CN204632737U - 一种硅片脱胶支架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片脱胶支架,涉及硅片脱胶技术领域;包括架体,所述架体内套有至少一组可从架体上取出的取片架,所述取片架包括左挡板、右挡板、底部挡杆和至少两个侧面挡杆,左挡板和右挡板分别位于取片架的两端,左挡板和右挡板之间的底部设有底部挡杆,左挡板和右挡板之间的两侧面分别设有侧面挡杆,左挡板和右挡板的外侧面或顶部分别固定有勾手;底部挡杆、侧面挡杆与左挡板、右挡板之间的连接方式为可拆卸式。本实用新型能够实现硅片的整租取出,结构简单,操作方便,能够使用机器进行取片操作,大大降低了劳动强度,提高了工作效率,保证了成品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片脱胶技术领域。
背景技术
硅棒在进行切片时一般通过粘胶固定在晶托上的玻璃板上,如图1所示,晶托主要包括晶托板1和玻璃板2,切割好的硅片3通过粘胶粘在玻璃板2上。切割完成后需要对切割好的硅片3进行脱胶清洗,即将硅片3从玻璃板2上分离,脱胶清洗是在脱胶架上进行的。如图1所示,脱胶架包括架体1、侧面挡杆5,底部挡杆6和架体把手8。脱胶清洗时,将硅片连同晶托倒挂在脱胶架上,架体1上的横梁7用于支撑晶托,底部挡杆6用于支撑脱胶后的硅片3,侧面挡杆5用于限制硅片3前后移动。脱胶时,将晶托连同硅片3放在脱胶架上,再将脱胶架放进装有温水的脱胶箱里,温水将粘胶融化后,硅片3会从玻璃板2上脱离,落到脱胶架上的底部挡杆6上。脱胶架为脱落后的硅片3提供支撑,脱胶完成后,需要进行取片,即将硅片3从脱胶架上取出,放进一个塑料盆中。原有的取片方式是人工取片,即操作人员用手将硅片3取出,由于硅片3有一定的重量,操作人员一次只取出十几片,且硅片3数量较多,需要进行多次取放操作,劳动强度大,工作效率低下。并且,人为取片,一不小心容易造成裂片,且硅片表面容易被操作人员玷污,降低了成品率。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种硅片脱胶支架,能够实现硅片的整租取出,结构简单,操作方便,能够使用机器进行取片操作,大大降低了劳动强度,提高了工作效率,保证了成品率。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:
一种硅片脱胶支架,包括架体,所述架体内套有至少一组可从架体上取出的取片架,所述取片架包括左挡板、右挡板、底部挡杆和至少两个侧面挡杆,左挡板和右挡板分别位于取片架的两端,左挡板和右挡板之间的底部设有底部挡杆,左挡板和右挡板之间的两侧面分别设有侧面挡杆,左挡板和右挡板的外侧面或顶部分别固定有勾手;底部挡杆、侧面挡杆与左挡板、右挡板之间的连接方式为可拆卸式。
进一步的技术方案,所述取片架的数量为2组。
进一步的技术方案,所述底部挡杆的数量为两个。
进一步的技术方案,所述架体的底部固定有支撑板,用于支撑取片架。
进一步的技术方案,所述取片架的左右两边还设有架体把手。
进一步的技术方案,所述取片架的长度为360mm-380mm。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本实用新型在脱胶支架内设置可拆卸式取片架,实现了整租硅片的取片操作,结构简单,操作方便,能够使用机器进行取片操作,大大降低了劳动强度,提高了工作效率,保证了成品率。另外,设有的勾手便于使用机器将取片架取出;取片架设置成可拆卸式,方便取片后的放片操作。
附图说明
图1是传统的脱胶支架结构原理图;
图2是本实用新型的结构原理图;
在附图中:1、晶托板,2、玻璃板,3、硅片,4、架体,5、侧面挡杆,6、底部挡杆,7、横梁,8、架体把手,9、左挡板,10、右挡板,11、勾手,12、支撑板,13、挡杆槽。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
