CN105483637A - 玻璃真空镀膜基片架 - Google Patents

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CN105483637A
CN105483637A CN201610117433.4A CN201610117433A CN105483637A CN 105483637 A CN105483637 A CN 105483637A CN 201610117433 A CN201610117433 A CN 201610117433A CN 105483637 A CN105483637 A CN 105483637A
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CN201610117433.4A
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张少波
杨玉珂
赵勇
张煜东
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Kaisheng Information Display Material (luoyang) Co Ltd
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50Substrate holders

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

本发明公开了一种玻璃真空镀膜基片架,包括基片架本体、两根竖杆、至少两根横杆、上夹具和下夹具,基片架本体为四边形框架,基片架本体的四个角上具有第一螺纹孔,竖杆两端都具有第一凹槽,第一凹槽内装有连接件,两根竖杆通过连接件安装在基片架本体上,竖杆上端部具有第二凹槽,中部具有第三凹槽,下端部具有第四凹槽,第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽内都有连接孔,至少两根横杆通过连接孔可拆卸地安装在竖杆上,所述上夹具和下夹具均设在横杆上。该基片架的横杆可拆卸地安装在竖杆上,可以单独拆下,方便更换,以适应不同规格玻璃镀膜的需求。

Description

玻璃真空镀膜基片架
技术领域
本发明涉及真空镀膜领域,具体是一种用于超薄玻璃真空镀膜的玻璃真空镀膜基片架。
背景技术
目前,市场上所生产的镀膜玻璃一般采用真空磁控溅射的方式,玻璃基片架以仓室大小为准,以运动中的基片架来承载玻璃进行镀膜,现有的玻璃镀膜基片架是整体结构,或者横杆与竖杆是固定在一起的,不可以拆卸,每次更换玻璃规格时都要将玻璃基片架整个拆下,经过降温、分解,再重新组装、安装到镀膜室中、加热,浪费大量的时间,造成生产效率的低下,浪费时间,影响生产,直接影响靶材利用率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种玻璃真空镀膜基片架,该基片架的横杆可拆卸地安装在竖杆上,可以单独拆下,方便更换,以适应不同规格玻璃镀膜的需求。
为解决上述技术问题,本发明提供了一种玻璃真空镀膜基片架,包括基片架本体、两根竖杆、至少两根横杆、上夹具和下夹具,所述基片架本体为四边形框架,基片架本体的四个角上具有第一螺纹孔,竖杆两端都具有第一凹槽,第一凹槽内装有连接件,两根竖杆通过连接件安装在基片架本体上,竖杆上端部具有第二凹槽,中部具有第三凹槽,下端部具有第四凹槽,第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽内都有连接孔,至少两根横杆通过连接孔可拆卸地安装在竖杆上,所述上夹具和下夹具均设在横杆上。
当更换玻璃规格时,不需要将整个基片架都从镀膜生产线上拆下,只将横杆趁热拆下,再根据需要安装事先加热好的横杆,就可以满足不同规格玻璃的需要,不需要经过冷却和再加热步骤,节省时间、提高效率。
所述横杆一端具有第一连接块,另一端具有第二连接块,第一连接块上开有第一台阶孔,第二连接块上具有第二台阶孔。
第一连接块和第二连接块分别卡在第二凹槽、第三凹槽或第四凹槽中,再用螺钉分别穿过第一台阶孔、第二台阶孔紧固,可以防止横杆在移动过程中发生移动,导致玻璃掉落。
