CN204991678U - 一种硅片顶针 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片顶针，其中，包括：导向套，所述导向套呈圆柱形；顶出装置，所述顶出装置包括导杆、若干个连接体和若干个引脚，所述导杆可上下移动地设置在导向套内，所述连接体固定设置在导杆的上部，所述引脚固定设置在连接体的一端。本实用新型托起可靠、不损伤硅片。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能生产设备领域，具体涉及一种硅片顶针。
背景技术
近年来，光伏电池产业发展迅速。据2004年数据分析，各种太阳能电池中硅基太阳能电池占总产量的98％，晶体硅太阳能电池占总产量的84.6％，多晶硅太阳能电池占总量的56％。中国政府已经把新能源产业列为战略性新兴产业，未来10年投资将达3万亿，将为新能源产业创造难得的发展机遇。光伏发电是本世纪最有市场潜力、最具发展前景的新能源。光伏产业以其技术先进性、资源无限性和绿色环保性，成为全球产业革命的核心、发展低碳经济的方向、应对能源危机和实现可持续发展的重要途径。在太阳能光伏电池制备过程中蚀刻，硅片顶针常用于硅片的搬送和消除静电。因此，硅片顶针的设计，对太阳能光伏电池的发展有重要影响。
中国专利CN200710094069.5公开了一种硅片顶针，包括：接触部、升降部，接触部具有弹性组件；接触部通过弹性组件嵌设、套设或直接连接在所述升降部的顶部。该发明的弹性组件可以是由压缩金属弹簧组成，或者由可变形的导体弹片组成，也可以用重力方式实现等。但是该硅片顶针在使用过程中容易对硅片造成损伤，同时不能确保硅片被可靠托起，有时会出现硅片没有托起，造成硅片损坏，影响生产。
因此急需一种能将硅片可靠托起、不损伤硅片的硅片顶针。
实用新型内容
本实用新型针对上述问题，提供一种能将硅片可靠托起、不损伤硅片的硅片顶针。
本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：
一种硅片顶针，其中，包括：导向套，所述导向套呈圆柱形；顶出装置，所述顶出装置包括导杆、若干个连接体和若干个引脚，所述导杆可上下移动地设置在导向套内，所述连接体固定设置在导杆的上部，所述引脚固定设置在连接体的一端。
进一步地，所述引脚包括依次相连接的第一杆、第二杆和第三杆，所述第一杆与第二杆之间的夹角为A。
更进一步地，所述夹角A为165°～175°。
更进一步地，所述夹角A为170°。
更进一步地，所述引脚还包括依次相连接的第一支撑体和第二支撑体，所述第一支撑体连接在第三杆的末端，且向导杆中心延伸，所述第二支撑体连接在第一支撑体的末端，且向导杆中心延伸。
更进一步地，所述第三杆呈弧形，所述第二支撑体呈弧形。
更进一步地，所述第一支撑体和第二支撑体的表面上均设有若干个凸起。
更进一步地，所述连接体具有过渡壁和凹槽，所述过渡壁位于连接体的下部，所述凹槽位于连接体的上部。
本实用新型的优点是顶出装置的引脚能够确保硅片平稳的、可靠地被托起，避免发生跳片现象，能有效防止损坏硅片。
除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。
附图说明
构成本说明书的一部分、用于进一步理解本实用新型的附图示出了本实用新型的优选实施例，并与说明书一起用来说明本实用新型的原理。在附图中：
图1是本实用新型的剖视图；
图2是本实用新型的顶出装置的结构示意图；
图3是本实用新型的顶出装置的局部结构示意图；
图4是本实用新型的顶出装置的另一局部结构示意图；以及
图5是本实用新型的顶出装置的又一局部结构示意图。
其中，图中标记为：
1为吸盘、11为容纳腔、2为硅片、3为顶出装置、31为导杆、32为连接体、321为过渡壁、322为凹槽、33为引脚、331为第一杆、332为第二杆、333为第三杆、334为第一支撑体、335为第二支撑体、336为凸起、4为导向套。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
实施例一：
参考图1至图5，如图1所示的一种硅片2顶针，其中，包括导向套4和顶出装置3，导向套4安装在吸盘1下端的定位孔内，导向套4呈圆柱形，导向套4与定位孔过盈配合，以便安装牢靠，吸盘1内设有一容纳腔11，容纳腔11贯穿吸盘1的上面，且与定位孔相贯通，如图1和图2所示，顶出装置3包括导杆31、若干个连接体32和若干个引脚33，导杆31可上下移动地设置在导向套4内，导杆31的上部延伸至容纳腔11，连接体32固定设置在导杆31的上部，连接体32和引脚33均位于容纳腔11内，引脚33固定设置在连接体32的一端，硅片2位于容纳腔11的上开口，引脚33抵挡在硅片2的下部。
