CN205139263U - 测试装置 - Google Patents

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CN205139263U CN201520774027.6U CN201520774027U CN205139263U CN 205139263 U CN205139263 U CN 205139263U CN 201520774027 U CN201520774027 U CN 201520774027U CN 205139263 U CN205139263 U CN 205139263U
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Abstract

一种应用于测试设备的测试装置,包含具有上贯穿开口的上导引板,具有下贯穿开口的下导引板,以及弹性接触结构。弹性接触结构设置于上导引板与下导引板之间,弹性接触结构分别单独穿过上贯穿开口与下贯穿开口,弹性接触结构的接触结构尖段与接触结构尾段之间具有弹性接触结构偏移量。其中d1为目标弹性接触结构偏移量,d2为上导引板与下导引板之间的测试装置偏移量,上述的目标弹性接触结构偏移量与上述的测试装置偏移量之间的关系符合以下关系式:d2=d1±50~200微米。通过上述设计,有效使得测试装置中的多根弹性接触结构大致上朝同一方向摆动。

Description

测试装置
技术领域
本实用新型是关于一种测试装置,且特别是关于一种测试设备的测试装置。
背景技术
公知的测试设备可包含电路板、空间转换板与测试装置。测试装置具有多个弹性接触结构与定位弹性接触结构用的上导引板与下导引板。弹性接触结构的两端分别穿出上导引板与下导引板,其中穿出下导引板的一端用来接触待测物(deviceundertest,简称DUT)上的接触接点,例如焊垫(pad)或凸块(bump);而穿出上导引板的一端通过空间转换板与电路板电性连接。而下导引板上的贯穿孔的排列方式皆对应待测物上的接触接点。
一般而言,进行测试装置的组装,是先将弹性接触结构固定在下导引板上,之后再安装上导引板,但组装完成后,测试装置中的这些弹性接触结构常常会出现左右偏摆方向不一致,因此容易造成测试装置中这些弹性接触结构无法与待测物稳定接触的问题。
实用新型内容
本实用新型提供了一种测试装置,可以有效使得测试装置中的多根弹性接触结构大致上朝同一方向摆动。
本实用新型提供了一种应用于测试设备的测试装置,所述测试装置包含具有多个上贯穿开口的一上导引板,具有多个下贯穿开口的一下导引板,所述下导引板位于所述上导引板的一侧,所述上导引板与所述下导引板之间具有一测试装置偏移量d2,以及多个弹性接触结构。每一所述弹性接触结构设置于所述上导引板与所述下导引板之间,每一所述弹性接触结构各依序具有一接触结构尖段、一接触结构身段与一接触结构尾段,每一所述弹性接触结构分别单独穿过每一所述上贯穿开口与每一所述下贯穿开口,每一所述弹性接触结构的所述接触结构尖段与所述接触结构尾段之间分别具有一弹性接触结构偏移量,每一所述弹性接触结构具有一目标弹性接触结构偏移量d1,所述目标弹性接触结构偏移量d1与所述测试装置偏移量d2之间的关系符合以下关系式:d2=d1±50~200微米,其中d1和d2的单位均为微米。
如上述的测试装置,其中,具有最小弹性接触结构偏移量的所述弹性接触结构,其所述最小弹性接触结构偏移量为d1减去25微米。
如上述的测试装置,其中,具有最大弹性接触结构偏移量的所述弹性接触结构,其所述最大弹性接触结构偏移量为d1加上25微米。
如上述的测试装置,其中,所述上导引板与所述下导引板之间的所述测试装置偏移量为每一所述上贯穿开口的中心轴相对于每一所述下贯穿开口的中心轴之间的距离。
如上述的测试装置,其中,所述上导引板与所述下导引板二者之间的所述测试装置偏移量为呈相对设置。
如上述的测试装置,其中,所述接触结构尖段的一接触结构尖端自其中心轴拉出一第一假想线,所述接触结构身段与所述接触结构尾段的交点垂直拉出一第二假想线,所述第二假想线平行于所述接触结构尖段,每一所述弹性接触结构的弹性接触结构偏移量为所述第一假想线与所述第二假想线之间的距离。
