CN204966472U - 外延生产用取片器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种外延生产用取片器，其特征在于，包括吸盘；所述吸盘设有第一抽真空孔；所述第一抽真空孔在所述吸盘的一个面设有第一开口；所述第一抽真空孔内抽真空，可使硅片吸附于所述吸盘上设有所述第一开口的面；还包括支撑臂；所述吸盘可移动地设置在所述支撑臂上；所述吸盘移动，可使所述吸盘上设有所述第一开口的面与硅片的表面贴合。本实用新型的外延生产用取片器，包括支撑臂和吸盘。吸盘可移动地设置在支撑臂上，且吸盘移动可使吸盘上用于吸附硅片的面与水平面的夹角改变，即本实用新型的外延生产用取片器可根据待拿取硅片的表面倾斜角度调整吸盘上用于吸附硅片的面的倾斜角度，使吸盘用于吸附硅片的面与硅片的表面贴合，避免硅片被撞伤甚至报废。采用本实用新型的外延生产用取片器拿取硅片，可将硅片的良品率提高至85％以上。

Description

外延生产用取片器

技术领域

本实用新型涉及一种外延生产用取片器。

背景技术

如图1所示，为一种取片器，包括用于真空吸附硅片的吸盘1和带动吸盘1移动的支撑臂2，其中吸盘01和支撑臂02为刚性连接，二者无法相对移动。使用图1所示取片器拿取水平放置的硅片时，若吸盘01以非水平的状态靠近硅片，那么吸盘01上水平高度最低端011会先与硅片接触，撞伤硅片，严重时会导致硅片报废。因此，需要增加水平校准设备在采用图1所示的外延生产用取片器拿取硅片之前对吸盘01的倾斜角度进行校准，使吸盘01保持水平后再靠近硅片进行吸附，增加了设备成本，且水平校准工序的增加，降低了生产效率。另一方面，待拿取的硅片也存在非水平放置的情况，当采用图1所示的取片器拿取非水平放置的硅片时，即便增加水平校准设备校准吸盘的倾斜角度，吸盘靠近硅片时，吸盘还是会和硅片上的最高点接触，撞伤硅片，导致硅片报废。采用图1所示取片器拿取硅片时，硅片的良品率仅为70％。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种外延生产用取片器。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案实现：

外延生产用取片器，其特征在于，包括吸盘；所述吸盘设有第一抽真空孔；所述第一抽真空孔在所述吸盘的一个面设有第一开口；所述第一抽真空孔内抽真空，可使硅片吸附于所述吸盘上设有所述第一开口的面；还包括支撑臂；所述吸盘可移动地设置在所述支撑臂上；所述吸盘移动，可使所述吸盘上设有所述第一开口的面与硅片的表面贴合。

优选地是，还包括连接件，所述连接件用于将所述吸盘可移动地安装在所述支撑臂上。

优选地是，所述连接件包括销轴；所述销轴的一端设有第一轴肩；所述第一轴肩自所述销轴的外表面沿所述销轴的径向向所述销轴的外部延伸；所述吸盘设有第一通孔；所述第一通孔的直径大于所述销轴的直径；所述销轴贯穿所述第一通孔，且可沿所述第一通孔的轴向和径向移动；所述第一轴肩位于所述第一通孔的外部，并抵靠在所述吸盘上；所述销轴上与所述第一轴肩所在一端相对的另一端位于所述第一通孔的外部，凸出所述吸盘与所述支撑臂连接。

优选地是，螺钉依次贯穿所述支撑臂和所述销轴，将所述支撑臂和所述销轴连接。

优选地是，所述销轴还设有第二轴肩；所述第二轴肩自所述销轴的外表面沿所述销轴的径向向所述销轴的外部延伸；所述第一通孔内设有与所述第二轴肩相适应的台阶；所述第二轴肩位于所述第一通孔内，并抵靠在所述第一通孔内的台阶上；所述第二轴肩和所述第一通孔的内表面之间留有空隙。