如图3和图4所示，引脚33包括依次相连接的第一杆331、第二杆332和第三杆333，第一杆331连接在连接体32的一端，第二杆332的一端连接在第一杆331的末端，第二杆332的另一端连接在第三杆333的首端，引脚33还包括依次相连接的第一支撑体334和第二支撑体335，第一支撑体334连接在第三杆333的末端，且向导杆31中心延伸，第二支撑体335连接在第一支撑体334的末端，且向导杆31中心延伸，第二杆332沿导杆31的轴向和径向向外延伸，第三杆333的首端高于导杆31的上部，第一杆331与第二杆332之间的夹角为A，引脚33可避免发生硅片2跳片现象，确保硅片2被顶出时平稳的、可靠地被托起，能有效防止损坏硅片2。
优选地，夹角A为165°，使得顶出时硅片2受力缓慢，确保平稳的、可靠地被托起硅片2。
优选地，第三杆333呈弧形，第二支撑体335呈弧形，弧形结构使得顶出硅片2时接触缓慢，避免冲击力，防止损坏硅片2。
第一支撑体334和第二支撑体335的表面上均设有若干个凸起336，以确保硅片2在被顶出时不滑落，并且可靠地抵挡在第一支撑体334和第二支撑体335的表面上。
如图5所示，优选地，连接体32具有过渡壁321和凹槽322，过渡壁321位于连接体32的下部，凹槽322位于连接体32的上部，过渡壁321和凹槽322的设置防止硅片2被托起时连接体32断裂。
实施例二：
参考图1至图5，如图1所示的一种硅片2顶针，其中，包括导向套4和顶出装置3，导向套4安装在吸盘1下端的定位孔内，导向套4呈圆柱形，导向套4与定位孔过盈配合，以便安装牢靠，吸盘1内设有一容纳腔11，容纳腔11贯穿吸盘1的上面，且与定位孔相贯通，如图1和图2所示，顶出装置3包括导杆31、若干个连接体32和若干个引脚33，导杆31可上下移动地设置在导向套4内，导杆31的上部延伸至容纳腔11，连接体32固定设置在导杆31的上部，连接体32和引脚33均位于容纳腔11内，引脚33固定设置在连接体32的一端，硅片2位于容纳腔11的上开口，引脚33抵挡在硅片2的下部。
如图3和图4所示，引脚33包括依次相连接的第一杆331、第二杆332和第三杆333，第一杆331连接在连接体32的一端，第二杆332的一端连接在第一杆331的末端，第二杆332的另一端连接在第三杆333的首端，引脚33还包括依次相连接的第一支撑体334和第二支撑体335，第一支撑体334连接在第三杆333的末端，且向导杆31中心延伸，第二支撑体335连接在第一支撑体334的末端，且向导杆31中心延伸，第二杆332沿导杆31的轴向和径向向外延伸，第三杆333的首端高于导杆31的上部，第一杆331与第二杆332之间的夹角为A，引脚33可避免发生硅片2跳片现象，确保硅片2被顶出时平稳的、可靠地被托起，能有效防止损坏硅片2。
优选地，夹角A为170°，使得顶出时硅片2受力缓慢，确保平稳的、可靠地被托起硅片2。
优选地，第三杆333呈弧形，第二支撑体335呈弧形，弧形结构使得顶出硅片2时接触缓慢，避免冲击力，防止损坏硅片2。
第一支撑体334和第二支撑体335的表面上均设有若干个凸起336，以确保硅片2在被顶出时不滑落，并且可靠地抵挡在第一支撑体334和第二支撑体335的表面上。
如图5所示，优选地，连接体32具有过渡壁321和凹槽322，过渡壁321位于连接体32的下部，凹槽322位于连接体32的上部，过渡壁321和凹槽322的设置防止硅片2被托起时连接体32断裂。
实施例三：
参考图1至图5，如图1所示的一种硅片2顶针，其中，包括导向套4和顶出装置3，导向套4安装在吸盘1下端的定位孔内，导向套4呈圆柱形，导向套4与定位孔过盈配合，以便安装牢靠，吸盘1内设有一容纳腔11，容纳腔11贯穿吸盘1的上面，且与定位孔相贯通，如图1和图2所示，顶出装置3包括导杆31、若干个连接体32和若干个引脚33，导杆31可上下移动地设置在导向套4内，导杆31的上部延伸至容纳腔11，连接体32固定设置在导杆31的上部，连接体32和引脚33均位于容纳腔11内，引脚33固定设置在连接体32的一端，硅片2位于容纳腔11的上开口，引脚33抵挡在硅片2的下部。