如上述的测试装置,其中,每一所述弹性接触结构的所述接触结构身段具有一弹性部。
如上述的测试装置,其中,每一所述弹性接触结构为能弹性变形的金属结构。
如上述的测试装置,其中,当所述目标弹性接触结构偏移量与所述测试装置偏移量之间的关系符合以下关系式d2=d1-50~200微米时,所述测试装置偏移量小于所述最小弹性接触结构偏移量。
如上述的测试装置,其中,当所述目标弹性接触结构偏移量与所述测试装置偏移量之间的关系符合以下关系式d2=d1+50~200微米时,所述测试装置偏移量大于所述最大弹性接触结构偏移量。
本实用新型通过设计目标弹性接触结构偏移量d1与测试装置偏移量d2之间的关系符合以下关系式:d2=d1±50~200微米,进而可以达到测试装置在组装完成后,可以实现让测试装置中的这些弹性接触结构大致上朝向同一方向摆动的目的。
附图说明
以下附图仅旨在于对本实用新型做示意性说明和解释,并不限定本实用新型的范围。其中:
图1为本实用新型的测试装置一实施例的剖面示意图。
图2为本实用新型的弹性接触结构的示意图。
图3为本实用新型的测试装置中的上、下导引板的示意图。
图4A为本实用新型的测试装置采用不同的测试装置偏移量的测试结果的折线图。
图4B为本实用新型的测试装置采用不同的测试装置偏移量的测试结果的折线图。
图5A为本实用新型的测试装置采用不同的测试装置偏移量的测试结果的折线图。
图5B为本实用新型的测试装置采用不同的测试装置偏移量的测试结果的折线图。
图6为将图4A至图5B的测试装置偏移量测试结果以标准差表示的折线图。
附图符号说明:
100测试装置O、P交点
110上导引板θ夹角
112上贯穿开口l1第一假想线
120下导引板l2第二假想线
122下贯穿开口l3第三假想线
130弹性接触结构l4第四假想线
132接触结构尖段d弹性接触结构偏移量
1321接触结构尖端d1目标弹性接触结构偏移量
134接触结构身段d2测试装置偏移量
1341弹性部X1、X2中心轴
136接触结构尾段
具体实施方式
以下将以附图详细清楚说明本实用新型的保护范围,任何所属技术领域中的普通技术人员在了解本实用新型的较佳实施例后,可由本实用新型所记载的技术,加以改变及修饰,其并不脱离本实用新型的保护范围。此外,为简化附图起见,一些公知惯用的结构与组件在附图中将以简单示意的方式绘示。
如背景技术所述,由于测试装置中的弹性接触结构在组装完成后会出现左右偏摆方向不一致的问题,因此无法与待测物稳定接触。
有鉴于此,本实用新型便提出了一种测试装置,通过设计目标弹性接触结构偏移量d1与测试装置偏移量d2之间的关系符合以下关系式:d2=d1±50~200微米,进而可以达到测试装置在组装完成后,让测试装置中的这些弹性接触结构大致上朝向同一方向偏摆,进而实现与待测物稳定接触的目的。
参照图1,其为本实用新型的测试装置一实施例的剖面示意图。测试装置100包含有上导引板110、位于上导引板110一侧的下导引板120以及位于上导引板110以及下导引板120之间的多个弹性接触结构130。上导引板110以及下导引板120分别具有多个上贯穿开口112与下贯穿开口122,用以容置与固定弹性接触结构130。
弹性接触结构130各依序包含有接触结构尖段132、接触结构身段134以及接触结构尾段136。接触结构尖段132穿出下导引板120的下贯穿开口122,并且接触结构尖段132的接触结构尖端1321用以与待测物(未图式)接触。接触结构尾段136容置在上导引板110的上贯穿开口112中,并且接触结构尾段136穿出上导引板110的上贯穿开口112,进一步可以抵接于空间转换板(未图式)或电路板(未图式)的接点(pad)。接触结构身段134位于上导引板110以及下导引板120之间。当接触结构尖端1321接触待测物时,上导引板110以及下导引板120会限制弹性接触结构130的位移。更具体地说,上导引板110以及下导引板120之间具有测试装置偏移量d2,亦即上导引板110的上贯穿开口112不会对齐下导引板120的下贯穿开口122,以让弹性接触结构130在穿过上贯穿开口112与下贯穿开口122之后至少部分抵靠于上导引板110或下导引板120而定位。
