CN205111596U - 液态物回收再利用结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种液态物回收再利用结构，包含一第一储存槽、一第二储存槽、一入料单元、一混合槽、一输送装置、多个控制阀，第一储存槽底部注入液态物，可直接排除第一储存槽下方管路内的空气，避免管路内混有空气而影响液态物定量的比例浓度；多余液态物可预存于第二储存槽，以回收再利用；输送装置可为真空吸引器(Aspirators)，在液态物由第一储存槽底部注入的同时，输送装置利用虹吸作用将第二储存槽内的回收液态物注入第一储存槽。使本实用新型具有环保、节省成本、液态物不会混有空气，而不会影响液态物定量的比例浓度，输送装置可为真空吸引器而无须电能、降低损坏率，可使用于任何液态物的定量填充、回收利用的多种功效。

Description

液态物回收再利用结构

技术领域

本实用新型涉及一种回收再利用结构，特别是指一种环保、节省成本、液态物不会混有空气，不会影响液态物定量的比例浓度，可使用于任何液态物的定量填充、回收利用的液态物回收再利用结构。

背景技术

于半导体业晶圆的制造程序中晶圆研磨对于晶圆表面全面性平坦化是有效的制程，也是半导体业晶圆制造重要的技术，在晶圆研磨制程中使用了晶圆研磨液（Slurry）及相关酸剂，其中包含晶圆研磨制剂其中的双氧水（H₂O₂)。

目前半导体业界关于双氧水（H₂O₂)的处理方式及结构，请配合参阅图11所示，其结构包含一储存槽1、一双氧水入料单元2、一混合槽3，其处理方式为排除多余双氧水，主要是储存槽1上方以管路连接双氧水入料单元2，储存槽1下方以管路连接混合槽3，因为，双氧水入料单元2是由储存槽1上方注入双氧水，所以在储存槽1内双氧水定量后往下输送到混合槽3时，无法排除储存槽1下方管路内的空气，造成管路内混有空气，该管路内的空气会影响到双氧水定量的比例浓度；且储存槽1并无连接任何溢流管、溢流槽，而无法将多余的双氧水预存下来以回收再利用。

有鉴于此，本设计人基于晶圆研磨制剂其中双氧水的处理方式及结构仍有上述多种缺点，乃本着多年从事该领域的专业实务经验，以及积极潜心研发思考，经由无数次的实际设计实验，致有本实用新型的产生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种种液态物不会混有空气，而不会影响液态物定量的比例浓度，可使用于任何液态物的定量填充、回收利用的液态物回收再利用结构。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种液态物回收再利用结构，包含：

一第一储存槽；

一第二储存槽，由一溢流管连接该第一储存槽；

一入料单元，提供液态物，该入料单元一端连接于该第一储存槽的底部；

一混合槽，一端与该入料单元的一端共同连接于该第一储存槽的底部；

一输送装置，与该第一储存槽、该第二储存槽相连接；

多个控制阀，设于该第一储存槽、该第二储存槽、该入料单元、该混合槽、该输送装置之间。

所述第一储存槽上方连接一进气单元，该进气单元提供氮气到该第一储存槽。

所述第二储存槽连接一安全装置。

所述输送装置为真空吸引器。

所述输送装置为抽送泵。

采用上述结构后，本实用新型液态物回收再利用结构的有利的效益为：环保、节省成本、液态物(如晶圆研磨制剂其中的双氧水，H₂O₂)不会混有空气，而不会影响液态物定量的比例浓度，输送装置50可为真空吸引器而无须电能、降低损坏率，可使用于任何液态物的定量填充、回收利用。

附图说明

图1为本实用新型液态物回收再利用结构的管线路图；

图2为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图一；

图3为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图二；

图4为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图三；

图5为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图四；

图6为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图五；

图7为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图六；

图8为本实用新型液态物回收再利用结构的运作图七；

图9为本实用新型液态物回收再利用结构另一实施例图；

图10为本实用新型液态物回收再利用结构另一实施例的运作图；

图11为现有半导体业其双氧水（H₂O₂)的处理结构。

其中：

储存槽1

双氧水入料单元2

混合槽3

第一储存槽10

第二储存槽20

溢流管21

入料单元30

混合槽40

输送装置50

控制阀61、62、63、64、65、66、67

进气单元70

安全装置80。

具体实施方式

为了进一步解释本实用新型的技术方案，下面通过具体实施例来对本实用新型进行详细阐述。

请参阅图1所示，本实用新型液态物回收再利用结构较佳实施例，其包含一第一储存槽10、一第二储存槽20、一入料单元30、一混合槽40、一输送装置50及多个控制阀61、62、63、64、65、66、67。下文将详细说明之：

