CN204805349U - 真空腔中传动轴用固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了真空腔中传动轴用固定装置，包括用于固定传动轴的轴承座，轴承座上开设有一贯穿其的通孔，在通孔内固定安装有一陶瓷轴承；传动轴采用过盈配合的方式固定安装在陶瓷轴承上；轴承座固定安装在机体底座上，连接机体底座和轴承座的连接结构所在处及轴承座与机体底座接触面处设置有防止金属部件间放电影响靶材上阴级离子束正常形成的绝缘结构。
Description
技术领域
本实用新型属于真空镀膜腔内的固定装置，具体涉及一种真空腔中传动轴用固定装置。
背景技术
传统的玻璃镀膜过程中,传动轴是直接固定安装轴承座上，由于传动轴和轴承座都是采用金属材料制成，在传动轴和轴承座相对运动时会放电；而在进行镀膜时，传动轴上的靶材会发射阴极离子束，由于放电的干扰，致使靶材难以正常发射阴极离子束，阴极离子束的降低会严重影响玻璃表面的镀膜层，致使镀膜玻璃的质量难以达到生产的需求。
实用新型内容
针对现有技术中的上述不足，本实用新型提供真空腔中传动轴用固定装置能够确保靶材正常发射阴极离子束，从而改善了镀膜玻璃的质量。
为了达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案为：
提供一种真空腔中传动轴用固定装置，其包括用于固定传动轴的轴承座，轴承座上开设有一贯穿其的通孔，在通孔内固定安装有一陶瓷轴承；传动轴采用过盈配合的方式固定安装在陶瓷轴承上；
轴承座固定安装在机体底座上，连接机体底座和轴承座的连接结构所在处及轴承座与机体底座接触面处设置有防止金属部件间放电影响靶材上阴级离子束正常形成的绝缘结构。
本实用新型的有益效果为：该固定装置通过绝缘的陶瓷轴承进行传动轴的安装，并在轴承座与机体底座之间只要涉及金属接触的地方都安装上绝缘物质，传动轴在进行动力传输时，金属部件之间不会出现放电，确保了靶材正常发射阴极离子束，提高了阴级溅射的稳定性，进而改善了镀膜玻璃的质量。
附图说明
图1为真空腔中传动轴用固定装置的局部剖视图。
图2为真空腔中传动轴用固定装置的剖视图。
其中，1、轴承座；2、座底绝缘垫片；3、锁紧螺栓；4、绝缘垫圈；5、绝缘套；6、机体底座；7、传动轴；8、陶瓷轴承。
具体实施方式
下面对本实用新型的具体实施方式进行描述，以便于本技术领域的技术人员理解本实用新型，但应该清楚，本实用新型不限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员来讲，只要各种变化在所附的权利要求限定和确定的本实用新型的精神和范围内，这些变化是显而易见的，一切利用本实用新型构思的实用新型创造均在保护之列。
参考图1和图2，图1示出了真空腔中传动轴用固定装置的局部剖视图；图2示出了真空腔中传动轴用固定装置的剖视图。
如图1和图2所示，该真空腔中传动轴用固定装置包括用于固定传动轴7的轴承座1，在轴承座1上开设有一个贯穿其的通孔，通孔内固定安装有一陶瓷轴承8；传动轴7采用过盈配合的方式固定安装在陶瓷轴承8上。
为了保证力矩稳定地传输，轴承座1和传动轴7均采用耐磨且硬度较大金属材质做成，在镀膜时金属材质之间相互摩擦会对阴极离子束正常形成产生一定的影响，本方案的陶瓷轴承8的引入，使轴承座1和传动轴7不能直接接触，形成了第一道绝缘保护措施。
轴承座1固定安装在机体底座6上，连接机体底座6和轴承座1的连接结构所在处及轴承座1与机体底座6接触面处设置有防止金属部件间放电影响靶材上阴级离子束正常形成的绝缘结构。
绝缘结构的引入，在机体底座6和轴承座1之间形成了第二道利于阴极离子束的正常产生的绝缘保护措施。第一道绝缘保护措施和第二道绝缘保护措施的共同作用使原本相互接触的金属接触部件被完全分隔开了。
在本实用新型的一个实施例中，本方案优选连接机体底座6和轴承座1的连接结构为分别设置在轴承座1两侧的至少一颗锁紧螺栓3。此处，锁紧螺栓3数量的选取可以根据现场力矩传递大小选择多颗锁紧螺栓3。
在本实用新型的一个实施例中，优选绝缘结构为轴承座1与机体底座6之间设置的座底绝缘垫片2、锁紧螺栓3与轴承座1之间设置的绝缘套5和锁紧螺栓3的栓帽与轴承座1上表面之间设置的绝缘垫圈4。
其中，座底绝缘垫片2的尺寸设置成大于轴承座1的底面尺寸，这样设计后，可以完全杜绝轴承座1在受压时出现与机体底座6接触的现象。绝缘套5采用过盈配合的方式安装在锁紧螺栓3与轴承座1之间。