优选地是，还包括弹性装置；所述弹性装置设置在所述支撑臂和所述吸盘之间；所述吸盘移动时，所述弹性装置弹性变形产生弹性变形力，所述弹性变形力具有使所述吸盘向反方向移动的趋势。

优选地是，所述弹性装置为第一O型圈；第一O型圈上相对设置的两端分别抵靠所述支撑臂和所述吸盘；第一O型圈环绕所述销轴上凸出所述吸盘的部分。

优选地是，所述吸盘具有相对设置的第一面和第二面；所述第一面与所述支撑壁相对设置；所述第一开口设置在所述第二面；所述第一抽真空孔在所述第一面设有第二开口；所述支撑臂设有第二抽真空孔；所述第二抽真空孔在所述支撑臂上的与所述吸盘相对设置的面设有第三开口；还包括第一密封装置；所述第一密封装置设置在所述支撑臂和所述吸盘之间，并环绕所述第二开口和所述第三开口所在区域。

优选地是，所述第一抽真空孔的个数为多个，每个所述第一抽真空孔对应一个所述第一开口和一个所述第二开口；多个所述第二开口沿圆周方向分布，并环绕所述销轴上凸出所述吸盘的部分；还包括第二密封装置；所述第二密封装置设置在所述第一轴肩和所述吸盘之间，并环绕所述第一通孔在所述吸盘的表面开设的开口所在区域。

优选地是，所述第一密封装置为第一O型圈；第一O型圈上相对设置的两端分别抵靠所述支撑臂和所述吸盘；所述第二密封装置为第二O型圈；所述第二O型圈上相对设置的两端分别抵靠所述吸盘和所述第一轴肩。

优选地是，所述吸盘具有第三面；所述第三面与所述第一面相对设置；所述第二面凸出所述第三面，并环绕所述第三面设置；所述第一通孔在所述第一面设有第四开口，在所述第三面设有第五开口。

本实用新型的外延生产用取片器，包括支撑臂和吸盘。吸盘可移动地设置在支撑臂上，且吸盘移动可使吸盘上用于吸附硅片的面与水平面的夹角改变，即本实用新型的外延生产用取片器可根据待拿取硅片的表面倾斜角度调整吸盘上用于吸附硅片的面的倾斜角度，使吸盘用于吸附硅片的面与硅片的表面贴合，避免硅片被撞伤甚至报废。采用本实用新型的外延生产用取片器拿取硅片，可将硅片的良品率提高至85％以上。

附图说明

图1为背景技术中的取片器的结构示意图；

图2为实施例1的外延生产用取片器的结构示意图；

图3为图2中的剖视图A-A；

图4为实施例1的吸盘的结构示意图；

图5为图4中的剖视图B-B；

图6为实施例1的连接件的结构示意图；

图7为图6中的剖视图C-C；

图8为实施例1的外延生产用取片器的工作原理示意图；

图9为实施例2的吸盘的剖视图；

图10为实施例2的连接件的结构示意图；

图11为图10中的剖视图D-D。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细的描述：

实施例1

如图2-5所示，外延生产用取片器包括吸盘1和支撑臂2。吸盘1具有第一面11、第二面12和第三面13。第一面11和第二面12相对设置，第一面11与第三面13相对设置，第二面12凸出第三面13，并环绕第三面13设置。吸盘1设有第一抽真空孔14。第一抽真空孔14在第二面12上设有第一开口141。第一抽真空孔14内抽真空，可使硅片吸附于吸盘1的第二面12。吸盘1可移动地设置在支撑臂2上，吸盘1的第一面11与支撑臂2相对设置。吸盘1移动，可使吸盘1的第二面12与水平面01的夹角改变。