该第二储存槽20藉一溢流管21连接该第一储存槽10。

该入料单元30用以提供该液态物(本实施例为晶圆研磨制剂其中的双氧水，H₂O₂)，该入料单元30一端连接于该第一储存槽10的底部。

该混合槽40一端与该入料单元30的一端共同连接于该第一储存槽10的底部。

该输送装置50与该第一储存槽10、该第二储存槽20相连接。

该控制阀61、62、63、64、65、66、67设于该第一储存槽10、该第二储存槽20、该入料单元30、该混合槽40、该输送装置50之间。

其中该控制阀61可为手动阀，该控制阀62、63、64、65、66、67可为电磁阀或气动阀。

于一结构实施例中，该第一储存槽10上方连接一进气单元70，该进气单元70用以提供氮气(WetN2)到该第一储存槽10；据此，当第一储存槽10的液态物(如晶圆研磨制剂其中的双氧水，H₂O₂)下料到混合槽40时，第一储存槽10会形成真空，可藉由该进气单元70提供的氮气来填满第一储存槽10之空间，以顺利下料液态物。

于一结构实施例中，该第二储存槽20连接一安全装置80，该安全装置80可为排放装置(Drain)；据此，如果本实用新型液态物回收再利用结构遇有器械故障时，可以藉安全装置80强制排除第二储存槽20内的液态物(H₂O₂)。

于一结构实施例中，该输送装置50可选自真空吸引器(Aspirators)，而无须电能、降低损坏率。

上述为本实用新型液态物回收再利用结构的各部构件及其组成方式介绍，接着再将本实用新型的使用实施例、特点、功效介绍如下：

于本实施例中，该液态物以晶圆研磨制剂其中的双氧水(H₂O₂)做说明。

本实用新型的使用实施例，包含：

一原液供应步骤(请参阅图2所示)，借该入料单元30提供液态物，而由一第一储存槽10的底部注入该液态物，此时控制阀61、62、63及输送装置50为连通开启状；

一入料控制阀关闭、停止供料及溢流步骤(请参阅图3及图4所示)，该入料单元30由第一储存槽10的底部持续注入该液态物，当该第一储存槽10的液态物其液位到达溢流管21位置时，可藉由溢流管21溢流回收至一第二储存槽20，将多余液态物预存于第二储存槽20，请参阅图4所示，藉关闭入料的控制阀62、63以控制该液态物停止供料给该第一储存槽10；

一下料至混合槽步骤(请参阅图5所示)，该第一储存槽10的液态物下料至一混合槽40，此时控制阀66为开启状；

一入料、回收步骤(请参阅图6及图7所示)，该第二储存槽20所回收的液态物下料至入料管路中，此时图6中的控制阀61、62、63、64、65及输送装置50为连通开启状，在由该第一储存槽10的底部注入该液态物的同时(请参阅图7所示)，借一输送装置50连带地将该第二储存槽20所回收的液态物注入该第一储存槽10；

一入料至溢流步骤(请参阅图7及图8所示)，该液态物持续注入第一储存槽10，当该第一储存槽10的液态物其液位到达溢流管21位置时，可藉由溢流管21溢流回收至一第二储存槽20，此时图7、图8中的控制阀65为关闭状。

前述本实用新型液态物回收再利用结构，在此值得强调的是：

1、借由在第一储存槽10底部注入液态物(如晶圆研磨制剂其中的双氧水，H₂O₂)，可直接排除第一储存槽10下方管路内的空气，于第一储存槽10液态物定量往下输送时，避免管路内混有空气，可避免影响液态物定量的比例浓度。

2、多余液态物可预存于第二储存槽20，以回收再利用。

3、输送装置50可为真空吸引器(Aspirators)，在液态物由第一储存槽10底部注入的同时，输送装置50利用虹吸作用顺便将第二储存槽20内的回收液态物注入第一储存槽10。

本实用新型的有利的效益为：环保、节省成本、液态物(如晶圆研磨制剂其中的双氧水，H₂O₂)不会混有空气，而不会影响液态物定量的比例浓度，输送装置50可为真空吸引器而无须电能、降低损坏率，可使用于任何液态物的定量填充、回收利用。

请参阅图9、图10所示，于一构造实施例中，该输送装置50可选自抽送泵(Pump)，该输送装置50与该第一储存槽10、该第二储存槽20相连接。

上述实施例和图式并非限定本实用新型的产品形态和式样，任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应视为不脱离本实用新型的专利范畴。

Claims (5)

1.一种液态物回收再利用结构，其特征在于，包含：

一第一储存槽；

一第二储存槽，由一溢流管连接该第一储存槽；

一入料单元，提供液态物，该入料单元一端连接于该第一储存槽的底部；

一混合槽，一端与该入料单元的一端共同连接于该第一储存槽的底部；

一输送装置，与该第一储存槽、该第二储存槽相连接；

多个控制阀，设于该第一储存槽、该第二储存槽、该入料单元、该混合槽、该输送装置之间。

2.如权利要求1所述的液态物回收再利用结构，其特征在于：所述第一储存槽上方连接一进气单元，该进气单元提供氮气到该第一储存槽。

3.如权利要求1所述的液态物回收再利用结构，其特征在于：所述第二储存槽连接一安全装置。

4.如权利要求1所述的液态物回收再利用结构，其特征在于：所述输送装置为真空吸引器。

5.如权利要求1所述的液态物回收再利用结构，其特征在于：所述输送装置为抽送泵。