CN204652707U - 一种密封腔体微波导入装置 - Google Patents

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陈华
郭战永
彭金辉
巨少华
张利波
孙俊
罗会龙
姜峰
刘超
李传华
李鑫培
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Yipu Shanghai Semiconductor Manufacturing Co ltd
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Kunming University of Science and Technology
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Abstract

本实用新型涉及一种密封腔体微波导入装置,属于微波设备技术领域。该密封腔体微波导入装置,包括密封腔体、密封螺钉A、聚四氟乙烯垫片B、石英玻璃、聚四氟乙烯垫片A、密封螺钉B、法兰A、法兰B、波导、激励腔和磁控管,所述密封腔体上至少开设一个溃口,每个溃口处从里到外依次设有磁控管、激励腔、波导、聚四氟乙烯垫片B、石英玻璃、聚四氟乙烯垫片A,法兰A、法兰B分别上下对称组成两组组合,每组组合中法兰A和法兰B采用密封螺钉A连接,波导通过多个密封螺钉B固定在法兰B上,两组组合将石英玻璃固定在溃口处。该装置能保持加热腔内的压力或真空度,并能防止异物进入激励腔,保证微波设备的加热效果,减少事故的发生。

Description

一种密封腔体微波导入装置
技术领域
本实用新型涉及一种密封腔体微波导入装置,属于微波设备技术领域。
背景技术
作为微波发生装置的磁控管式微波设备的主要组成部分,为了达到良好的工作效果,微波设备中还需安装几个重要的配合部件,即激励腔、溃口、波导,目前,国内磁控管的安装及应用一般采用在微波加热腔体上开取溃口,激励腔配装在溃口处,在加热腔内部由溃口处安装相应改变微波方向的波导,这样的配合完全可以实现应用微波加热的功能。但这种结果的密封度不高,在抽真空微波设备中,不能保持绝爱热腔体的真空度。同时物料反应过程中产生的气体及一些物料本身携带的粉尘会通过波导及溃口进入激励腔内部,这些物质的长期积累会影响加热效果,严重时造成磁控管天线头的烧坏。目前,对密封腔体的微波导入方式的研究较少,其中实用型新CN 201779720 U《一种能保持加热腔密封的微波设备》,包括加热腔,加热腔上开设有至少两个溃口,每个溃口上均设置有相通的波导和激励腔,激励腔上设置有磁控管,波导位于加热腔内的微波出口上密封安装有陶瓷制成的密封板,该使用新型可以防止异物进入激励腔,保持激励腔的清洁,同时达到密封的效果。该专利中波导位于密封腔内部,在实际生产过程中,易造成波导的腐蚀,进而造成漏气和漏波问题,尤其在进行酸性及碱性物料干燥过程中。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题及不足,本实用新型提供一种密封腔体微波导入装置。该装置具有完全密封的微波加热腔体,能保持加热腔内的压力或真空度,并能防止异物进入激励腔,保证微波设备的加热效果,减少事故的发生,本实用新型通过以下技术方案实现。
一种密封腔体微波导入装置,包括密封腔体、密封螺钉A5、聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8、密封螺钉B9、法兰A10、法兰B11、波导12、激励腔13和磁控管14,所述密封腔体上至少开设一个溃口,每个溃口处从里到外依次设有磁控管14、激励腔13、波导12、聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8,法兰A10、法兰B11分别上下对称组成两组组合,每组组合中法兰A10和法兰B11采用密封螺钉A5连接,波导12通过多个密封螺钉B9固定在法兰B11上,两组组合将石英玻璃7固定在溃口处。
所述密封腔体包括插入的热电偶1、顶部的气体出口2、从密封腔体侧边插入的进料口3和密封腔体底部的出料口4。
所述聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8、法兰A10、法兰B11彼此间的接触面层设有中性玻璃胶密封剂。
所述法兰A10、法兰B11材质为不锈钢。
本实用新型的有益效果是:
1、采用不吸波的聚四氟乙烯垫片和透波石英玻璃,实现微波的导入。
2、采用不吸波的中性玻璃胶作为密封剂,实现腔体的高密封强度。
3、该实用新型在保证腔体的密封度的同时,可以防止气体及粉尘进入激励腔,在不影响微波设备正常使用的情况下,能使微波设备长期保持最佳使用状态。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
图中:1-热电偶,2-气体出口,3-进料口,4-出料口,5-密封螺钉A,6-聚四氟乙烯垫片B,7-石英玻璃,8-聚四氟乙烯垫片A,9-密封螺钉B,10-法兰A,11-法兰B,12-波导,13-激励腔,14-磁控管。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式,对本实用新型作进一步说明。
实施例1
如图1所示,该密封腔体微波导入装置,包括密封腔体、密封螺钉A5、聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8、密封螺钉B9、法兰A10、法兰B11、波导12、激励腔13和磁控管14,所述密封腔体上至少开设一个溃口,每个溃口处从里到外依次设有磁控管14、激励腔13、波导12、聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8,法兰A10、法兰B11分别上下对称组成两组组合,每组组合中法兰A10和法兰B11采用密封螺钉A5连接,波导12通过两个密封螺钉B9固定在法兰B11上,两组组合将石英玻璃7固定在溃口处。
其中密封腔体包括插入的热电偶1、顶部的气体出口2、从密封腔体侧边插入的进料口3和密封腔体底部的出料口4;聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8、法兰A10、法兰B11彼此间的接触面层设有中性玻璃胶密封剂;法兰A10、法兰B11材质为不锈钢。
实施例2
如图1所示,该密封腔体微波导入装置,包括密封腔体、密封螺钉A5、聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8、密封螺钉B9、法兰A10、法兰B11、波导12、激励腔13和磁控管14,所述密封腔体上开设一个溃口,每个溃口处从里到外依次设有磁控管14、激励腔13、波导12、聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8,法兰A10、法兰B11分别上下对称组成两组组合,每组组合中法兰A10和法兰B11采用密封螺钉A5连接,波导12通过多个密封螺钉B9固定在法兰B11上,两组组合将石英玻璃7固定在溃口处。
其中密封腔体包括插入的热电偶1、顶部的气体出口2、从密封腔体侧边插入的进料口3和密封腔体底部的出料口4;聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8、法兰A10、法兰B11彼此间的接触面层设有中性玻璃胶密封剂;法兰A10、法兰B11材质为不锈钢。
实施例3
如图1所示,该密封腔体微波导入装置,包括密封腔体、密封螺钉A5、聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8、密封螺钉B9、法兰A10、法兰B11、波导12、激励腔13和磁控管14,所述密封腔体上开设二十个溃口,每个溃口处从里到外依次设有磁控管14、激励腔13、波导12、聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8,法兰A10、法兰B11分别上下对称组成两组组合,每组组合中法兰A10和法兰B11采用密封螺钉A5连接,波导12通过四个密封螺钉B9固定在法兰B11上,两组组合将石英玻璃7固定在溃口处。
其中密封腔体包括插入的热电偶1、顶部的气体出口2、从密封腔体侧边插入的进料口3和密封腔体底部的出料口4;聚四氟乙烯垫片B6、石英玻璃7、聚四氟乙烯垫片A8、法兰A10、法兰B11彼此间的接触面层设有中性玻璃胶密封剂;法兰A10、法兰B11材质为不锈钢。
以上结合附图对本实用新型的具体实施方式作了详细说明,但是本实用新型并不限于上述实施方式,在本领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (4)

