CN205194671U - 拆装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种拆装装置。本实用新型拆装装置，包括：衬板、液压装置和螺丝；所述液压装置的数目至少为两个，且所述液压装置均匀设置在所述衬板的第一表面；所述衬板上设置第一螺孔，所述螺丝可穿过所述第一螺孔，并将与所述衬板的第二表面贴合的待拆装板状部件与所述衬板固定；每个所述液压装置中包括支撑所述衬板的伸缩杆。本实用新型实现了快速完整的拆装部件的效果，提高了生产效率，降低了生产成本。

Description

拆装装置

技术领域

本实用新型涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种拆装装置。

背景技术

目前，在生产显示屏的过程中，多数用到蚀刻的方式来对面板进行处理。蚀刻分为干法蚀刻、湿法蚀刻等，其中，干法蚀刻是将特定气体置于低压状态下施以电压，将其激发成电浆，对特定膜层加以化学性腐蚀或离子轰击，达到去除膜层的一种蚀刻方式。

利用干法蚀刻生产显示屏的设备称为干法刻蚀设备，其中，起到绝缘作用的陶瓷材料在使用一段时间后需要进行周期性的保养，实际操作过程为将陶瓷材料拆卸下来进行清洗，清洗过后再安装回干法刻蚀设备中。

由于陶瓷具有易碎的性质，在拆装的时候难以控制力度，容易导致受力不均衡而使其损坏，给生产带来影响，导致生产效率低，生产成本高。

实用新型内容

本实用新型提供一种拆装装置，以克服现有技术中拆装部件的时候难以控制力度，容易损坏部件，导致生产效率低，生产成本高的问题。

本实用新型提供一种拆装装置，包括：衬板、液压装置和螺丝；

所述液压装置的数目至少为两个，且所述液压装置均匀设置在所述衬板的第一表面；

所述衬板上设置第一螺孔，所述螺丝穿过所述第一螺孔，并将与所述衬板的第二表面贴合的待拆装部件固定于所述衬板上；

所述液压装置包括可伸缩于所述液压装置并用于支撑所述衬板的伸缩杆。

进一步地，上述拆装装置中还包括缓冲垫，

所述缓冲垫设置在所述衬板的第二表面与所述待拆装部件之间。

进一步地，上述拆装装置中，所述缓冲垫上与所述第一螺孔对应的位置设置有第二螺孔。

进一步地，上述拆装装置中，所述缓冲垫为橡胶垫或者泡沫垫。

进一步地，上述拆装装置中，还包括按钮，

所述按钮设置在所述衬板的第一表面。

进一步地，上述拆装装置中，还包括：挂钩，

所述挂钩固定设置在所述衬板的第一表面。

进一步地，上述拆装装置中，所述挂钩的数目至少为一个。

本实用新型拆装装置，包括使用衬板、液压装置和螺丝，其中，液压装置的数目为偶数，且液压装置对称设置在衬板的第一表面，衬板上设置第一螺孔，螺丝可穿过第一螺孔，并将与衬板的第二表面贴合的待拆装部件与衬板固定，每个液压装置中包括可伸缩于所述液压装置并用于支撑衬板的伸缩杆，伸缩杆伸出液压装置至衬板的第二表面，以使衬板升高，从而使待拆装部件从其连接的设备上脱离。本实用新型解决现有技术在拆装部件的时候难以控制力度，容易损坏待拆装部件的问题，实现了快速完整的拆装部件的效果，提高了生产效率、降低了生产成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型拆装装置的第一结构示意图；

图2为本实用新型拆装装置的第二结构示意图；

图3为本实用新型拆装装置的第三结构示意图；

图4为本实用新型拆装装置的第四结构示意图；

图5为本实用新型拆装装置的第五结构示意图。

附图标记：

1—衬板

2—液压装置

3—螺丝

4—待拆装板状部件

5—缓冲垫

6—按钮

7—挂钩

11—第一表面

12—第二表面

13—第一螺孔

21—伸缩杆

51—第二螺孔

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型拆装装置的第一结构示意图，图2为本实用新型拆装装置的第二结构示意图，如图1和图2所示，本实施例的拆装装置可以包括：衬板1、液压装置2、螺丝3。

