CN205188475U - 一种用于夹持石英腔体的安装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于夹持石英腔体的安装装置，它主要由一对半环柱弧面形夹持支架和紧固装置构成；在夹持支架两端设有紧固用侧面板，在夹持支架中段上部设有抓手，两个半环柱弧面形夹持支架内面，紧贴着半环柱弧面形缓冲垫；通过螺栓、螺母、弹簧，调节位于夹持支架两侧相对应的侧面板间距，使半环柱弧面形夹持支架，或夹持石英腔体或与石英腔体分离。本实用新型安装装置，其特点是结构简单，装拆方便，成本低，较实用。

Description

一种用于夹持石英腔体的安装装置

技术领域

本实用新型属于半导体材料生长设备安装领域，具体是指一种用于夹持石英腔体的安装安置。

背景技术

在半导体材料生长设备中，尤其是氮化镓材料生长的HVPE设备中，需要使用各种不同规格尺寸的石英腔体。其石英腔体通常规格为直径小于200毫米，重量小于25千克，高度或长度小于1.2米。进行保养维护时，安装整个石英腔体，只需要两人协同搬运安装，即可保证安装精度和准确度，安装过程简单方便。随着半导体行业的发展，氮化镓材料生长的HVPE设备中，使用的石英腔体的尺寸也相应的增大，其石英腔体的直径突破200毫米以上，重量超过25千克，高度或长度大于1.2米，安装时，仅靠少量的安装人员显然不够，需要多人协同安装，可控性很差，安装精度不易保证，安装效率低；且石英材质易碎、表面光滑，存在一定的安全隐患。显然，小型半导体材料生长设备石英腔体的安装方法，已经难于满足现行半导体生长设备中石英腔体的日常安装维护保养的需要。如何能保证这种大型半导体材料生长设备安装维护保养精度，提高效率，确保安全，降低风险，是亟待解决的安装问题。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种结构简单，拆装方便，成本低的安装装置。

为此，本实用新型一种用于夹持石英腔体的安装装置，所采用的技术方案是：所述安装装置由一对夹持装置和紧固装置组成；所述夹持装置，包含半环柱弧面形夹持支架、紧贴在其内面的半环柱弧面形缓冲垫、位于夹持支架左右两端的紧固用侧面板、位于各夹持支架中段上部的抓手；所述紧固装置，其数量依据需要可以是2-6组，其每组包含一个螺栓、一个螺母和一条弹簧，螺栓可以穿过相对应的两个侧面板上的通孔：适当调控各紧固装置上的螺栓螺母，通过改变两个相对应的一对侧面板间的间距，可使夹持支架夹紧或放松被夹的石英腔体；所述半环形抓手其形状及数量以据实际需要而定，如其形状可以是半圆环形、方截面半环形、或其他界面半环形，各夹持支架中段上部的抓手的数量可以是1个～4个；所述半环柱弧面形夹持支架、紧固用侧面板、半环形抓手，其材料采用刚性材料，可用不锈钢、铝合金。

本实用新型装置，其夹持支架、紧固装置均由彼此相对应的两部分组成。

在所述两个半环柱弧面形夹持支架内面上，紧贴着半环柱弧面形缓冲垫，其材料为防滑弹性材料，如橡胶、硅胶，其表面为非光滑糙面，在夹持时可增加其表面与石英腔体外壁间的摩擦力，以稳固夹持并避免石英腔体滑落，且缓冲垫的弹性缓冲性能，可以防止石英腔体在被夹持时碎裂。

夹持操作步骤：(1)松开各组紧固装置的螺栓螺母，适当拉开两个夹持支架间距，使其口径略大于被夹石英腔体外径；(2)操控四个半环形抓手，将两个半环柱弧面形夹持支架套在石英腔体外并选择合适位置；(3)调节各组紧固装置的螺栓、螺母、弹簧，逐步缩小两个夹持支架两侧的相对应两个侧面板间距，使半环柱弧面形缓冲垫贴近并紧紧夹持石英腔体外表面；(4)操控抓手，移动本实用新型夹持装置及其被夹持的石英腔体；(5)旋转松开螺栓螺母，使半环柱弧面形缓冲垫与石英腔体表面分离后，操控抓手，移去夹持装置。完成操作。本安装装置，具有结构简单，拆装方便，成本低，较实用等特点。