在本实施例中,弹性接触结构130为能弹性变形的金属结构,例如为垂直挫屈弹性接触结构(又称Cobra弹性接触结构),故接触结构身段134为一概呈弯曲的接触结构身段并且在邻近接触结构尾段136的位置具有弹性部1341,弹性部1341作为挫屈结构,以在弹性接触结构130受到外力时利用挫屈原理让弹性接触结构130变形产生弹力。
接着如图2以及图3所示,其中图2为本实用新型的弹性接触结构一实施例的示意图,图3则是本实用新型的测试装置中的上、下导引板一实施例的示意图。请先参照图2,当弹性接触结构130处于自然状态,即未受到外力影响时,将接触结构尖段132视为垂直往下指(即是朝向接触结构尖端1321方向)。接触结构尾段136与接触结构身段134之间具有交点P,交点P的位置上,接触结构身段134与接触结构尾段136分别朝向不同的方向延伸。接触结构身段134在邻近接触结构尾段136的位置具有弹性部1341,接触结构身段134在弹性部1341的曲率大于接触结构身段134在邻近接触结构尖段132的部分的曲率。接触结构身段134与接触结构尖段132之间亦具有交点O,而在交点O的位置处,接触结构身段134与接触结构尖段132大致上朝向同一方向延伸,弹性接触结构130可以由接触结构尖段132的接触结构尖端1321自其中心轴拉出第一假想线l1,对应地,在接触结构身段134与接触结构尾段136的交点P的位置可以垂直(竖直)拉出一条平行于接触结构尖段132的第二假想线l2,第一假想线l1与第二假想线l2之间的距离即为弹性接触结构130的接触结构尖段132与接触结构尾段136之间的弹性接触结构偏移量d(offset)。如前所述,由于接触结构尾段136不会平行于接触结构尖段132,因此在接触结构尾段136与第二假想线l2之间会形成非零的夹角θ。
理想状态下,一个测试装置100中的这些/同一批弹性接触结构130应具有相同的目标弹性接触结构偏移量d1,也就是说,这些/同一批弹性接触结构130的弹性接触结构偏移量d也应该要相同,但是因为这些/同一批弹性接触结构130会有制造公差的缘故,因此每根弹性接触结构130实际的弹性接触结构偏移量d可能会跟理想状态(即不考虑制作公差的状态)下的目标弹性接触结构偏移量d1之间会有着正负25微米不等的差异。即一个测试装置100中的这些/同一批弹性接触结构130中具有最小弹性接触结构偏移量者,其实际的弹性接触结构偏移量d,即为这些/同一批弹性接触结构130中的最小弹性接触结构偏移量大致上应为目标弹性接触结构偏移量d1减去25微米;这些/同一批弹性接触结构130中具有最大弹性接触结构偏移量者,其实际的弹性接触结构偏移量d,即为这些/同一批弹性接触结构130中的最大弹性接触结构偏移量大致上应为目标弹性接触结构偏移量d1加上25微米。更具体地说,以一个测试装置中的这些/同一批弹性接触结构的目标弹性接触结构偏移量d1为500微米的弹性接触结构为例,其各个弹性接触结构实际的弹性接触结构偏移量d可能会从475微米至525微米不等。
要特别说明的是,请继续参照图2,在此所述的「交点P」是指自接触结构尾段136的中心轴拉出的第三假想线l3与自接触结构身段134的弹性部1341的中心轴拉出的第四假想线l4的交点。
接着请参照图3,上导引板110与下导引板120之间具有测试装置偏移量d2,使得上导引板110的这些上贯穿开口112不会对齐下导引板120的这些下贯穿开口122,借以限制弹性接触结构130的位移。以上导引板110的其中一个上贯穿开口112以及所述上贯穿开口112相对的下导引板120的其中一个下贯穿开口122为例,上导引板110的所述上贯穿开口112具有中心轴X1,下导引板120的所述下贯穿开口122亦具有中心轴X2,相邻两中心轴X1、中心轴X2之间的距离即为上导引板110与下导引板120之间的测试装置偏移量d2。上导引板110与下导引板120之间的测试装置偏移量d2为呈相对设置,亦即若是将上导引板110视为基础,则下导引板120相对上导引板110往左或往右偏移一测试装置偏移量d2,反之亦然。