在本方案中，优选绝缘结构的组成部件座底绝缘垫片2、螺栓绝缘垫圈4和绝缘套5均采用聚四氟乙烯(PTFE)制成，这样绝缘结构的使用温度可达250摄氏度，并可以抵抗1500伏的高电压，绝缘效果非常好。
虽然结合附图对本实用新型的具体实施方式进行了详细地描述，但不应理解为对本专利的保护范围的限定。在权利要求书所描述的范围内，本领域技术人员不经创造性劳动即可做出的各种修改和变形仍属本专利的保护范围。
Claims (6)
1.真空腔中传动轴用固定装置，包括用于固定传动轴的轴承座，其特征在于：所述轴承座上开设有一贯穿其的通孔，在所述通孔内固定安装有一陶瓷轴承；所述传动轴采用过盈配合的方式固定安装在所述陶瓷轴承上；
所述轴承座固定安装在机体底座上，连接所述机体底座和所述轴承座的连接结构所在处及所述轴承座与所述机体底座接触面处设置有防止金属部件间放电影响靶材上阴级离子束正常形成的绝缘结构。
2.根据权利要求1所述的真空腔中传动轴用固定装置，其特征在于：连接所述机体底座和所述轴承座的连接结构为分别设置在所述轴承座两侧的至少一颗锁紧螺栓。
3.根据权利要求2所述的真空腔中传动轴用固定装置，其特征在于：所述绝缘结构为所述轴承座与所述机体底座之间设置的座底绝缘垫片、所述锁紧螺栓与所述轴承座之间设置的绝缘套和锁紧螺栓的栓帽与轴承座上表面之间设置的绝缘垫圈。
4.根据权利要求3所述的真空腔中传动轴用固定装置，其特征在于：所述座底绝缘垫片的尺寸大于所述轴承座的底面尺寸。
5.根据权利要求3所述的真空腔中传动轴用固定装置，其特征在于：所述绝缘套采用过盈配合的方式安装在所述锁紧螺栓与所述轴承座之间。
6.根据权利要求1-5任一所述的真空腔中传动轴用固定装置，其特征在于：所述绝缘结构采用聚四氟乙烯制成。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201520432087.XU CN204805349U (zh) | 2015-06-23 | 2015-06-23 | 真空腔中传动轴用固定装置 |
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| CN201520432087.XU CN204805349U (zh) | 2015-06-23 | 2015-06-23 | 真空腔中传动轴用固定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN204805349U true CN204805349U (zh) | 2015-11-25 |
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ID=54590182
Family Applications (1)
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| CN201520432087.XU Active CN204805349U (zh) | 2015-06-23 | 2015-06-23 | 真空腔中传动轴用固定装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN204805349U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112849959A (zh) * | 2019-11-12 | 2021-05-28 | 中国科学院微电子研究所 | 一种用于真空设备的无油传送装置 |
| CN112850084A (zh) * | 2019-11-12 | 2021-05-28 | 中国科学院微电子研究所 | 一种传送真空设备样品的装置 |
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2015
- 2015-06-23 CN CN201520432087.XU patent/CN204805349U/zh active Active
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|---|---|---|---|---|
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