CN204809194U - 一种smif激光传感器检测及调整辅助工具 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，包括：基座，所述基座上设有激光照射靶柱；所述激光照射靶柱上设有靶心通孔，所述靶心通孔的中心位置与SMIF上设置的激光传感器的激光接收中心位置相对应。实用新型的辅助工具可以用于检测SMIF激光传感器的位置是否正确，并有效地帮助SMIF激光传感器位置的调整（通过调整分光镜及反射镜的位置间接调整），对于工厂内数量巨大的SMIF来说，既节省了调整时间，又节省了人力，同时可以保护操作人员的眼睛，避免操作人员眼睛被激光照射的风险。

Description

一种SMIF激光传感器检测及调整辅助工具

技术领域

本实用新型属于半导体制造领域，涉及一种SMIF激光传感器检测及调整辅助工具。

背景技术

在现今的半导体制造工艺中，晶圆从生产制造到运送，都需要在密闭无尘条件下进行。相比于传统的将生产设备设置洁净室内的晶圆生产方式，新的晶圆隔离技术则是将洁净室直接设置于生产设备中。晶圆隔离技术又称为标准机械接口(StandardMechanicalInterface，SMIF)，SMIF被集成到半导体设备中。在半导体制造工艺中，SMIF作为一个界面接口，在该界面接口中，晶圆被装进晶圆盒；接着将晶圆盒装载并封闭在SMIF，SMIF为晶圆提供一个极端洁净的净化级别的微环境。后续，装有晶圆的晶圆盒会被运输至相应的半导体设备，以完成相应制程，之后再被运输至SMIF中存储起来。

SMIF中设有若干激光传感器(lasersensor)，用于感应晶圆(wafer)、凹槽(slot)、凸起(protrusion)等的位置。SMIF激光传感器应满足的标准：激光需射到接收传感器的中心位置，这需要通过不断调整SMIF激光传感器来实现。

如图1所示，显示为一种SMIF的俯视结构示意图，其中，SMIF框架上设有晶圆位置激光传感器101、晶舟位置激光传感器102及晶圆凸起激光传感器103，其中，晶圆位置激光传感器(waferpositionsensor)用于侦测晶舟里是否有晶圆，晶舟位置激光传感器(cassetteslotsensor)用于侦测SMIF底盘上是否有晶舟，晶圆凸起激光传感器(waferprotrusionsensor)用于侦测晶舟里的晶圆有没有凸出来。侦测激光通过激光二极管(laserdiode)104发出，并经晶圆位置分光镜((waferpositionbeamsplitter)105、晶舟位置分光镜(cassetteslotbeamsplitters)106及反射镜(mirrors)107的透射、反射作用，通过三个路径分别射入所述晶圆位置激光传感器101、晶舟位置激光传感器102及晶圆凸起激光传感器103。

当前激光传感器的调整主要是通过调节分光镜及反射镜的位置使激光射到相应的接收传感器。接收传感器的位置是固定的，且位置隐蔽不易被观察，调节时观察很不方便，同时存在眼睛被激光照射到的风险。特别的，工厂内往往有数千台SMIF，同时每台SMIF都需要做定时检查，由此将造成极大的人力资源的浪费。

因此，提供一种SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，以便于工程师高效完成对SMIF激光传感器的检测和调整，节约人力和时间，同时保护操作人员的眼睛实属必要。

实用新型内容

鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，用于解决现有技术中对SMIF激光传感器的调整耗费大量人力和时间，并容易伤害操作人员眼睛的问题。

