CN204566425U - 一种多线切割机的线辊装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体材料加工设备领域，具体是一种切割半导体材料的多线切割机的线辊装置，包括槽轮和金属线，所述的槽轮由内层的钢辊和外层的线槽结构组成，金属线通过线槽结构绕在槽轮上，一个线槽结构至少有两种槽间距。本实用新型能够切割出不同厚度产品节省了换线辊的时间，减轻了操作的工作量，减少了线辊的数目，降低了成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体材料加工设备领域，具体是一种切割半导体材料的多线切割机的线辊装置。
背景技术
多线切割是一种通过金属丝的高速往复运动，把磨料带入半导体加工区域进行切割，将半导体等硬脆材料一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。近年来多线切割技术逐步取代了传统的内圆切割技术和单线切割技术，在硅、蓝宝石、碳化硅、磁性材料等材料加工技术领域有着非常重要的应用，极大的提高了产业化的效率。在材料的加工过程中，根据下游产品或者客户的要求，往往需要不同厚度的产品。多线切割中，在切割线线径确定的条件下产品厚度是由槽间距决定的，厚度公式为：厚度＝槽间距-线径。现有的多线切割机的槽轮上的线槽结构只有一种槽间距，这样如果需要加工不同厚度的产品就需要更换相应槽间距的槽轮。导致工作量大，操作时间长，需要多个槽轮，加工成本高。
发明内容
本实用新型的目的是提出一种能够切割出不同厚度产品的多线切割机线辊装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种多线切割机的线辊装置，包括槽轮和金属线，所述的槽轮由内层的钢辊和外层的线槽结构组成，金属线通过线槽结构绕在槽轮上，一个线槽结构至少有两种槽间距。
多线切割机的一组槽轮和缠绕在槽轮上的金属线网构成了半导体加工区域，磨料进入半导体加工区域进行切割，由于槽轮上的线槽结构至少有两种不同的槽间距，所以最后得到的也是对应不同厚度的材料，从而能够实现不更换线辊就可以加工出不同厚度的材料，节省了时间，减少了工作量，降低了加工成本。
所述线槽结构是树脂材料制成的树脂线槽结构，当使用一段时间线槽结构磨损后，由于采用树脂材料制成，易于加工，可以先将线槽结构刮平，然后再重新开槽，这时就可以重新选定槽间距，实现重复利用。
本实用新型的有益效果为：用一组线辊就可以切割出不同厚度的产品，节省了换线辊的时间，减轻了操作的工作量，减少了线辊的数目，降低了成本。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图；
图2为图1中沿A-A面的剖视图；
其中，1、槽轮，2、金属线，3、钢辊，4、线槽结构，41、0.6mm段，42、0.8mm段，43、1.0mm段。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型公开了一种多线切割的线辊装置，包括槽轮1和金属线2，所述槽轮1有两个，平行设置，槽轮1由内层的钢辊3和外层的线槽结构4构成，金属线2能够平行地绕在线辊1上。所述的金属线，是普通钢线或者钻石线。如图2所示所述线槽结构4按槽间距的不同分三段，沿槽轮1的长度方向依次分布，分别为0.6mm段、0.8mm段、1mm段。所述的线槽结构4为树脂线槽结构。一根金属线2通过线槽结构3顺次绕在两个线辊1上，若干金属线形成了一个金属网。启动切割机，金属线2高速往复运动，材料被粘接在工作台上，通过工作台前进的方式进刀，材料被切成三组厚度不同的薄片。根据切割片厚度公式：厚度＝槽间距-线径，在线径0.24mm的条件下，衬底片的厚度分别为：0.35mm、0.55mm、0.75mm。
采用本实用新型切割后的晶片厚度情况及偏差如下表：
1#是要求切割0.35mm的4英寸SIC切割衬底片；2#是要求切割0.55mm的4英寸SIC切割衬底片；3#是要求切割0.75mm的4英寸SIC切割衬底片。
Claims (2)
1.一种多线切割机的线辊装置，包括槽轮(1)和金属线(2)，其特征在于：所述的槽轮(1)由内层的钢辊(3)和外层的线槽结构(4)组成，金属线(2)通过线槽结构(4)绕在槽轮(1)上，一个线槽结构(4)至少有两种槽间距。
2.根据权利要求1所述的一种多线切割机的线辊装置，其特征在于：所述线槽结构(4)为树脂线槽结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520285514.6U CN204566425U (zh) | 2015-05-05 | 2015-05-05 | 一种多线切割机的线辊装置 |
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Publications (1)
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| CN204566425U true CN204566425U (zh) | 2015-08-19 |
Family
ID=53859111
Family Applications (1)
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| CN201520285514.6U Active CN204566425U (zh) | 2015-05-05 | 2015-05-05 | 一种多线切割机的线辊装置 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN204566425U (zh) |
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2015
- 2015-05-05 CN CN201520285514.6U patent/CN204566425U/zh active Active
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