附图说明

附图1为本实用新型一种用于夹持石英腔体的安装安置的结构示意图。其中，

1：夹持装置：11：夹持支架12：侧面板13：抓手14：缓冲垫；

2：紧固装置：21：螺栓22：螺母23；弹簧。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。

实施例1.如图1所示，一种用于夹持石英腔体的安装装置，其整体左右对称，由左右对称布置两个半环柱弧面形夹持支架11，在其中段上部各有2个半环形抓手13，在两个夹持支架11的内面紧贴着半环柱弧面形缓冲垫14，紧固用的四个螺栓21，四条弹簧23，四个螺母22等组成。两个半环柱弧面形夹持支架11左右两侧分别设置2个紧固用侧面板12，两个半环柱弧面形夹持支架内面分别设置半环柱弧面形缓冲垫14，在一对相对应的侧面板12之间分别设置2组紧固装置，每组紧固装置包含一条弹簧23、1个螺栓21、一个螺母，各组紧固装置为平行排布；调控紧固装置2上的螺栓螺母，通过改变两个相对应的一对侧面板12间的间距，可使夹持支架夹紧或放松被夹的石英腔体。

如图1所示,本安装装置，夹持支架为抱箍状，由左右对称布置两个半环柱弧面形夹持支架11构成。两个半环柱弧面形夹持支架11上端设置四个半圆环形抓手13，操控其用于夹持、吊起并移动石英腔体以便安装。两个半环柱弧面形夹持支架11内面设置缓冲垫14，起到固定石英腔体的作用，四个侧面板12，四条弹簧23，四个螺栓21，四个螺母22，依次构成连接机构，调节夹持装置对石英腔体的作用力，以实施夹持或松开被夹石英腔体。

实施例2.一种用于夹持石英腔体的安装装置，其整体左右不对称，其两个半环柱弧面形夹持支架11其大小为非对等，即一大一小，其他结构与实施例1完全相同；其效果与实施例1的效果一样。

实施例3.一种用于夹持石英腔体的安装装置，其夹持装置与实施例1完全相同，但依据紧固需要，其紧固装置数量增为6组即左右两侧各设置3组紧固装置；其效果与实施例1的效果一样。

Claims (4)

1.一种用于夹持石英腔体的安装装置，其特征在于，所述安装装置由一对夹持装置(1)和紧固装置(2)组成；所述夹持装置(1)，包含半环柱弧面形夹持支架(11)、紧贴在半环柱弧面形夹持支架(11)内面的半环柱弧面形缓冲垫(14)、位于夹持支架(11)左右两端的紧固用侧面板(12)、位于夹持支架(11)中段上部的抓手(13)；所述侧面板上设有允许螺栓(21)穿过的通孔；所述紧固装置(2)，其每组包含螺栓(21)、螺母(22)和弹簧(23)，螺栓可以穿过相对应的两个侧面板上的通孔，与螺母形成连接：通过适当调控各紧固装置(2)上的螺栓螺母，可改变两个相对应的一对侧面板(12)间的间距。

2.根据权利要求1所述一种用于夹持石英腔体的安装装置，其特征在于，所述紧固装置的数量为2-6组。

3.根据权利要求1所述一种用于夹持石英腔体的安装装置，其特征在于，所述抓手数量为1-4个，其形状为半圆环形、方截面半环形。

4.根据权利要求1所述一种用于夹持石英腔体的安装装置，其特征在于，所述半环柱弧面形夹持支架(11)、紧固用侧面板(12)、半环形抓手(13)，其材料采用刚性材料；所述半环柱弧面形缓冲垫(14)，其材料采用弹性材料。