为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，包括：

基座，所述基座上设有激光照射靶柱；所述激光照射靶柱上设有靶心通孔，所述靶心通孔的中心位置与SMIF上设置的激光传感器的激光接收中心位置相对应。

可选地，所述激光照射靶柱为长方体。

可选地，所述靶心通孔为圆孔或多边形孔。

可选地，所述激光照射靶柱的数目为三个，分别对应SMIF上设置的晶圆位置激光传感器、晶舟位置激光传感器及晶圆凸起激光传感器。

可选地，所述基座上还设有开口，所述开口的位置对应SMIF底盘上的凸起。

可选地，所述开口为圆孔。

可选地，所述基座上还连接有把手。

可选地，所述把手跨越所述开口。

可选地，所述基座上设有贯穿所述基座的孔洞，所述孔洞的位置与所述SMIF底盘上的针脚位置相对应。

可选地，所述基座的外形与SMIF底盘的外形相匹配。

如上所述，本实用新型的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，具有以下有益效果：本实用新型的辅助工具可以用于检测SMIF激光传感器的位置是否正确，并有效地帮助SMIF激光传感器位置的调整(通过调整分光镜及反射镜的位置间接调整)，对于工厂内数量巨大的SMIF来说，既节省了调整时间，又节省了人力，同时可以保护操作人员的眼睛，避免操作人员眼睛被激光照射的风险。

附图说明

图1显示为现有技术中SMIF的俯视结构示意图。

图2显示为本实用新型的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具的结构示意图。

图3显示为图2所示结构的俯视图。

图4显示为激光照射靶柱的结构示意图。

图5显示为激光照射靶柱另一角度的结构示意图。

元件标号说明

101晶圆位置激光传感器

102晶舟位置激光传感器

103晶圆凸起激光传感器

104激光二极管

105晶圆位置分光镜

106晶舟位置分光镜

107反射镜

201基座

202激光照射靶柱

203靶心通孔

204开口

205把手

206孔洞

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图2至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

本实用新型提供一种SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，请参阅图2，显示为该辅助工具的机构示意图，包括：

基座201，所述基座201上设有激光照射靶柱202；所述激光照射靶柱202上设有靶心通孔203，所述靶心通孔203的中心位置与SMIF上设置的激光传感器的激光接收中心位置相对应。此处，所述靶心通孔203的中心位置与SMIF上设置的激光传感器的激光接收中心位置相对应指的是当各分光镜、反射镜处于标准位置，激光发射器发出的激光能够射到激光传感器的激光接收中心位置时，若将所述辅助工具放置于SMIF底盘上预设位置，则激光会穿过所述靶心通孔到达所述激光接收中心位置。

具体的，所述激光照射靶柱202固定连接于所述基座201上。作为示例，所述激光照射靶柱202为长方体，当然在其它实施例中，所述激光照射靶柱202也可以为其它形状，只要能够突出于所述基座201表面起到靶柱作用即可。

作为示例，所述激光照射靶柱202的数目为三个，分别对应SMIF上设置的晶圆位置激光传感器、晶舟位置激光传感器及晶圆凸起激光传感器。在其它实施例中，随着SMIF上激光传感器数目、位置的变化，所述激光照射靶柱202的数目及具体位置也进行相应调整。

进一步的，所述基座201上还设有开口204，所述开口204的位置对应SMIF底盘上的凸起。通常的，SMIF底盘上的凸起位于底盘中部，因此，本实施例中，所述开口204亦位于所述基座201的中心位置。所述开口204可以使得所述基座201避开SMIF底盘上凸起，从而保证所述基座201与SMIF底盘之间很好的贴合。

作为示例，所述开口204为圆孔，在其它实施例中，所述开口204也可以为其它形状，只要满足能够容纳SMIF底盘上的凸起即可。

进一步的，所述基座201上还连接有把手205，所述把手205固定于所述基座201上。所述把手205可以便于操作人员对所述辅助工具的拿取。

优选的，所述把手205跨越所述开口204(如图2所示)。所述把手205跨越所述开口204可以使得所述把手205下方拥有更多操作空间。在其它实施例中，所述把手205也可以设置于所述基座201上其它位置，此处不应过分限制本实用新型的保护范围。

进一步的，所述基座201上还设有贯穿所述基座201的孔洞206，所述孔洞206的位置与所述SMIF底盘上的针脚位置相对应，当所述辅助工具放置于SMIF底盘上预设位置后，所述孔洞206与所述针脚的配合可以限制所述辅助工具在SMIF底盘上移动。通常，SMIF底盘上的针脚的数量为三个，因此，在本实施例中，所述孔洞206的数量也为三个，三个孔洞206之间的相互位置与三个针脚(处于标准位置时)之间的相互位置相同。