如图2所示,一种硅片脱胶支架,包括架体4,架体4内套有至少一组可从架体4上取出的取片架,由于在实际操作中,脱胶支架上通常放置两组待脱胶的硅片3,因此取片架的数量优选为2组。取片架的长度为360mm-380mm。取片架包括左挡板9、右挡板10、底部挡杆6和至少两个侧面挡杆5。左挡板9和右挡板10分别位于取片架的两端,左挡板9、右挡板10的高度小于脱胶支架上的横梁7的高度,以便保证晶托能够平放于横梁7上。左挡板9和右挡板10之间的底部设有底部挡杆6,底部挡杆6为圆柱体形,数量为两个,用于为脱落的硅片3提供支撑。左挡板9和右挡板10之间的两侧面分别设有侧面挡杆5,在进行取片操作时,保证硅片3的稳定性。左挡板9和右挡板10的外侧面或顶部分别固定有勾手11,以便于机器钩挂勾手11进行取片操作。底部挡杆6、侧面挡杆5与左挡板9、右挡板10之间的连接方式为可拆卸式,在将取出的硅片3放至塑料盆中时,方便将取片架卸下。可拆卸式具体为:左挡板9与右挡板10上设有挡杆槽13,挡杆槽13上设有不同的档位,侧面挡杆5和底部挡杆6两端分别插入左挡板9和右挡板10上的挡杆槽13上后,通过调节侧面挡杆5和底部挡杆6至不同档位,实现两个侧面挡杆5之间、两个底部挡杆6之间宽度的调节,调节两个侧面挡杆5能够满足不同规格硅片的放置。架体4的底部固定有支撑板12,用于支撑取片架。取片架的左右两边还设有架体把手8,方便脱胶支架的搬运、移动。
本实用新型的工作原理是:操作时,将两组带有硅片3的晶托放置到脱胶支架的横梁7上,两组硅片3分别伸进取片架内;将脱胶支架放入温水中进行脱胶;待脱胶完成后,卸下晶托,使用机器钩挂其中一组取片架的一组勾手11,将整租硅片3取出放至塑料盆中;拆卸取片架,即可完成一组硅片3的取放操作。进行另一组硅片3的取放操作,直至完成两组硅片3的取放操作。
本实用新型应用于多个晶托上的多组硅片3的脱胶清洗时效果最佳,尤其在使用切片机NTC442进行切割时。与NTC442配套的脱胶架恰好放置两个晶托,通常是将两组硅片3同时放入脱胶架中进行脱胶,这样应用本实用新型进行脱胶时,脱胶完成后分别取出两个取片架,完成取片放片操作即可,提高了工作效率,保证了硅片3的质量。
Claims (6)
1. 一种硅片脱胶支架,其特征在于包括架体(4),所述架体(4)内套有至少一组可从架体(4)上取出的取片架,所述取片架包括左挡板(9)、右挡板(10)、底部挡杆(6)和至少两个侧面挡杆(5),左挡板(9)和右挡板(10)分别位于取片架的两端,左挡板(9)和右挡板(10)之间的底部设有底部挡杆(6),左挡板(9)和右挡板(10)之间的两侧面分别设有侧面挡杆(5),左挡板(9)和右挡板(10)的外侧面或顶部分别固定有勾手(11);底部挡杆(6)、侧面挡杆(5)与左挡板(9)、右挡板(10)之间的连接方式为可拆卸式。
2. 根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架,其特征在于所述取片架的数量为2组。
3.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架,其特征在于所述底部挡杆(6)的数量为两个。
4. 根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架,其特征在于所述架体(4)的底部固定有支撑板(12),用于支撑取片架。
5. 根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架,其特征在于所述取片架的左右两边还设有架体把手(8)。
6.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶支架,其特征在于所述取片架的长度为360mm-380mm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201520327090.5U CN204632737U (zh) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 一种硅片脱胶支架 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201520327090.5U CN204632737U (zh) | 2015-05-20 | 2015-05-20 | 一种硅片脱胶支架 |
Publications (1)
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---|---|
CN204632737U true CN204632737U (zh) | 2015-09-09 |
Family
ID=54051736
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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