如图3和图4所示，引脚33包括依次相连接的第一杆331、第二杆332和第三杆333，第一杆331连接在连接体32的一端，第二杆332的一端连接在第一杆331的末端，第二杆332的另一端连接在第三杆333的首端，引脚33还包括依次相连接的第一支撑体334和第二支撑体335，第一支撑体334连接在第三杆333的末端，且向导杆31中心延伸，第二支撑体335连接在第一支撑体334的末端，且向导杆31中心延伸，第二杆332沿导杆31的轴向和径向向外延伸，第三杆333的首端高于导杆31的上部，第一杆331与第二杆332之间的夹角为A，引脚33可避免发生硅片2跳片现象，确保硅片2被顶出时平稳的、可靠地被托起，能有效防止损坏硅片2。
优选地，夹角A为175°，使得顶出时硅片2受力缓慢，确保平稳的、可靠地被托起硅片2。
优选地，第三杆333呈样条曲线，第二支撑体335呈样条曲线，样条曲线结构使得顶出硅片2时接触缓慢，避免冲击力，防止损坏硅片2。
第一支撑体334和第二支撑体335的表面上均设有若干个凸起336，以确保硅片2在被顶出时不滑落，并且可靠地抵挡在第一支撑体334和第二支撑体335的表面上。
如图5所示，优选地，连接体32具有过渡壁321和凹槽322，过渡壁321位于连接体32的下部，凹槽322位于连接体32的上部，过渡壁321和凹槽322的设置防止硅片2被托起时连接体32断裂。
以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种硅片(2)顶针，其特征在于，包括：
导向套(4)，所述导向套(4)呈圆柱形；
顶出装置(3)，所述顶出装置(3)包括导杆(31)、若干个连接体(32)和若干个引脚(33)，所述导杆(31)可上下移动地设置在导向套(4)内，所述连接体(32)固定设置在导杆(31)的上部，所述引脚(33)固定设置在连接体(32)的一端。
2.根据权利要求1所述的硅片(2)顶针，其特征在于，所述引脚(33)包括依次相连接的第一杆(331)、第二杆(332)和第三杆(333)，所述第一杆(331)与第二杆(332)之间的夹角为A。
3.根据权利要求2所述的硅片(2)顶针，其特征在于，所述夹角A为165°～175°。
4.根据权利要求3所述的硅片(2)顶针，其特征在于，所述夹角A为170°。
5.根据权利要求2所述的硅片(2)顶针，其特征在于，所述引脚(33)还包括依次相连接的第一支撑体(334)和第二支撑体(335)，所述第一支撑体(334)连接在第三杆(333)的末端，且向导杆(31)中心延伸，所述第二支撑体(335)连接在第一支撑体(334)的末端，且向导杆(31)中心延伸。
6.根据权利要求5所述的硅片(2)顶针，其特征在于，所述第三杆(333)呈弧形，所述第二支撑体(335)呈弧形。
7.根据权利要求5所述的硅片(2)顶针，其特征在于，所述第一支撑体(334)和第二支撑体(335)的表面上均设有若干个凸起(336)。
8.根据权利要求2所述的硅片(2)顶针，其特征在于，所述连接体(32)具有过渡壁(321)和凹槽(322)，所述过渡壁(321)位于连接体(32)的下部，所述凹槽(322)位于连接体(32)的上部。
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|---|---|---|---|---|
| CN108242419A (zh) * | 2016-12-26 | 2018-07-03 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种腔室及半导体设备 |
| CN108396300A (zh) * | 2018-03-02 | 2018-08-14 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀基板分离装置及蒸镀装置 |
| CN110648958A (zh) * | 2019-09-26 | 2020-01-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板支撑台以及基板制备装置 |
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| CN110648958B (zh) * | 2019-09-26 | 2022-04-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 基板支撑台以及基板制备装置 |
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