请同时参照图1至图3,弹性接触结构130的目标弹性接触结构偏移量d1与上导引板110、下导引板120之间的测试装置偏移量d2较佳需符合一定的关系式,以使得测试装置100组装完成后,这些弹性接触结构130大致上可以朝同一方向偏摆。需注意的是,由于弹性接触结构130在摆入上导引板110与下导引板120之后,接触结构尾段136及/或接触结构尖段132会分别抵靠于上导引板110、下导引板120而有些微变形,因此,以下所提到的弹性接触结构130的弹性接触结构偏移量d或是目标弹性接触结构偏移量d1,均是指如图2所示的,弹性接触结构130在自然状态下的弹性接触结构偏移量d或是目标弹性接触结构偏移量d1
更具体地说,当在组装测试装置100的时候,可包含先将弹性接触结构130的接触结构尖段132分别置入下导引板120的下贯穿开口122中,接着,再将弹性接触结构130的接触结构尾段136分别置入上导引板110的上贯穿开口112中。此时,上导引板110的一上贯穿开口112的中心轴与对应的下导引板120的下贯穿开口122的中心轴,二者中心轴之间的距离(即测试装置偏移量d2),约等同于弹性接触结构130的目标弹性接触结构偏移量d1。然而,此时会出现弹性接触结构130左右偏摆的方向不一致的问题。因此,本实用新型便进一步地调整测试装置100中上导引板110、下导引板120之间的测试装置偏移量d2符合本实用新型的关系式:d2=d1±50~200微米,以让组装完成后的测试装置100中的这些弹性接触结构130大致上可以朝向同一方向偏摆。
具体而言,可以在将弹性接触结构130置入上导引板110与下导引板120后,若是以下导引板120视为基础的话,进一步可以将上导引板110往右拉,让上导引板110、下导引板120在X轴方向的距离增大,即是符合本实用新型的关系式:d2=d1+50~200微米;或是进一步可以将上导引板110往左拉,让上导引板110、下导引板120在X轴方向的距离减少,即是符合本实用新型的关系式:d2=d1-50~200微米。如此一来,便可以在将弹性接触结构130一一置入上导引板110、下导引板120后,通过横向拉动上导引板110,使得上导引板110、下导引板120之间的测试装置偏移量d2符合本实用新型的关系式d2=d1±50~200微米的方式,可以让组装完成后的测试装置100中的这些弹性接触结构130大致上朝向同一方向偏摆。当然地,由于上导引板110、下导引板120二者之间的测试装置偏移量d2为呈相对设置,亦可以将上导引板110视为基础,进一步将下导引板120往右或往左拉动,使得上导引板110、下导引板120之间的测试装置偏移量d2符合本实用新型的关系式:d2=d1±50~200微米,不应用以限制本实用新型。
在此要特别说明的是,本实用新型中的「测试装置组装完成后」是指,将一个测试装置100中的这些/同一批弹性接触结构130置入上导引板110、下导引板120后,进一步需将上导引板110或下导引板120往左或往右拉(以视上导引板110、下导引板120其中之一为基础而定),使得上导引板110、下导引板120之间的测试装置偏移量d2得以符合本实用新型的关系式:d2=d1±50~200微米。
本实用新型中,将一个测试装置100中的这些/同一批弹性接触结构130的目标弹性接触结构偏移量d1与上导引板110、下导引板120的测试装置偏移量d2的关系设计为d2=d1±50~200微米。换言之,当上导引板110、下导引板120之间的测试装置偏移量d2的关系设计为d2=d1+50~200微米时,即是指d2=d1+50微米至d1+200微米之间,此时上导引板110、下导引板120之间的测试装置偏移量d2至少大于这些/同一批弹性接触结构130中具有最大弹性接触结构偏移量者。此时除了可以使得这些弹性接触结构130于测试装置100组装完成后大致上均朝向同一方向偏摆之外;进行测试时,更可以降低这些弹性接触结构130与待测物之间的接触力,亦可以提升这些待测物在被接触时的完整性。
或者,当上导引板110、下导引板120之间的测试装置偏移量d2的关系设计为d2=d1-50~200微米时,即是指d2=d1-200微米至d1-50微米之间,此时上导引板110、下导引板120之间的测试装置偏移量d2至少小于这些弹性接触结构130中具有最小弹性接触结构偏移量者。此时除了可以使得这些弹性接触结构130于测试装置100组装完成后大致上均朝向同一方向偏摆之外;进行测试时,进而可以提供这些弹性接触结构130与待测物之间的稳定接触。
