CN204825136U - 一种酸液循环冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种酸液循环冷却装置，其制冷压缩机（1）与外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）循环连接，外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）位于存放酸液的槽体（2）内，所述存放酸液的槽体（2）上设有酸液出酸口（5）和酸液进酸口（4），酸液出酸口（5）通过PP材质酸液循环管道（8）与耐腐蚀PP循环泵（6）连接，耐腐蚀PP循环泵（6）通过PP材质酸液循环管道（8）与酸液进酸口（4）连接。升高的酸温通过冷热交换将热量带出液体，达到稳定酸温的效果；酸液不断循环，使酸液的浓度分布更均匀一致，达到浓度均匀的目的。酸温恒定、浓度一致，晶片与酸液的反应更加均匀，厚度去除误差小，腐蚀形状一致性好。

Description

一种酸液循环冷却装置

技术领域

本实用新型涉及一种酸液循环冷却装置。

背景技术

半导体晶片在生产制造过程中需要多道酸液清洗、腐蚀等工序，通过化学试剂与晶片表面进行反应，对晶片表面的杂质和损伤层面进行去除，或者根据工艺需求制作某一特定的腐蚀形状。反应过程中腐蚀效果受酸液温度、浓度的影响比较大，在使用过程中晶片与酸液反应，酸液温度会迅速升高，酸液浓度分布也会有很大的差异。现有方案只能在酸温过高时停止操作，等待其回落，或者在酸液中加入冰块进行降温，改善酸液浓度不均的方法也只能是空槽时作业员人工使用烧杯搅拌，严重影响到工作效率。

现今酸液在使用过程中，晶片与酸液反应，酸液温度会迅速升高，浓度分布也会有很大的差异，而反应过程中腐蚀效果受酸液温度、浓度的影响比较大，会造成反应速度快，反应效果不均匀，表面厚度去除不一致，腐蚀形状异常等不良情况，最终影响到产品质量。

实用新型内容

为解决半导体晶片在化学酸剂腐蚀过程中，温度不易控制，反应速度快，反应效果不均匀等问题，本实用新型提供了一种酸液循环冷却装置，目的在于使用耐腐蚀的特质盘管放入酸液周围，内充入循环制冷液，使升高的酸温通过盘管与制冷液进行冷热交换，将热量带出酸液，达到稳定液温的目的；同时使用耐酸循环泵使酸液不断循环，使酸液的浓度分布均匀一致，最终达到酸温恒定、浓度均匀的目的。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案。

一种酸液循环冷却装置，包括制冷压缩机、存放酸液的槽体、外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管、耐腐蚀PP循环泵、酸液出酸口、酸液进酸口及PP材质酸液循环管道；制冷压缩机与外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管循环连接，外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管位于存放酸液的槽体内，所述存放酸液的槽体上设有酸液出酸口和酸液进酸口，酸液出酸口通过PP材质酸液循环管道与耐腐蚀PP循环泵连接，耐腐蚀PP循环泵通过PP材质酸液循环管道与酸液进酸口连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述酸液进酸口有两个，分列于存放酸液的槽体的两侧。

所述酸液出酸口位于存放酸液的槽体的底部。

所述耐腐蚀PP循环泵与酸液出酸口之间的PP材质酸液循环管道的直径，大于耐腐蚀PP循环泵与酸液进酸口之间的PP材质酸液循环管道的直径。

本实用新型使用耐腐蚀的特质盘管放入酸液周围，盘管内充入循环制冷液，通过外部压缩机的工作，将制冷液在盘管内不断通过升高的酸液，使升高的酸温通过冷热交换将热量带出液体，从而稳定酸温；用耐酸循环泵使酸液不断循环，使酸槽内不同区域酸液浓度在要求范围内，使腐蚀的速率相同，均匀一致。

本实用新型的有益效果是，升高的酸温通过冷热交换将热量带出液体，达到稳定酸温的效果；酸液不断循环，使酸液的浓度分布更均匀一致，达到浓度均匀的目的。酸温恒定、浓度一致，晶片与酸液的反应更加均匀，厚度去除误差小，腐蚀形状一致性好。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

图1是本实用新型整体结构示意图。

其中，1、制冷压缩机；2、槽体；3、不锈钢盘管；4、酸液进酸口；5、酸液出酸口；6、耐腐蚀PP循环泵；7、制冷液；8、PP材质酸液循环管道。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1所示，一种酸液循环冷却装置，包括制冷循环系统的制冷压缩机1、存放酸液的槽体2、外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管3，以及酸液循环搅拌系统的耐腐蚀PP循环泵6、酸液出酸口5、酸液进酸口4、PP材质酸液循环管道8；制冷压缩机1与外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管3循环连接，外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管3位于存放酸液的槽体2内，所述存放酸液的槽体2上设有酸液出酸口5和酸液进酸口4，酸液出酸口5通过PP材质酸液循环管道8与耐腐蚀PP循环泵6连接，耐腐蚀PP循环泵6通过PP材质酸液循环管道8与酸液进酸口4连接。

本实施例的制冷循环实现流程为：制冷压缩机1产生的制冷液7通过外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管3与生产时存放酸液的槽体2内酸液产生的热量进行冷热交换，将酸液的温度热量通过制冷液7带出存放酸液的槽体2，从而达到稳定液温的目的；制冷液7出槽后循环进入制冷压缩机1释放热量后，继续参与制冷循环。

本实施例的酸液循环搅拌实现流程为：参与反应的酸液从底部的酸液出酸口5进入耐腐蚀PP循环泵6，并重新从酸液进酸口4进入存放酸液的槽体2，起到酸液搅拌的目的。从而使存放酸液的槽体2内不同区域酸液浓度在要求范围内，使腐蚀的速率相同，均匀一致。

上述虽然结合附图对本实用新型的具体实施方式进行了描述，但并非对本实用新型保护范围的限制，所属领域技术人员应该明白，在本实用新型的技术方案的基础上，本领域技术人员不需要付出创造性劳动即可做出的各种修改或变形仍在本实用新型的保护范围以内。

Claims (4)

1.一种酸液循环冷却装置，其特征是，包括制冷压缩机（1）、存放酸液的槽体（2）、外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）、耐腐蚀PP循环泵（6）、酸液出酸口（5）、酸液进酸口（4）及PP材质酸液循环管道（8）；制冷压缩机（1）与外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）循环连接，外涂耐腐蚀特氟龙材质的不锈钢盘管（3）位于存放酸液的槽体（2）内，所述存放酸液的槽体（2）上设有酸液出酸口（5）和酸液进酸口（4），酸液出酸口（5）通过PP材质酸液循环管道（8）与耐腐蚀PP循环泵（6）连接，耐腐蚀PP循环泵（6）通过PP材质酸液循环管道（8）与酸液进酸口（4）连接。

2.如权利要求1所述的酸液循环冷却装置，其特征是，所述酸液进酸口（4）有两个，分列于存放酸液的槽体（2）的两侧。

3.如权利要求1所述的酸液循环冷却装置，其特征是，所述酸液出酸口（5）位于存放酸液的槽体（2）的底部。

4.如权利要求1所述的酸液循环冷却装置，其特征是，所述耐腐蚀PP循环泵（6）与酸液出酸口（5）之间的PP材质酸液循环管道（8）的直径，大于耐腐蚀PP循环泵（6）与酸液进酸口（4）之间的PP材质酸液循环管道（8）的直径。