CN204805061U - 洁净式真空系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及抽真空技术领域，尤其涉及洁净式真空系统。本实用新型包括机械真空泵和管道，所述机械真空泵的进气口通过管道连接有进气过滤器，机械真空泵的出气口通过管道连接有排气过滤器。本实用新型通过设置进气过滤器和排气过滤器，使得机械真空泵抽气时，避免灰尘进入保护真空泵；其次，排气时，避免润滑油气化直排入空气，污染环境。

Description

洁净式真空系统

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术领域，尤其涉及洁净式真空系统。

背景技术

随着工业的发展，人们对生产的洁净度要求越来越高，特别是半导体器件生产，化工药物等；纯净度要求非常高，因此需要对加工空间进行抽真空处理。目前的抽真空方式为：直接用真空泵进行抽真空并对外排气，然而直接对外排气会造成污染，污染环境，其次真空泵在抽真空时，粉尘等颗粒物质容易进入，造成对真空泵的损伤。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有技术的不足，提供一种洁净式真空系统，该真空系统可以避开污染，达到洁净式的抽真空；同时起到保护真空泵的效果。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种洁净式真空系统，包括机械真空泵和管道，所述机械真空泵的进气口通过管道连接有进气过滤器，机械真空泵的出气口通过管道连接有排气过滤器。

进一步地，所述进气过滤器包括一个壳体，壳体内设置有至少一层过滤芯体，所述过滤芯体的两侧设有海绵层。

进一步地，所述进气过滤器包括一个壳体，壳体内设有两块极板和直流电源，两块极板分别与直流电源的两极电连接。

进一步地，所述排气过滤器包括一个用于盛装有机液体的容器，容器的底部设有用于进气管道，进气管道安装有单向阀，所述容器的上端设有出气管道，出气管道也设有单向阀。

进一步地，所述排气过滤器通过管道连接有储气罐。

进一步地，所述储气罐连接有真空压力表，储气罐与排气过滤器之间设有单向阀。

进一步地，所述洁净式真空系统还包括一个控制箱，控制箱分别与真空压力表、机械真空泵信号连接。

进一步地，所述储气罐连接有排气管道。

本实用新型取得的有益效果为：本实用新型通过设置进气过滤器和排气过滤器，使得机械真空泵抽气时，避免灰尘进入保护真空泵；其次，排气时，避免润滑油气化直排入空气，污染环境。

附图说明

图1是本实施例1的一种结构示意图。

图2是进气过滤器的一种剖视结构示意图。

图3是排气过滤器的一种剖视结构示意图。

附图标记为：

1——排气管道2——储气罐3——管道

4——机械真空泵5——控制箱6——进气过滤器

7——排气过滤器61——海绵层62——壳体

63——过滤芯体71——容器72——进气管道

73——单向阀74——出气管道。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步地说明书。

实施例：参见图1、图2、图3。

一种洁净式真空系统，包括机械真空泵4和管道，所述机械真空泵4的进气口通过管道连接有进气过滤器6，机械真空泵4的出气口通过管道连接有排气过滤器7。

目前，机械真空泵4在抽真空时，会将空气中的粉尘及其固体颗粒吸入到机械真空泵4内，粉尘进入机械真空泵4后，会附着到机械真空泵4的内腔，影响到机械真空泵4的密封性，尤其是旋片式真空泵；在进气口设置进气过滤器6后，可以将粉尘等颗粒物质过滤，起到保护真空泵的作用。其次，机械真空泵4在工作时，内部的润滑油容易发生气化，然后排出体外，润滑油对环境有污染，在出气口连接排气过滤器7，可以起到净化的作用，防止污染，达到洁净式抽真空的效果。

进一步地，所述进气过滤器6包括一个壳体62，壳体62内设置有至少一层过滤芯体63，所述过滤芯体63的两侧设有海绵层61。

进气过滤器6可以采用孔径过滤的方式，将粉尘过滤掉。过滤时，只要采用过滤芯体63，并以海绵作为辅助。过滤芯体63可以采用炭包之类等。

进一步地，作为等同变化，所述进气过滤器6包括一个壳体，壳体内设有两块极板和直流电源，两块极板分别与直流电源的两极电连接。

进气过滤器6采用电离吸附的方式，气体流经壳体的两块极板之间的空间，气体被电离，粉尘带上电荷，因此，吸附到极板上。

进一步地，所述排气过滤器包括一个用于盛装有机液体的容器71，容器71的底部设有用于进气管道72，进气管道72安装有单向阀73，所述容器71的上端设有出气管道74，出气管道74也设有单向阀73。

由于排气过滤器主要用于去除气体内的润滑油气体，因此，设置有盛装机液体的容器71进行过滤；吸收润滑油。有机液体可以为酒精、醋酸等。

进一步地，所述排气过滤器7通过管道3连接有储气罐2。

由于抽真空的对象可能是有害气体，因此不适宜直接排空，需要将其收集，然后集中处理；因此气体通过排气过滤器7进入到储气罐2中。

进一步地，所述储气罐2连接有真空压力表，储气罐2与排气过滤器7之间设有单向阀（图中未画出）。

由于储气罐2用于存储气体，储气罐2的气体不断增加，因此其压强也在不断增长；会给机械真空泵4的排气带来影响，因此设置真空压力表，当储气罐2的压强达到一定程度时，换一个储气罐2进行储气。其次，避免储气罐2内气体因压强过大，反灌入机械真空泵4内，设置单向阀。

进一步地，所述洁净式真空系统还包括一个控制箱5，控制箱5分别与真空压力表、机械真空泵4信号连接。

由于该系统在操作时，需要有人去观察真空压力表；以防止影响到抽气。提高自动化程度。

进一步地，所述储气罐2连接有排气管道1，所述排气管道1连接有控制阀。

当储气罐2储气到一定程度，通过排气管道1输入到回收池内，控制阀用于控制流量。

以上仅是本申请的较佳实施例，在此基础上的等同技术方案仍落入申请保护范围。

Claims (8)

1.洁净式真空系统，包括机械真空泵和管道，其特征在于：所述机械真空泵的进气口通过管道连接有进气过滤器，机械真空泵的出气口通过管道连接有排气过滤器。

2.根据权利要求1所述的洁净式真空系统，其特征在于：所述进气过滤器包括一个壳体，壳体内设置有至少一层过滤芯体，所述过滤芯体的两侧设有海绵层。

3.根据权利要求1所述的洁净式真空系统，其特征在于：所述进气过滤器包括一个壳体，壳体内设有两块极板和直流电源，两块极板分别与直流电源的两极电连接。

4.根据权利要求1或2或3所述的洁净式真空系统，其特征在于：所述排气过滤器包括一个用于盛装有机液体的容器，容器的底部设有用于进气管道，进气管道安装有单向阀，所述容器的上端设有出气管道，出气管道也设有单向阀。

5.根据权利要求4所述的洁净式真空系统，其特征在于：所述排气过滤器通过管道连接有储气罐。

6.根据权利要求5所述的洁净式真空系统，其特征在于：所述储气罐连接有真空压力表，储气罐与排气过滤器之间设有单向阀。

7.根据权利要求6所述的洁净式真空系统，其特征在于：所述洁净式真空系统还包括一个控制箱，控制箱分别与真空压力表、机械真空泵信号连接。

8.根据权利要求7所述的洁净式真空系统，其特征在于：所述储气罐连接有排气管道。