1.一种密封腔体微波导入装置,其特征在于:包括密封腔体、密封螺钉A(5)、聚四氟乙烯垫片B(6)、石英玻璃(7)、聚四氟乙烯垫片A(8)、密封螺钉B(9)、法兰A(10)、法兰B(11)、波导(12)、激励腔(13)和磁控管(14),所述密封腔体上至少开设一个溃口,每个溃口处从里到外依次设有磁控管(14)、激励腔(13)、波导(12)、聚四氟乙烯垫片B(6)、石英玻璃(7)、聚四氟乙烯垫片A(8),法兰A(10)、法兰B(11)分别上下对称组成两组组合,每组组合中法兰A(10)和法兰B(11)采用密封螺钉A(5)连接,波导(12)通过多个密封螺钉B(9)固定在法兰B(11)上,两组组合将石英玻璃(7)固定在溃口处。
2.根据权利要求1所述的密封腔体微波导入装置,其特征在于:所述密封腔体包括插入的热电偶(1)、顶部的气体出口(2)、从密封腔体侧边插入的进料口(3)和密封腔体底部的出料口(4)。
3.根据权利要求1所述的密封腔体微波导入装置,其特征在于:所述聚四氟乙烯垫片B(6)、石英玻璃(7)、聚四氟乙烯垫片A(8)、法兰A(10)、法兰B(11)彼此间的接触面层设有中性玻璃胶密封剂。
4.根据权利要求1所述的密封腔体微波导入装置,其特征在于:所述法兰A(10)、法兰B(11)材质为不锈钢。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106785245A (zh) * 2016-12-05 2017-05-31 中国电子科技集团公司第十六研究所 一种毫米波频段用低损耗高真空密封隔热传输窗口
CN108114664A (zh) * 2017-12-25 2018-06-05 湖南长仪微波科技有限公司 一种微波高压环形反应装置

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