一所述竖杆与每一所述横杆滑动连接，每一所述竖杆可沿所述横杆的长度方向滑动，每一所述横杆可沿所述竖杆的长度方向滑动，以调节所述内部框架的尺寸，以调节所述内部框架的尺寸。

进一步地，所述镀膜基片架还包括用于将每一所述竖杆分别滑动连接在所述横杆上的滑块。

进一步地，每一所述横杆沿其长度方向开设有凹槽，所述滑块包括与所述凹槽匹配且用于滑动连接在所述凹槽内的滑动部和与所述滑动部固定连接且用于夹持所述竖杆的夹持部。

进一步地，每一所述竖杆沿其长度方向开设有凹槽，所述滑块包括与所述凹槽匹配且用于滑动连接在所述凹槽内的滑动部和与所述滑动部固定连接且用于夹持所述横杆的夹持部。

进一步地，所述凹槽的横截面呈梯形。

进一步地，所述夹持部的横截面呈梯形，且所述夹持部的梯形横截面所在的平面垂直于所述滑动部的梯形横截面所在的平面。

进一步地，每一所述横杆和竖杆的两端均设置有U形螺孔；所述镀膜基片架还包括与所述U形螺孔配合且用于在所述内部框架的尺寸确定时将所述横杆和竖杆固定在所述外部框架上的紧固螺钉。

进一步地，所述镀膜基片架包括两个所述竖杆和两个所述横杆。

进一步地，所述镀膜基片架由高温无氧铜材料或不锈钢材料制成。

本实用新型还提供了一种真空镀膜设备，包括上述所述的镀膜基片架。

本实用新型的一种镀膜基片架及真空镀膜设备，其通过将至少两个横杆和至少两个竖杆滑动连接在外部框架内，且每相邻的两个竖杆和每相邻的两个横杆围合成内部框架，可自由组合成各种尺寸的内部框架，再将横杆和竖杆固定在镀膜基片架外框上，即可开始放玻璃片进行镀膜；在完成玻璃镀膜传送的过程中，可快速在线切换产品尺寸，克服了以往一套镀膜基片架只能满足一种产品尺寸的缺点，节约了生产成本；同时，以往的换架操作费时费力，造成人力和时间的浪费，严重阻碍了生产效率，而本实用新型在实际镀膜生产中的应用，既节约了生产成本也提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的外部框架的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的镀膜基片架的结构示意图；

图3是图2中A区域的放大图；

图4是本实用新型实施例提供的竖杆的部分结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的滑块的立体结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的横杆的部分结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

还需要说明的是，本实用新型实施例中的左、右、上、下等方位用语，仅是互为相对概念或是以产品的正常使用状态为参考的，而不应该认为是具有限制性的。

如图1和图2所示，本实用新型实施例提供的镀膜基片架包括外部框架1、至少两个用于防止玻璃倾倒的竖杆2和至少两个横杆3。其中，外部框架1用于传动和整体支撑，至少两个竖杆2和至少两个横杆3设置在外部框架1内。每相邻的两个竖杆2和每相邻的两个横杆3围合成尺寸可调的内部框架4。具体地，每一个竖杆2分别与每一个横杆3相交，且在相交处实现沿横杆3和竖杆2的长度方向的滑动连接，即每一竖杆2与每一横杆3滑动连接，每一竖杆2可沿横杆3的长度方向滑动，每一横杆3可沿竖杆2的长度方向滑动，从而调节内部框架4的尺寸。本实用新型实施例通过横杆3和竖杆2之间的自由滑动，可以方便快捷更换镀膜基片架需要的尺寸，摆放用于生产的玻璃基片。

本实用新型通过将至少两个横杆3和至少两个竖杆2滑动连接在外部框架1内，且每相邻的两个竖杆2和每相邻的两个横杆3围合成内部框架4，可自由组合成各种尺寸的内部框架4，再将横杆3和竖杆2固定在镀膜基片架外部框架1上，即可开始放玻璃片进行镀膜；在完成玻璃镀膜传送的过程中，可快速在线切换产品尺寸，克服了以往一套镀膜基片架只能满足一种产品尺寸的缺点，节约了生产成本；同时，以往的换架操作费时费力，造成人力和时间的浪费，严重阻碍了生产效率，而本实用新型在实际镀膜生产中的应用，既节约了生产成本也提高了生产效率。

优选地，在本实用新型的一个实施例中，镀膜基片架包括两个竖杆2和两个横杆3，且两个竖杆2和两个横杆3相互垂直设置，以围合成一个内部框架4，通过滑动两个竖杆2和两个横杆3的位置来调节内部框架4的尺寸。可以理解的是，在本实用新型的其它实施例中，竖杆2和横杆3的个数也可以是两个以上，且竖杆2和横杆3的数量也可以不同。另外，根据实际尺寸的需要，竖杆2与横杆3也可以相互倾斜设置。

进一步地，如图3所示，在本实用新型的一个实施例中，在每一横杆3和竖杆2的两端均设置有U形螺孔21，镀膜基片架还包括与U形螺孔21配合且用于在内部框架4的尺寸确定时将横杆3和竖杆2固定在外部框架1上的紧固螺钉(未示出)。具体地，在调节好内部框架4的尺寸后，通过紧固螺钉与横杆3和竖杆2两端的U形螺孔21的配合将横杆3和竖杆2固定在外部框架1内，从而固定内部框架1的尺寸。