请参照图4A至图5B,其分别为本实用新型的测试装置采用不同的测试装置偏移量的测试结果的折线图。图4A至图5B中的折线表示在不同的测试装置补偿量下组装完成测试装置后的结果,图中的纵轴表示测试装置组装完成后其内的弹性接触结构的偏摆幅度(单位为微米),图中的横轴则是表示此10根弹性接触结构的弹性接触结构编号。
此处所指的「测试装置补偿量」是指在每次进行测试时,将上、下导引板之间的距离逐渐加大或是减少的变化量。亦即,如前所述,当在将弹性接触结构放入上、下导引板后,上、下导引板之间的测试装置偏移量d2约等同于目标弹性接触结构偏移量d1,当测试装置补偿量为0微米时,即表示测试装置偏移量d2约等于目标弹性接触结构偏移量d1;若是测试装置补偿量为正25微米时,即表示测试装置偏移量d2约等于目标弹性接触结构偏移量d1加上25微米;若是测试装置补偿量为负25微米时,即表示测试装置偏移量d2约等于目标弹性接触结构偏移量d1减去25微米。
图4A与图4B中的测试装置补偿量为正值,表示测试装置中上导引板与下导引板之间的测试装置偏移量d2,即是上导引板与下导引板在图3中X方向的距离设计较大。测试装置偏移量d2从约等于目标弹性接触结构偏移量d1(此时的测试装置补偿量为0微米,即关系式应为d2=d1+0微米)至大于目标弹性接触结构偏移量d1200微米(此时的测试装置补偿量为200微米,即关系式应为d2=d1+200微米)。其中图4A为测试装置补偿量为0微米、25微米、50微米、75微米的测试结果,图4B为测试装置补偿量为100微米、125微米、150微米、175微米、200微米的测试结果,此测试结果主要是检视上述弹性接触结构编号1~10的10根弹性接触结构在测试装置组装完成后的偏摆方向。
从图4A与图4B中可以得知,当测试装置补偿量在0微米以及25微米的时候,这些弹性接触结构(即是指上述弹性接触结构编号1~10的10根弹性接触结构)在测试装置组装完成之后的偏摆幅度有正值、有负值,即表示这些弹性接触结构在测试装置组装完成后的偏摆方向不会朝向同一方向;而当测试装置补偿量在50微米至200微米的时候,这些弹性接触结构在测试装置组装完成后的偏摆幅度皆为正值,即表示这些弹性接触结构在测试装置组装完成后的偏摆方向大致上朝向同一方向。
相对应地,图5A与图5B中的测试装置补偿量为负值,表示测试装置中上导引板与下导引板之间的测试装置偏移量d2,即是上导引板与下导引板在图3中X方向的距离设计较小。测试装置偏移量d2从约等于目标弹性接触结构偏移量d1(此时的测试装置补偿量为0,即关系式应为d2=d1-0微米)至小于目标弹性接触结构偏移量d1200微米(此时的测试装置补偿量为负200微米,即关系式应为d2=d1-200微米)。其中图5A测试装置补偿量为0微米、负25微米、负50微米、负75微米的测试结果,图5B为测试装置补偿量为负100微米、负125微米、负150微米、负175微米、负200微米的测试结果,此测试结果主要是检视上述弹性接触结构编号1~10的10根弹性接触结构在测试装置组装完成后的偏摆方向。
从图5A与图5B中可以得知,当测试装置补偿量在0微米以及负25微米的时候,这些弹性接触结构(即是指上述弹性接触结构编号1~10的10根弹性接触结构)偏摆幅度有正值、有负值,即表示这些弹性接触结构在测试装置组装完成后的偏摆方向不会朝向同一方向;而当测试装置补偿量在负50微米至负200微米的时候,这些弹性接触结构在测试装置组装完成后的偏摆幅度皆为正值,即表示这些弹性接触结构在测试装置组装完成后的偏摆方向大致上朝向同一方向。
进一步,请一并参照表一与图6,图6为将图4A至图5B的测试装置偏移量测试结果以标准差表示的折线图。同样地,从图6与表一可以得知当测试装置补偿量为正、负50微米(含)以上,但未超过正、负200微米,亦皆有很好的变异。
测试装置补偿量(微米) 标准差
-200 1.634503
-175 1.37
-150 1.679286
-125 1.254751
-100 1.469013