请参阅图3，显示为图2所示结构的俯视图。所述基座201的外形与SMIF底盘的外形相匹配。通常，SMIF底盘的横截面为圆角矩形，因此，本实施例中，所述基座201的外部轮廓相应的也设为圆角矩形。

如图3所示，本实施例中，三个所述孔洞206均为圆柱孔，其直径为5.5mm，深度为15mm，所述孔洞206是为了配合SMIF底盘上3个直径为5mm，高度为15mm的圆柱针脚(Pin)。当然，在其它实施例中，所述孔洞206也可以为其它尺寸，只要满足孔洞直径稍大于针脚直径、孔洞深度稍大于针脚高度即可。

作为示例，所述基座201中心位置的开口204(为圆孔状)直径为80mm，所述把手205的长度为120mm，宽度为20mm。

作为示例，三个激光照射靶柱202均为长20mm,宽5mm,高90mm的白色长方体，这三个长方体是按照一定的位置固定在基座上的，位于相应的标准激光光路上。

请参阅图4及图5，分别显示为所述激光照射靶柱从两个角度的结构示意图。作为示例，所述靶心通孔203位于距所述激光照射靶柱202顶部5mm的中心位置处。所述靶心通孔203包括但不限于圆孔或多边形孔等形状，本实施例中，所述靶心通孔203以长3mm，宽2mm，深5mm的矩形通孔为例。

本实用新型的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具在应用时需放置于SMIF底盘上预设位置，同时需把SMIF框架升到相应的标准高度(激光发射器、激光传感器、分光镜、反射镜均设置于SMIF框架上)，此标准高度与所述辅助工具的高度及靶心通孔的高度有关，可通过预先多次调试得出。当SMIF框架升到此标准高度时，若激光能够射到靶心通孔的中心位置，则说明各分光镜、反射镜处于标准位置，若激光不能够射到靶心通孔的中心位置，则说明各分光镜、反射镜偏离标准位置，从而方便地完成对SMIF激光传感器的检测。同时，通过调节各分光镜、反射镜，使得激光发射器发出的激光能够射到靶心通孔的中心位置，即完成了对SMIF激光传感器的调整，因为所述靶心通孔的中心位置与激光传感器的激光接收中心位置相对应，若激光发射器发出的激光能够射到靶心通孔的中心位置，就会进一步射到激光传感器的激光接收中心位置。由于所述靶心通孔的位置位于SMIF底盘区域上方，且无遮挡，从而非常易于观察，能够方便操作人员快速完成调整过程，并避免操作人员眼睛被激光照射的风险。

综上所述，本实用新型的辅助工具可以用于检测SMIF激光传感器的位置是否正确，并有效地帮助SMIF激光传感器位置的调整(通过调整分光镜及反射镜的位置间接调整)，对于工厂内数量巨大的SMIF来说，既节省了调整时间，又节省了人力，同时可以保护操作人员的眼睛，避免操作人员眼睛被激光照射的风险。所以，本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于，包括：

基座，所述基座上设有激光照射靶柱；所述激光照射靶柱上设有靶心通孔，所述靶心通孔的中心位置与SMIF上设置的激光传感器的激光接收中心位置相对应。

2.根据权利要求1所述的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于：所述激光照射靶柱为长方体。

3.根据权利要求1所述的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于：所述靶心通孔为圆孔或多边形孔。

4.根据权利要求1所述的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于：所述激光照射靶柱的数目为三个，分别对应SMIF上设置的晶圆位置激光传感器、晶舟位置激光传感器及晶圆凸起激光传感器。

5.根据权利要求1所述的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于：所述基座上还设有开口，所述开口的位置对应SMIF底盘上的凸起。

6.根据权利要求5所述的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于：所述开口为圆孔。

7.根据权利要求5所述的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于：所述基座上还连接有把手。

8.根据权利要求7所述的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于：所述把手跨越所述开口。

9.根据权利要求1所述的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于：所述基座上设有贯穿所述基座的孔洞，所述孔洞的位置与所述SMIF底盘上的针脚位置相对应。

10.根据权利要求1所述的SMIF激光传感器检测及调整辅助工具，其特征在于：所述基座的外形与SMIF底盘的外形相匹配。