外延生产用取片器还包括连接件，连接件用于将吸盘1可移动地安装在支撑臂2上。本实施例优选实施方式，如图6和7所示，连接件包括销轴3，销轴3的一端设有第一轴肩41，第一轴肩41自销轴3的外表面31沿销轴3的径向向销轴3的外部延伸。吸盘1设有第一通孔15。第一通孔15在第一面11设有第四开口151，在第三面13设有第五开口152。第一通孔15的直径大于销轴3的直径。销轴3贯穿第一通孔15，且可沿第一通孔15的轴向和径向移动。第一轴肩41位于第一通孔15的外部，并抵靠在吸盘1的第三面13上。销轴3上与第一轴肩41所在一端相对的另一端32位于第一通孔15的外部，凸出吸盘1与支撑臂2连接。螺钉5沿图2中箭头方向依次贯穿支撑臂2和销轴3，将支撑臂2和销轴3连接。

外延生产用取片器还包括弹性装置，弹性装置设置在支撑臂2和吸盘1之间。吸盘1沿销轴3的轴向和径向移动时，弹性装置弹性变形产生弹性变形力，该弹性变形力具有使吸盘1向反方向移动的趋势。弹性装置为第一O型圈61。第一O型圈61上相对设置的两端分别抵靠支撑臂2和吸盘1，且第一O型圈61环绕销轴3上凸出吸盘1的部分。吸盘1沿销轴3的轴向和径向移动时，其第一面11按压第一O型圈使第一O型圈弹性变形，并产生弹性变形力具有使吸盘1向反方向移动的趋势，对吸盘1的移动起到缓冲的作用，避免吸盘产生大幅度的晃动。该弹性变形力吸盘1设有插槽16，第一O型圈的一端嵌入插槽16内，用以提高第一O型圈的稳定性和密封性能。

第一抽真空孔14在吸盘1的第一面11设有第二开口142，第一抽真空孔14的个数为多个，每个第一抽真空孔14对应一个第一开口141和一个第二开口142，即吸盘1的第一面11上设有多个第二开口142。多个第二开口142沿圆周方向分布，并环绕第四开口152设置。支撑臂2设有第二抽真空孔21，且第二抽真空孔21在支撑臂2上的与吸盘1相对设置的下表面22设有第三开口211。抽真空装置(图中未示出)通过第二抽真空孔21对第一抽真空孔14进行抽真空处理的过程中，上述第一O型圈环绕第二开口142和第三开口211所在区域，将第一开口112和第三开口211密封在支撑臂2和吸盘1之间的第一空隙71内，避免抽真空装置通过第二抽真空孔21对第一抽真空孔14进行抽真空处理的过程中产生漏气的现象，即第一O型圈61可作为第一密封装置使用，提高密封性能。

外延生产用取片器还包括第二密封装置。第二密封装置设置在第一轴肩41和吸盘1之间，并环绕第一通孔15在吸盘1的第三面13开设的第五开口152所在区域。本实施例优选实施方式，第二密封装置为第二O型圈62。第二O型圈62上相对设置的两端分别抵靠吸盘1和第一轴肩41。第二O型圈62可将第五开口152密封在第一轴肩41和吸盘1之间的第二空隙72内，避免第一轴肩41上的吸盘1沿销轴3的轴向和径向移动时气体流入第一通孔15后从第一轴肩41和吸盘1之间泄漏，提高密封性能。