可以理解的是，在本实用新型的其它实施例中，也可以用其它固定方式将横杆3和竖杆2固定在外部框架1内，如图4所示，在竖杆2的两端开设安装孔203，再通过螺钉将竖杆2固定在外部框架1上。具体地，竖杆2包括第二固定部202和层叠在第二固定部202上方且与第二固定部202一体成型的第二连接部201，该第二固定部202的长度大于第二连接部201，且在第二固定部202的两端设置有多个上述安装孔203。

进一步地，如图5所示，镀膜基片架还包括用于将每一竖杆2分别滑动连接在横杆3上的滑块5。具体地，滑块5包括滑动部51和与滑动部51固定连接的夹持部52。

进一步地，如图6所示，在本实用新型的一个实施例中，在每一横杆3沿其长度方向开设有凹槽31，上述滑动部51用于滑动连接在凹槽31内，夹持部52用于夹持竖杆2的第二连接部201。

具体地，横杆3包括第一固定部301和层叠在第一固定部301上方且与第一固定部301一体成型的第一连接部302，该第一连接部302上设置有上述凹槽31，另外，第一固定部301的长度大于第一连接部302，且在第一固定部301的两端设置有上述U形螺孔21。

在本实用新型的另一个实施例中，在每一竖杆2沿其长度方向开设有凹槽31，上述滑动部51用于滑动连接在凹槽31内，夹持部52用于夹持横杆3。

优选地，当在横杆3上开设凹槽31时，横杆3设置在竖杆2的下方，以方便滑动竖杆2；当在竖杆2上开设凹槽31时，竖杆2设置在横杆3的下方，以方便滑动横杆3。

进一步优选地，凹槽31的横截面呈梯形。相应地，滑动部51的横截面也呈梯形且尺寸与凹槽31匹配。

进一步地，夹持部52的横截面呈梯形，且夹持部52的梯形横截面所在的平面垂直于滑动部51的梯形横截面所在的平面。具体地，夹持部52内设置有横截面呈梯形的夹持槽501，该夹持槽501可用于夹持上述竖杆2的第二连接部201，此时第二连接部201的横截面也呈梯形。

优选地，本实用新型实施例的镀膜基片架用于高温真空镀膜领域，其材质为高温无氧铜或高强度不锈钢材料。

本实用新型还提供了一种真空镀膜设备，其包括上述所述的镀膜基片架。

本实用新型通过将内部框架4设于外部框架1之上，同时通过紧固螺丝固定，解决了玻璃基片的支撑和传送的问题。同时由于内部框架4采用至少两个横杆3和至少两个竖杆2相互之间滑动的方式自由组合，可方便快捷的形成各种尺寸。在在线生产的情况下，可快速地把内部框架4调节成需要的尺寸，通过滑动横杆3和竖杆2，完成内部框架4的调节，再通过紧固螺丝把内部框架4固定在外部框架1上，整个操作过程在等候基片装载段即可完成，节约了生产时间。同时省去了备用的多套相应尺寸基片架，节约了生产成本。

以上材料的研究和试验均由国家高技术研究发展计划(863计划)中课题“高性能低成本多点触摸电容屏产业化关键技术”的经费资助，课题编号：2013AA030602。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种镀膜基片架，其特征在于，包括用于传动和支撑的外部框架(1)和设置在所述外部框架(1)内的至少两个竖杆(2)和至少两个横杆(3)，每相邻的两个所述竖杆(2)和每相邻的两个所述横杆(3)围合成尺寸可调的内部框架(4)；每一所述竖杆(2)与每一所述横杆(3)滑动连接，每一所述竖杆(2)可沿所述横杆(3)的长度方向滑动，每一所述横杆(3)可沿所述竖杆(2)的长度方向滑动，以调节所述内部框架(4)的尺寸。

2.如权利要求1所述的镀膜基片架，其特征在于，所述镀膜基片架还包括用于将每一所述竖杆(2)分别滑动连接在所述横杆(3)上的滑块(5)。

3.如权利要求2所述的镀膜基片架，其特征在于，每一所述横杆(3)沿其长度方向开设有凹槽(31)，所述滑块(5)包括与所述凹槽(31)匹配且用于滑动连接在所述凹槽(31)内的滑动部(51)和与所述滑动部(51)固定连接且用于夹持所述竖杆(2)的夹持部(52)。

4.如权利要求2所述的镀膜基片架，其特征在于，每一所述竖杆(2)沿其长度方向开设有凹槽(31)，所述滑块(5)包括与所述凹槽(31)匹配且用于滑动连接在所述凹槽(31)内的滑动部(51)和与所述滑动部(51)固定连接且用于夹持所述横杆(3)的夹持部(52)。

5.如权利要求3或4所述的镀膜基片架，其特征在于，所述凹槽(31)的横截面呈梯形。

6.如权利要求5所述的镀膜基片架，其特征在于，所述夹持部(52)的横截面呈梯形，且所述夹持部(52)的梯形横截面所在的平面垂直于所述滑动部(51)的梯形横截面所在的平面。

7.如权利要求1所述的镀膜基片架，其特征在于，每一所述横杆(3)和竖杆(2)的两端均设置有U形螺孔(21)；所述镀膜基片架还包括与所述U形螺孔(21)配合且用于在所述内部框架(4)的尺寸确定时将所述横杆(3)和竖杆(2)固定在所述外部框架(1)上的紧固螺钉。

8.如权利要求1所述的镀膜基片架，其特征在于，所述镀膜基片架包括两个所述竖杆(2)和两个所述横杆(3)。

9.如权利要求1所述的镀膜基片架，其特征在于，所述镀膜基片架由高温无氧铜材料或不锈钢材料制成。

10.一种真空镀膜设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的镀膜基片架。