如图1所示，所述液压装置2的数目至少为两个，优选为偶数个，且所述液压装置2均匀设置在所述衬板1的第一表面11。

具体地，所述待拆装部件优选为待拆装板状部件4，衬板1可以分为第一表面11和第二表面12，第一表面11为衬板1远离待拆装板状部件4的表面，第二表面12为衬板1靠近待拆装板状部件4的表面。

优选的，液压装置2可以利用液压缸实现。

可以理解的是，为了保证衬板1在升降过程中保持水平上升和水平下降，液压装置2需要均匀分布，液压装置2的数目至少为两个。

例如，液压装置2的数目为两个，且需要对称设置。

或者，又例如，液压装置2的数目也可以为三个，并设置成三角型。

或者，又例如，如图2所示，优选使用四个液压装置2，这四个液压装置2分布在衬板1的四个角上。

例如，衬板1可以是长方形，或者，也可以是正方形，或者，还可以是圆形。

如图1所示，所述衬板1上设置第一螺孔13，所述螺丝3可穿过所述第一螺孔13，并将与所述衬板1的第二表面12贴合的待拆装板状部件4固定于所述衬板1上。

具体地，第一螺孔13可以是通孔，也可以是螺纹孔，第一螺孔13在衬板1的位置与待拆装板状部件4上的孔的位置相对应，第一螺孔13的数量与待拆装板状部件4上的孔的数量相等。当需要将待拆装板状部件4从其所在的设备上拆卸下来时，将螺丝3穿过第一螺孔13，将待拆装板状部件4与衬板1固定住，使得待拆装板状部件4与第二表面12贴合后，通过控制液压装置2使得待拆装板状部件4与设备分离。

如图1所示，每个所述液压装置2中包括一个伸缩杆21。所述伸缩杆21可伸缩于所述液压装置2并用于支撑衬板1，所述伸缩杆21可以伸出所述液压装置2至所述衬板1的第二表面12，以使所述衬板1升高，或者，所述伸缩杆21也可以缩回所述液压装置2内，以使所述衬板1降低。

具体地，当需要使用本实施例中所示的拆装装置将待拆装板状部件4从其所在的设备上拆卸下来时，例如，使用拆装装置将干法刻蚀设备上的陶瓷板拆卸下来进行清洗时，首先将伸缩杆21收回至液压装置2内，将衬板1的第二表面12与待拆装板状部件4(如陶瓷板)贴合，使用螺丝3穿过衬板1的第一螺孔13固定至待拆装板状部件4(如陶瓷板)上的孔，然后，控制伸缩杆21伸出液压装置2，衬板1连带着待拆装板状部件4(如陶瓷板)在垂直方向上升高，使得待拆装板状部件4(如陶瓷板)与其所在的设备脱离，然后进行后续的操作，如对拆卸下来的陶瓷板进行清洗。

进一步的，当需要将待拆装板状部件4安装回设备中时，例如，将干法刻蚀设备上拆卸下来的陶瓷板重新安装回设备上时，首先将待拆装板状部件4(如陶瓷板)通过螺丝3固定在衬板1上，使得待拆装板状部件4(如陶瓷板)与衬板1贴合后，然后伸缩杆21伸出液压装置2，将衬板1连带着待拆装板状部件4(如陶瓷板)移动至设备中待拆装板状部件4(如陶瓷板)需要安装的位置后，将伸缩杆21收回至液压装置2中，衬板1连带着待拆装板状部件4(如陶瓷板)在垂直方向上降低，最后，当待拆装板状部件4(如陶瓷板)到达安装的位置后，再将螺丝3拆下并移走衬板1，使待拆装板状部件4与衬板1分离。