本实施例的外延生产用取片器的工作原理如下：

支撑臂2在驱动装置(图中未示出)下移动，从而带动吸盘1移动至待拿取硅片02的上方。移动至硅片02上方的吸盘1在支撑臂2的带动下下降，靠近硅片02。若吸盘1与硅片02非相互平行，那么吸盘1第二面12上的最低端先与硅片02接触，或硅片02上的最高端先与吸盘1的第二面12接触。吸盘1第二面12上的最低端先与硅片02接触，或硅片02上的最高端先与吸盘1的第二面12接触后，支撑臂2继续带动吸盘1下降。由于吸盘1可移动地安装在支撑臂2上，因此，支撑臂2继续带动吸盘1下降后，吸盘1可沿销轴3的轴向和径向移动，从而根据硅片02的上表面021的倾斜角度调整吸盘1第二面12的倾斜角度，使吸盘1上用于吸附硅片02的第二面02与硅片02的上表面021贴合，避免撞伤硅片。采用本实施例的外延生产用取片器拿取硅片，可将硅片的良品率提高至85％以上。以硅片02非水平设置为例，吸盘1靠近硅片02的过程中，硅片02上的最高端先与吸盘1的第二面12接触，支撑臂2继续带动吸盘1下降，吸盘1沿销轴3的轴向和径向移动，从而根据硅片02的上表面021的倾斜角度调整吸盘1第二面12的倾斜角度，使吸盘1上用于吸附硅片02的第二面02与硅片02的上表面021贴合(如图8所示)，避免撞伤硅片。

吸盘1根据硅片02的上表面021的倾斜角度调整第二面12的倾斜角度的过程中，吸盘1的第一面11按压第一O型圈使第一O型圈弹性变形，并产生弹性变形力具有使吸盘1向反方向移动的趋势，对吸盘1的移动起到缓冲的作用，避免吸盘产生大幅度的晃动，从而避免硅片受到撞击损伤。

吸盘1与硅片02的接触面积越大，硅片02表面可能被划伤或污染的面积就越大。本实施例中的吸盘1采用第二面12凸出第三面13的结构设计，使得吸盘1上仅第二面12与硅片02接触，减少了吸盘1与硅片02的接触面积，提高硅片02的品质。

实施例2

如图9-11所示，在实施例1的基础上，本实施例的销轴3还设有第二轴肩42。第二轴肩42自销轴3的外表面31沿销轴3的径向向销轴3的外部延伸。第一通孔15内设有与第二轴肩相适应的台阶8。第二轴肩42位于第一通孔15内，并抵靠在第一通孔15内的台阶8上。第二轴肩42和第一通孔15的内表面之间留有第三空隙73。第二轴肩42和台阶8的配合，可在吸盘1根据硅片02的上表面021的倾斜角度调整吸盘1第二面12的倾斜角度过程中，进一步避免吸盘晃动，提高稳定性。

实施例3

与实施例1不同的是，本实施例中的吸盘的第二面与第三面位于同一平面内，不影响硅片的良品率。

除上述结构之外，本实施例的外延生产用取片器的其他结构均与实施例1的外延生产用取片器相同。

实施例4

与实施例1不同的是，本实施例采用万向节作为连接件，将吸盘可移动地安装在支撑臂上，同样可以实现实施例1所述的技术效果。

除上述结构之外，本实施例的外延生产用取片器的其他结构均与实施例1的外延生产用取片器相同。

本实用新型中的上、下、水平均以图3为参考，为清楚地描述本实用新型而使用的相对概念，并不构成对权利要求范围的限制。

本实用新型中的实施例仅用于对本实用新型进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本实用新型保护范围内。

Claims (12)

1.外延生产用取片器，其特征在于，包括吸盘；所述吸盘设有第一抽真空孔；所述第一抽真空孔在所述吸盘的一个面设有第一开口；所述第一抽真空孔内抽真空，可使硅片吸附于所述吸盘上设有所述第一开口的面；还包括支撑臂；所述吸盘可移动地设置在所述支撑臂上；所述吸盘移动，可使所述吸盘上设有所述第一开口的面与硅片的表面贴合。

