CN204779800U - 一种特气管路 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域，具体公开了一种特气管路，包括特气管道和特气孔，所述特气管道的侧壁上设有带内螺纹的口，所述特气孔为设有通孔的螺栓，所述通孔沿螺栓柱轴心贯穿螺栓，所述特气孔通过螺纹连接在特气管道的侧壁口上，用于输出特气，其特征在于：还包括不设有通孔的盲堵螺栓，所述盲堵螺栓通过螺纹连接在特气管道的侧壁口上，用于阻止特气输出。特气孔螺栓的螺纹为圆锥螺纹。本实用新型能够解决因清理特气孔堵塞而导致特气管路破损的问题，特气孔清理方便，维修简单；同时还能根据生产工艺需要有目的性的改变调节气体分布。

Description

一种特气管路

技术领域

本实用新型涉及化学气相沉积技术领域。

背景技术

PECVD是太阳能电池片生产的重要环节，镀膜质量的好坏既影响电池的转换效率，又影响产品外观。外观不合格，直接影响产品的合格率及产品的销量。而特气管路是PECVD镀膜设备的重要组成部分，生产过程中通过特气管路输送硅烷、氨气两种工艺气体。特气孔的大小、通透，直接影响工业气体的分布，特气分布均匀与否决定着镀膜外观颜色的好坏和产品质量的好坏。

现有的特气管路，是在管道上直接打孔，均匀分布着若干大小相同的小孔。特气孔每五天的维护周期内都会被工艺生成物氮化硅堵塞，堵塞特气孔的氮化硅坚硬，需要用钻头对特气孔进行打磨清理。而多次钻头打磨后容易使管道中某个或几个孔破损变形，从而影响气体分布，大批量的电池片成为颜色差异的色差片，导致产品质量差。一旦因为局部某个孔破损，就必须更换整套管路，更换难度大，耗时长，费用高，影响产能；不更换，产品质量得不到保障。并且频繁的更换管路使得镀膜设备的进气接口破损老化，降低使用寿命。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种特气管路，能够解决因清理特气孔堵塞而导致特气管路破损的问题，特气孔清理方便，维修简单；同时还能根据生产工艺需要有目的性的改变调节气体分布。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种特气管路，包括特气管道和特气孔，所述特气管道的侧壁上设有带内螺纹的口，所述特气孔为设有通孔的螺栓，所述通孔沿螺栓柱轴心贯穿螺栓，所述特气孔通过螺纹连接在特气管道的侧壁口上，用于输出特气，其特征在于：还包括不设有通孔的盲堵螺栓，所述盲堵螺栓通过螺纹连接在特气管道的侧壁口上，用于阻止特气输出。

进一步地，特气孔螺栓的螺纹为圆锥螺纹。

进一步地，特气管道侧壁口的内螺纹为圆柱螺纹。

进一步地，所述特气管道包括主气管和与主气管相连通的两根对称分布的支气管，所述支气管末端连通供气管，所述带内螺纹的口设于供气管侧壁上。

进一步地，供气管设有22个均匀分布的特气孔，特气孔孔径为0.8mm或1.0mm。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型特气管路由管道、特气孔和盲堵螺栓组成，每个特气孔均可拆卸，发现某个特气孔破损变形可单独局部拆卸，既降低了维修成本、维修时长，又能更好的保证特气均匀分布，进而保证产品的高合格率；盲堵螺栓配合特气孔的使用，将特气孔用盲堵螺栓代替，可以为了生产工艺需要有目的性的改变调节气体分布，调节省时省力，提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型特气管道的结构示意图。

其中，1、特气管道；2、特气孔；3、盲堵螺栓；4、供气管；5、支气管；6、主气管。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

一种特气管路，包括特气管道1和特气孔2，所述特气管道1的侧壁上设有带内螺纹的口，所述特气孔2为设有通孔的螺栓，所述通孔沿螺栓柱轴心贯穿螺栓，所述特气孔2通过螺纹连接在特气管道1的侧壁口上，用于输出特气，还包括不设有通孔的盲堵螺栓3，所述盲堵螺栓3通过螺纹连接在特气管道1的侧壁口上，用于阻止特气输出。

进一步地，特气孔2螺栓的螺纹为圆锥螺纹。

进一步地，特气管道1侧壁口的内螺纹为圆柱螺纹。由于内螺纹加工成圆锥螺纹技术难度较大，精度不易控制。

特气孔2螺栓的外螺纹是圆锥螺纹，与特气管道1侧壁口的内螺纹圆柱螺纹之间螺纹连接，由于只有锥螺纹的基面与柱螺纹的直径相等，所有螺纹之间的连接既有齿面接触面上的压接，又有基面上的压紧作用，螺纹连接的强度更高，严密性更好，能够有效的防止特气从螺纹连接处泄漏。

进一步地，所述特气管道1包括主气管6和与主气管6相连通的两根对称分布的支气管5，所述支气管5末端连通供气管4，所述带内螺纹的口设于供气管4侧壁上。

主气管6连接特气源，特气通过支气管5输送至供气管4，再经特气孔2输出至镀膜设备的进气接口。

优选的，供气管4设有22个均匀分布的特气孔2，特气孔2孔径为0.8mm或1.0mm。

本实用新型采用可拆卸的特气孔和盲堵螺栓构成气路可方便调节的特气管路，特气孔堵塞维修方便，不会对特气管道造成损伤，降低特气管道的维修频率，保证特气分布均匀，进而保证产品质量的稳定，盲堵螺栓方便根据工艺需要调节特气管路中特气的分布，适用性强。

Claims (5)

1.一种特气管路，包括特气管道（1）和特气孔（2），所述特气管道（1）的侧壁上设有带内螺纹的口，所述特气孔（2）为设有通孔的螺栓，所述通孔沿螺栓柱轴心贯穿螺栓，所述特气孔（2）通过螺纹连接在特气管道（1）的侧壁口上，用于输出特气，其特征在于：还包括不设有通孔的盲堵螺栓（3），所述盲堵螺栓（3）通过螺纹连接在特气管道（1）的侧壁口上，用于阻止特气输出。

2.根据权利要求１所述的一种特气管路，其特征在于特气孔（2）螺栓的螺纹为圆锥螺纹。

3.根据权利要求１所述的一种特气管路，其特征在于特气管道（1）侧壁口的内螺纹为圆柱螺纹。

4.根据权利要求１所述的一种特气管路，其特征在于所述特气管道（1）包括主气管（6）和与主气管（6）相连通的两根对称分布的支气管（5），所述支气管（5）末端连通供气管（4），所述带内螺纹的口设于供气管（4）侧壁上。

5.根据权利要求4所述的一种特气管路，其特征在于供气管（4）设有22个均匀分布的特气孔（2），特气孔（2）孔径为0.8mm或1.0mm。