CN204771910U - 硅片打磨台 - Google Patents

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汪伟华
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Abstract

本实用新型属于硅片生产技术领域,特别是涉及一种硅片打磨台。包括工作台和支腿,工作台上设有固定垫板和限位板,所述工作台上设有正面敞口的挡尘罩,在挡尘罩内装有照明装置,挡尘罩内一侧设有硅粉回收装置,所述限位板为活动板,在工作台上纵向平行设有一对导轨,限位板两侧设有与对应导轨滑动配合的凹槽,同时设有顶紧件用于定位固定。本实用新型硅片打磨台结构简单,操作使用方便,有助于保持良好的作业环境,保证工人身体健康,同时还方便了硅粉的回收利用,适于推广实施。

Description

硅片打磨台
技术领域
本实用新型属于硅片生产技术领域,特别是涉及一种硅片打磨台。
背景技术
现有打磨台为开放式结构,硅片在打磨过程中硅粉四处飘落,作业环境差,对工人身体健康造成影响,而且,硅粉也很难再回收,造成浪费。此外,现有的工作台上的限位板与垫板之间相对位置固定,不能同时满足不同尺寸大小的硅片的打磨要求,使用不方便,不利于普及推广。
发明内容
本实用新型要解决的技术问题就是克服上述现有技术的不足,而提供一种作业环境良好,保证工人身体健康,同时方便硅粉回收,且使用方便的硅片打磨台。
为解决上述技术问题,本实用新型的技术方案为:
设计一种硅片打磨台,包括工作台和支腿,工作台上设有固定垫板和限位板,所述工作台上设有正面敞口的挡尘罩,在挡尘罩内装有照明装置,挡尘罩内一侧设有硅粉回收装置,所述限位板为活动板,在工作台上纵向平行设有一对导轨,限位板两侧设有与对应导轨滑动配合的凹槽,同时设有顶紧件用于定位固定。
进一步的,所述硅粉回收装置包括抽风机和回收管道,在挡尘罩侧面设有抽风孔,抽风机安装在抽风孔上。
优选的,所述支腿为升降可调结构。
优选的,所述支腿底部同时设有可调杯脚。
本实用新型技术方案的有益效果是:
1、在结构上,本实用新型硅片打磨台上增设挡尘罩和硅粉回收装置,避免了硅粉四溢,有助于保持良好的作业环境,保证工人身体健康,同时还方便了硅粉的回收利用;挡尘罩内设置照明装置,结构合理,方便作业。
2、在结构上,本实用新型将限位板设计为活动板,并且可以沿导轨前后滑动,实现限位板与固定垫板之间相对空间大小的调节,从而适应不同尺寸大小的硅片的打磨要求,使用方便,有助于推广实施。
3、在结构上,本实用新型所述硅粉回收装置包括抽风机和回收管道,结构简单,易于实施;所述支腿为升降可调结构,支腿底部同时设有可调杯脚,用于工作台高低位置的调节,对支腿的调节满足较大幅度调整的使用要求,对杯脚的调节则适用于微调;组合调整,使用更方便。
4、综上,本实用新型硅片打磨台结构简单,操作使用方便,有助于保持良好的作业环境,保证工人身体健康,同时还方便了硅粉的回收利用,因此,非常适于推广实施。
附图说明
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的说明,其中:
图1为本实用新型硅片打磨台的结构示意图;
图2为图1所示硅片打磨台的A向结构示意图;
图3为图1所示硅片打磨台的B向结构示意图;
图中序号:1、工作台,2、支腿,3、固定垫板,4、限位板,5、挡尘罩,6、照明装置,7、导轨,8、顶紧件,9、抽风机,10、回收管道,11、可调杯脚。
具体实施方式
实施例一:
参见图1,图中,本实用新型硅片打磨台,包括工作台1和支腿2,工作台上设有固定垫板3和限位板4,所述工作台上设有正面敞口的挡尘罩5,在挡尘罩内装有照明装置6,挡尘罩内一侧设有硅粉回收装置,所述限位板为活动板,在工作台上纵向平行设有一对导轨7,限位板两侧设有与对应导轨滑动配合的凹槽,同时设有顶紧件8用于定位固定。
所述硅粉回收装置包括抽风机9和回收管道10,在挡尘罩侧面设有抽风孔,抽风机安装在抽风孔上。所述支腿为升降可调结构。所述支腿底部同时设有可调杯脚11。
以上所述仅为本实用新型示意性的具体实施方式,并非用以限定本实用新型的范围,任何本领域的技术人员在不脱离本实用新型构思和原则的前提下所做出的等同变化与修改,均应属于本实用新型保护的范围。

Claims (4)

1.一种硅片打磨台,包括工作台和支腿,工作台上设有固定垫板和限位板,其特征是:所述工作台上设有正面敞口的挡尘罩,在挡尘罩内装有照明装置,挡尘罩内一侧设有硅粉回收装置,所述限位板为活动板,在工作台上纵向平行设有一对导轨,限位板两侧设有与对应导轨滑动配合的凹槽,同时设有顶紧件用于定位固定。
2.根据权利要求1所述的硅片打磨台,其特征是:所述硅粉回收装置包括抽风机和回收管道,在挡尘罩侧面设有抽风孔,抽风机安装在抽风孔上。
3.根据权利要求1所述的硅片打磨台,其特征是:所述支腿为升降可调结构。
4.根据权利要求1所述的硅片打磨台,其特征是:所述支腿底部同时设有可调杯脚。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106498503A (zh) * 2016-12-23 2017-03-15 江苏迩高新能源科技有限公司 块状硅原料的碱式清洗车间结构
CN110919498A (zh) * 2018-09-19 2020-03-27 天津众晶半导体材料有限公司 一种智能型单晶硅打磨用刀具

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