2.根据权利要求1所述的外延生产用取片器，其特征在于，还包括连接件，所述连接件用于将所述吸盘可移动地安装在所述支撑臂上。

3.根据权利要求2所述的外延生产用取片器，其特征在于，所述连接件包括销轴；所述销轴的一端设有第一轴肩；所述第一轴肩自所述销轴的外表面沿所述销轴的径向向所述销轴的外部延伸；所述吸盘设有第一通孔；所述第一通孔的直径大于所述销轴的直径；所述销轴贯穿所述第一通孔，且可沿所述第一通孔的轴向和径向移动；所述第一轴肩位于所述第一通孔的外部，并抵靠在所述吸盘上；所述销轴上与所述第一轴肩所在一端相对的另一端位于所述第一通孔的外部，凸出所述吸盘与所述支撑臂连接。

4.根据权利要求3所述的外延生产用取片器，其特征在于，螺钉依次贯穿所述支撑臂和所述销轴，将所述支撑臂和所述销轴连接。

5.根据权利要求3所述的外延生产用取片器，其特征在于，所述销轴还设有第二轴肩；所述第二轴肩自所述销轴的外表面沿所述销轴的径向向所述销轴的外部延伸；所述第一通孔内设有与所述第二轴肩相适应的台阶；所述第二轴肩位于所述第一通孔内，并抵靠在所述第一通孔内的台阶上；所述第二轴肩和所述第一通孔的内表面之间留有空隙。

6.根据权利要求1所述的外延生产用取片器，其特征在于，还包括弹性装置；所述弹性装置设置在所述支撑臂和所述吸盘之间；所述吸盘移动时，所述弹性装置弹性变形产生弹性变形力，所述弹性变形力具有使所述吸盘向反方向移动的趋势。

7.根据权利要求5所述的外延生产用取片器，其特征在于，还包括弹性装置；所述弹性装置设置在所述支撑臂和所述吸盘之间；所述吸盘移动时，所述弹性装置弹性变形产生弹性变形力，所述弹性变形力具有使所述吸盘向反方向移动的趋势。

8.根据权利要求7所述的外延生产用取片器，其特征在于，所述弹性装置为第一O型圈；第一O型圈上相对设置的两端分别抵靠所述支撑臂和所述吸盘；第一O型圈环绕所述销轴上凸出所述吸盘的部分。

9.根据权利要求1所述的外延生产用取片器，其特征在于，所述吸盘具有相对设置的第一面和第二面；所述第一面与所述支撑壁相对设置；所述第一开口设置在所述第二面；所述第一抽真空孔在所述第一面设有第二开口；所述支撑臂设有第二抽真空孔；所述第二抽真空孔在所述支撑臂上的与所述吸盘相对设置的面设有第三开口；还包括第一密封装置；所述第一密封装置设置在所述支撑臂和所述吸盘之间，并环绕所述第二开口和所述第三开口所在区域。

10.根据权利要求5所述的外延生产用取片器，其特征在于，所述吸盘具有相对设置的第一面和第二面；所述第一面与所述支撑壁相对设置；所述第一开口设置在所述第二面；所述第一抽真空孔在所述第一面设有第二开口；所述支撑臂设有第二抽真空孔；所述第二抽真空孔在所述支撑臂上的与所述吸盘相对设置的面设有第三开口；还包括第一密封装置；所述第一密封装置设置在所述支撑臂和所述吸盘之间，并环绕所述第二开口和所述第三开口所在区域。

11.根据权利要求10所述的外延生产用取片器，其特征在于，所述第一抽真空孔的个数为多个，每个所述第一抽真空孔对应一个所述第一开口和一个所述第二开口；多个所述第二开口沿圆周方向分布，并环绕所述销轴上凸出所述吸盘的部分；还包括第二密封装置；所述第二密封装置设置在所述第一轴肩和所述吸盘之间，并环绕所述第一通孔在所述吸盘的表面开设的开口所在区域。

12.根据权利要求11所述的外延生产用取片器，其特征在于，所述第一密封装置为第一O型圈；第一O型圈上相对设置的两端分别抵靠所述支撑臂和所述吸盘；所述第二密封装置为第二O型圈；所述第二O型圈上相对设置的两端分别抵靠所述吸盘和所述第一轴肩。