所述的第一台阶孔由圆柱孔和圆台孔组成;所述的第二台阶孔由上腰型孔和下腰型孔组成,上腰型孔一端横穿第二连接块。安装时螺钉头陷在圆柱孔和上腰型孔中,可以防止安放时螺钉头刮伤玻璃。
附图说明
图1是本发明基片架本体的示意图。
图2是本发明竖杆的示意图。
图3是本发明横杆的示意图。
图4是本发明连接件的示意图。
图5是本发明玻璃真空镀膜基片架的示意图。
图6是本发明调整后的玻璃真空镀膜基片架的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明。
玻璃真空镀膜基片架,如图1~图5所示,包括基片架本体1、两根竖杆2、四根横杆3、上夹具4和下夹具5,所述基片架本体1为四边形框架,基片架本体1的四个角上各具有三个第一螺纹孔11,竖杆2两端都具有第一凹槽21,第一凹槽21内安装有连接件6,连接件6上具有三个第二螺纹孔61,第二螺纹孔61与第一螺纹孔11相对应,连接螺钉穿过第二螺纹孔61和第一螺纹孔11将连接件6安装在基片架本体1上,从而将两根竖杆2与基片架本体1相连接。竖杆2上端部具有一个第二凹槽22,中部具有三个第三凹槽23,下端部具有一个第四凹槽24,第二凹槽22内有两个连接孔25,三个第三凹槽内23内各有一个连接孔25,第四凹槽24内也有两个连接孔25,所述第二凹槽22与第四凹槽24对称布置,中间的第三凹槽23与两端的第三凹槽23的间距相等。四根横杆3包括一根上横杆31、两根中横杆32和一根下横杆33,上横杆31下表面上分布有若干个下夹具5,中横杆32上表面上分布若干个上夹具4,下表面上分布若干个下夹具5,下横杆33上表面上分布有若干个上夹具4;所述横杆3一端具有第一连接块34,另一端具有第二连接块35,第一连接块34上开有第一台阶孔36,第一台阶孔36由圆柱孔361和圆台孔362组成。第二连接块35上具有第二台阶孔37,第二台阶孔37由上腰型孔371和下腰型孔372组成,上腰型孔371一端横穿第二连接块35。上横杆31的第一连接块34和第二连接块35分别与连接件6连接;两根中横杆32的第一连接块34和第二连接块35分别位于两根竖杆2的两个第三凹槽23中,并用螺钉紧固;下横杆33的第一连接块34和第二连接块35分别与连接件6连接。
当更换待镀膜玻璃尺寸时,只需要调节上横杆31、中横杆32和下横杆33的位置,例如,将上横杆31的第一连接块34和第二连接块35分别调至第二凹槽22中,并用螺钉与其中的一组连接孔25紧固;抽掉一根中横杆,并将剩余的一根中横杆32的第一连接块34和第二连接块35分别位于两根竖杆2的位于中间的第三凹槽23中,并用螺钉紧固;将下横杆33的第一连接块34和第二连接块35分别位于两根竖杆2的第四凹槽24中,并用螺钉紧固,如图6所示。
以上所述,仅是本发明的具体实施方式,并非对本发明的限制,本领域的技术人员在不脱离本发明技术设计原理的情况下,利用上述技术内容所作的更动或修饰,如改变竖杆上第二凹槽、第三凹槽或第四凹槽的位置及个数,改变横杆的位置及个数,或用中横杆代替上横杆和下横杆等,均应视为属于本发明的保护范围。

Claims (3)

1.玻璃真空镀膜基片架,包括基片架本体、两根竖杆、至少两根横杆、上夹具和下夹具,其特征在于,所述基片架本体为四边形框架,基片架本体的四个角上具有第一螺纹孔,竖杆两端都具有第一凹槽,第一凹槽内装有连接件,两根竖杆通过连接件安装在基片架本体上,竖杆上端部具有第二凹槽,中部具有第三凹槽,下端部具有第四凹槽,第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽内都有连接孔,至少两根横杆通过连接孔可拆卸地安装在竖杆上,所述上夹具和下夹具均设在横杆上。
2.如权利要求1所述的玻璃真空镀膜基片架,其特征在于:所述横杆一端具有第一连接块,另一端具有第二连接块,第一连接块上开有第一台阶孔,第二连接块上具有第二台阶孔。
3.如权利要求2所述的玻璃真空镀膜基片架,其特征在于:所述的第一台阶孔由圆柱孔和圆台孔组成;所述的第二台阶孔由上腰型孔和下腰型孔组成,上腰型孔一端横穿第二连接块。
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