图3为本实用新型拆装装置的第三结构示意图，如图3所示，进一步地，

本实施例的拆装装置还可以包括：缓冲垫5。

如图3所示，缓冲垫5可以设置在所述衬板1的第二表面12，且位于所述衬板1的第二表面12与所述待拆装板状部件4之间。

具体地，缓冲垫5的位置设置在衬板1的第二表面12，可以使用黏性材料粘贴，还可以使用卡扣卡住。

缓冲垫5位于衬板1的第二表面12与所述待拆装板状部件4之间的目的在于，降低待拆装板状部件4在拆装过程中的振动，起到缓冲的作用，避免待拆装板状部件4被损坏。

例如，当待拆装板状部件4为陶瓷板时，因为陶瓷板具有易碎性，使用缓冲垫可以最大可能的降低陶瓷板出现裂缝或破裂。

如图3所示，缓冲垫5上在与所述第一螺孔13对应的位置设置有第二螺孔51。

具体地，当螺丝3穿过第一螺孔13与待拆装板状部件4固定时，也需要穿过第二螺孔51，第二螺孔51的数量与待拆装板状部件4上的孔的数量相等。

如图3所示，进一步地，缓冲垫5可以利用橡胶或者泡沫材料制成。

优选的，缓冲垫5的形状可以是正方形，也可以是长方形，还可以是圆形等形状。缓冲垫5的尺寸需要大于或者等于待拆装板状部件4的尺寸，但小于衬板1的尺寸，以利于伸缩杆21可以灵活的伸出和收容于所述液压装置2。

图4为本实用新型拆装装置的第四结构示意图，如图4所示，进一步地，本实施例的拆装装置还可以包括：按钮6，按钮6可以设置在所述衬板1的第一表面11。

具体地，按钮6用于控制液压装置2中伸缩杆21的伸出和收回。

当需要伸缩杆21伸出时，用户使用按钮6，控制伸缩杆21伸出；当需要伸缩杆21收回时，用户使用按钮6，控制伸缩杆21收回。

其中，按钮6用于控制液压装置2中伸缩杆21的控制过程，可以使用机械结构实现，或者，也可以使用设备外的其他电子设备实现。

图5为本实用新型拆装装置的第五结构示意图，如图5所示，进一步地，本实施例的拆装装置还包括：挂钩7，挂钩7固定设置在所述衬板1的第一表面11。

具体地，挂钩7用于当需要将衬板1移动到其他位置时，使用外部的夹持工具勾住挂钩7，将衬板1移动到指定的位置。

如图5所示，挂钩7的数目可以为至少一个，目的在于移动衬板1的时候保证其平稳性，优选的，可以使用四个挂钩7，且对称设置，使用外部的夹持工具时，将四个挂钩7同时勾住，移动衬板1。

本实施例的拆装装置，通过使用衬板1、液压装置2和螺丝3，其中，液压装置2的数目为偶数，且液压装置2对称设置在衬板1的第一表面11，衬板1上设置第一螺孔13，螺丝可穿过第一螺孔13，并将与衬板1的第二表面12贴合的待拆装板状部件4与衬板1固定，每个液压装置2中包括支撑衬板1的伸缩杆21，伸缩杆21伸出液压装置2至衬板1的第二表面12，以使衬板1升高，或者，伸缩杆21缩回液压装置2内，以使衬板1降低。解决现有技术中拆装部件的时候难以控制力度，容易损坏部件的问题，实现了快速完整的拆装部件的效果，提高了生产效率、降低了生产成本。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (7)

1.一种拆装装置，其特征在于，包括：衬板、液压装置和螺丝；

所述液压装置的数目至少为两个，且所述液压装置均匀设置在所述衬板的第一表面；

所述衬板上设置第一螺孔，所述螺丝穿过所述第一螺孔，并将与所述衬板的第二表面贴合的待拆装部件固定于所述衬板上；

所述液压装置包括可伸缩于所述液压装置并用于支撑所述衬板的伸缩杆。

2.根据权利要求1所述的拆装装置，其特征在于，还包括缓冲垫，

所述缓冲垫设置在所述衬板的第二表面与所述待拆装部件之间。

3.根据权利要求2所述的拆装装置，其特征在于，所述缓冲垫上与所述第一螺孔对应的位置设置有第二螺孔。

4.根据权利要求2或3所述的拆装装置，其特征在于，所述缓冲垫为橡胶垫或者泡沫垫。

5.根据权利要求1所述的拆装装置，其特征在于，还包括按钮，

所述按钮设置在所述衬板的第一表面。

6.根据权利要求1所述的拆装装置，其特征在于，还包括挂钩，

所述挂钩固定设置在所述衬板的第一表面。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述挂钩的数目至少为一个。