-75 1.42762
-50 1.712338
-25 3.751
0 5.237022
25 4.61607
50 1.134749
75 1.165719
100 1.600281
125 1.74631
150 1.5
175 1.347442
200 2.077107
表一、不同测试装置补偿量对偏摆幅度的标准差
综上所述,将弹性接触结构的目标弹性接触结构偏移量d1与上、下导引板的测试装置偏移量d2的关系设计为d2=d1±50~200微米,也就是说在将弹性接触结构一一置入上、下导引板后,通过横向拉动上导引板或下导引板(以视上、下导引板其中之一者为基础而定),使得上导引板、下导引板之间的测试装置偏移量d2得以符合本实用新型的关系式d2=d1±50~200微米,便可以让测试装置组装完成后,测试装置中的这些弹性接触结构大致上朝向同一方向偏摆,进而实现与待测物稳定接触的目的。
以上所述仅为本实用新型示意性的具体实施方式,并非用以限定本实用新型的范围。任何本领域的技术人员,在不脱离本实用新型的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改,均应属于本实用新型保护的范围。而且需要说明的是,本实用新型的各组成部分并不仅限于上述整体应用,本实用新型的说明书中描述的各技术特征可以根据实际需要选择一项单独采用或选择多项组合起来使用,因此,本实用新型理所当然地涵盖了与本案实用新型点有关的其它组合及具体应用。

Claims (10)

1.一种应用于测试设备的测试装置,其特征在于,所述测试装置包含:
一上导引板,具有多个上贯穿开口;
一下导引板,位于所述上导引板的一侧,具有多个下贯穿开口,所述上导引板与所述下导引板之间具有一测试装置偏移量d2;以及
多个弹性接触结构,设置于所述上导引板与所述下导引板之间,每一所述弹性接触结构各依序具有一接触结构尖段、一接触结构身段与一接触结构尾段,每一所述弹性接触结构分别单独穿过每一所述上贯穿开口与每一所述下贯穿开口,每一所述弹性接触结构的所述接触结构尖段与所述接触结构尾段之间分别具有一弹性接触结构偏移量,每一所述弹性接触结构具有一目标弹性接触结构偏移量d1,所述目标弹性接触结构偏移量d1与所述测试装置偏移量d2之间的关系符合以下关系式:
d2=d1±50~200微米,其中,d1和d2的单位均为微米。
2.如权利要求1所述的测试装置,其特征在于,具有最小弹性接触结构偏移量的所述弹性接触结构,其所述最小弹性接触结构偏移量为d1减去25微米。
3.如权利要求1所述的测试装置,其特征在于,具有最大弹性接触结构偏移量的所述弹性接触结构,其所述最大弹性接触结构偏移量为d1加上25微米。
4.如权利要求1所述的测试装置,其特征在于,所述上导引板与所述下导引板之间的所述测试装置偏移量为每一所述上贯穿开口的中心轴相对于每一所述下贯穿开口的中心轴之间的距离。
5.如权利要求1所述的测试装置,其特征在于,所述上导引板与所述下导引板二者之间的所述测试装置偏移量为呈相对设置。
6.如权利要求1所述的测试装置,其特征在于,所述接触结构尖段的一接触结构尖端自其中心轴拉出一第一假想线,所述接触结构身段与所述接触结构尾段的交点垂直拉出一第二假想线,所述第二假想线平行于所述接触结构尖段,每一所述弹性接触结构的弹性接触结构偏移量为所述第一假想线与所述第二假想线之间的距离。
7.如权利要求1所述的测试装置,其特征在于,每一所述弹性接触结构的所述接触结构身段具有一弹性部。
8.如权利要求1所述的测试装置,其特征在于,每一所述弹性接触结构为能弹性变形的金属结构。
9.如权利要求2所述的测试装置,其特征在于,当所述目标弹性接触结构偏移量与所述测试装置偏移量之间的关系符合以下关系式d2=d1-50~200微米时,所述测试装置偏移量小于所述最小弹性接触结构偏移量。
10.如权利要求3所述的测试装置,其特征在于,当所述目标弹性接触结构偏移量与所述测试装置偏移量之间的关系符合以下关系式d2=d1+50~200微米时,所述测试装置偏移量大于所述最大弹性接触结构偏移量。
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