CN204825131U - 一种单晶炉防爆安全装置 - Google Patents
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Abstract
一种单晶炉防爆安全装置，单晶炉的抽空管道上设置有抽空过滤器和真空泵，从而利用真空泵将单晶炉内的挥发物吸入抽空管道和抽空过滤器内，防爆安全装置包括与抽空管道连通的输气管道、设置在输气管道上的控制阀、气体流量计和空气过滤器。本实用新型通过一根输气管道向抽空管道内输送空气，从而使抽空管道和抽空过滤器内的挥发物得到充分的氧化，避免了在清扫抽空管道和抽空过滤器时发生燃烧和爆炸；另外，在输气管道上设置空气过滤器能够有效防止空气中的杂质颗粒进入单晶炉内，同时，设置气体流量计可以严格控制进入输气管道内的空气量。
Description
技术领域
本实用新型涉及到单晶硅生产领域用到的单晶炉，具体的说是一种单晶炉防爆安全装置。
背景技术
硅单晶片是一种重要的半导体材料，单晶硅片的生产首先要通过单晶炉生产单晶棒，单晶硅棒在生产过程中需要掺入杂质原料，特别是生产重掺单晶硅片需要掺入的杂质更多。在高温的环境下，掺杂剂磷等大量挥发，通过真空泵的抽空将挥发物抽入管道，再经管道进入过滤器。单晶炉在停炉后炉内抽出的挥发物杂质温度急剧下降，在抽空管道和过滤器内大量堆积。积存在管道和过滤器的杂质中含有大量的磷，由于磷的易燃易爆特性，挥发物堆积到一定程度后，在清扫管道和过滤器时挥发物中的磷与氧发生剧烈的氧化反应形成燃烧，反应剧烈时会形成爆炸，对操作人员和设备造成损伤。
实用新型内容
为解决现有技术中由于挥发物积存在管道和过滤器导致在清扫时磷与氧发生剧烈的氧化反应形成燃烧甚至爆炸、对操作人员和设备造成损伤的问题，本实用新型提供了一种单晶炉防爆安全装置，该装置可有效防止清理管道和过滤器时发生的爆炸。
本实用新型为解决上述技术问题采用的技术方案为：一种单晶炉防爆安全装置，单晶炉的抽空管道上设置有抽空过滤器和真空泵，从而利用真空泵将单晶炉内的挥发物吸入抽空管道和抽空过滤器内，所述防爆安全装置包括一与抽空管道连通的输气管道、设置在输气管道上的控制阀、气体流量计和空气过滤器，其中，控制阀用于控制输气管道向抽空管道输送空气的通断，空气过滤器设置在气体流量计的进气口上，以对通过气体流量计进入输气管道的空气进行过滤。
所述气体流量计为可调式气体流量计，以通过其调整气体的流量。
所述真空泵设置在抽空管道的尾端，抽空过滤器的两侧均设置有控制阀。
所述控制阀设置在输气管道上气体流量计的出气口与抽空管道之间的位置。
有益效果：本实用新型通过一根输气管道向抽空管道内输送空气，从而使抽空管道和抽空过滤器内的挥发物得到充分的氧化，避免了在清扫抽空管道和抽空过滤器时发生燃烧和爆炸；另外，在输气管道上设置空气过滤器能够有效防止空气中的杂质颗粒进入单晶炉内，同时，设置气体流量计可以严格控制进入输气管道内的空气量。
附图说明
图1为本实用新型的安装示意图；
图2为防爆安全装置的结构示意图；
附图标记：1、控制阀，2、气体流量计，3、空气过滤器，4、单晶炉，401、抽空管道，5、抽空过滤器，6、真空泵，7、输气管道。
具体实施方式
如图所示，一种单晶炉防爆安全装置，单晶炉4的抽空管道401上设置有抽空过滤器5和真空泵6，从而利用真空泵6将单晶炉4内的挥发物吸入抽空管道401和抽空过滤器5内，所述防爆安全装置包括一与抽空管道401连通的输气管道7、设置在输气管道7上的控制阀1、气体流量计2和空气过滤器3，其中，控制阀1用于控制输气管道7向抽空管道401输送空气的通断，空气过滤器3设置在气体流量计2的进气口上，以对通过气体流量计2进入输气管道7的空气进行过滤。
以上为本实用新型的基本实施方式，可在以上基础上做进一步改进或限定：
如，所述气体流量计2为可调式气体流量计，以通过其调整气体的流量；
又如，所述真空泵6设置在抽空管道401的尾端，抽空过滤器5的两侧均设置有控制阀；
再如，所述控制阀1设置在输气管道7上气体流量计2的出气口与抽空管道401之间的位置。
如图所示，控制阀1的一端通过抽空管道401与单晶炉4连通，另一端与气体流量计2相连，气体流量,2的进气口处有空气过滤器3。上述结构是在单晶炉4停止加热1-2小时后（根据工艺需要）、真空泵6继续工作的条件下打开控制阀1（可手动也可自动），大气经空气过滤器3、气体流量计2和控制阀1向抽空管道401内部注入空气，经抽空过滤器5和真空泵6把气体排出，从而使抽空管道401和抽空过滤器5内的挥发物得到充分的氧化，避免在清扫抽空管道401和抽空过滤器5时发生爆炸，通过气体流量计2可以监控并调整气体进入炉内时的流量。
Claims (4)
1.一种单晶炉防爆安全装置，单晶炉（4）的抽空管道（401）上设置有抽空过滤器（5）和真空泵（6），从而利用真空泵（6）将单晶炉（4）内的挥发物吸入抽空管道（401）和抽空过滤器（5）内，其特征在于：所述防爆安全装置包括一与抽空管道（401）连通的输气管道（7）、设置在输气管道（7）上的控制阀（1）、气体流量计（2）和空气过滤器（3），其中，控制阀（1）用于控制输气管道（7）向抽空管道（401）输送空气的通断，空气过滤器（3）设置在气体流量计（2）的进气口上，以对通过气体流量计（2）进入输气管道（7）的空气进行过滤。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉防爆安全装置，其特征在于：所述气体流量计（2）为可调式气体流量计，以通过其调整气体的流量。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉防爆安全装置，其特征在于：所述真空泵（6）设置在抽空管道（401）的尾端，抽空过滤器（5）的两侧均设置有控制阀。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉防爆安全装置，其特征在于：所述控制阀（1）设置在输气管道（7）上气体流量计（2）的出气口与抽空管道（401）之间的位置。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107523878A (zh) * | 2017-09-05 | 2017-12-29 | 麦斯克电子材料有限公司 | 一种用于重掺磷硅单晶生产的防爆单晶炉及除磷方法 |
| CN111172598A (zh) * | 2020-01-10 | 2020-05-19 | 郑州合晶硅材料有限公司 | 掺磷单晶硅生产中防尘爆的抽真空方法及应用其的掺磷单晶硅生产方法 |
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2015
- 2015-08-14 CN CN201520609182.2U patent/CN204825131U/zh not_active Expired - Fee Related
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| WO2021139228A1 (zh) * | 2020-01-10 | 2021-07-15 | 郑州合晶硅材料有限公司 | 掺磷单晶硅生产中防尘爆的抽真空方法及应用其的掺磷单晶硅生产方法 |
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