CN204506152U - 激光打标定位检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种激光打标定位检测装置，用于对晶圆打标时的打标位置进行检测，包括装置本体、设置于所述装置本体上的用于检测所述晶圆的打标位置是否正确的定位检测组件及与所述定位检测组件相对应的用于放置待打标晶圆的打标承座结构，所述打标承座结构包括用于放置晶圆的承座、与所述承座相互配合的用于压住待打标晶圆的压板、与所述压板装配在一起的用于将压板顶起的压板驱动结构、装设于所述装置本体上的用于将晶圆托住并进行移动的托住结构，该激光打标定位检测装置可以准确确定晶圆的打标位置，使得晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光标识技术领域，尤其涉及一种激光打标定位检测装置。
背景技术
随着晶圆的广泛使用，传统的晶圆标识的方法有：气动冲针、丝网印刷、机械压痕、喷墨打印、照相腐蚀、化学腐蚀等，这些加工方法都存在各种各样的不足与缺陷，缺乏激光打标定位检测装置，晶圆打标时的打标位置无法准确把握，打标出来的字不均匀，出现间隙与断隙，效率低下，现有技术已越来越不符合晶圆附加的加工要求。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种激光打标定位检测装置，该激光打标定位检测装置可以准确确定晶圆的打标位置，使得晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。
为解决上述技术问题，本实用新型提供的激光打标定位检测装置，用于对晶圆打标时的打标位置进行检测，包括装置本体、设置于所述装置本体上的用于检测所述晶圆的打标位置是否正确的定位检测组件及与所述定位检测组件相对应的用于放置待打标晶圆的打标承座结构，所述打标承座结构包括用于放置晶圆的承座、与所述承座相互配合的用于压住待打标晶圆的压板、与所述压板装配在一起的用于将压板顶起的压板驱动结构、装设于所述装置本体上的用于将晶圆托住并进行移动的托住结构。
优选地，所述定位检测组件包括装设于所述装置本体上的线性运动结构、用于对所述晶圆片的打标位置进行检测的CCD检测结构。
优选地，所述CCD检测结构包括装设于所述线性运动机构上的第一CCD摄像头、装设于所述装置本体上的第二CCD摄像头，装设于所述第一CCD摄像头上的用于使CCD摄像头拍出的晶圆打标点更加清晰的第一光源，装设于所述第二CCD摄像头上的用于使CCD摄像头拍出的晶圆打标点更加清晰的第二光源，所述第一CCD摄像头及第二CCD摄像头同轴设置。
优选地，所述线性运动机构包括装设于所述装置本体上的X轴移动结构、装设于所述X轴移动结构上的Y轴移动结构、装设于所述Y轴移动结构上的Z轴移动结构、若干装设于所述Z轴移动结构上的用于将所述压板进行吸起的真空吸嘴，所述X轴移动结构包括X轴直线电机、装设于X轴直线电机上的X轴移动台、X轴滑轨、与所述X轴滑轨装配在一起的X轴滑块，所述Y轴移动结构包括Y轴直线电机及装设于Y轴直线电机上的Y轴移动台、Y轴滑轨、与所述Y轴滑轨装配在一起的Y轴滑块，所述Z轴移动结构包括Z轴直线电机及装设于Z轴直线电机上的Z轴移动台、Z轴滑轨、与所述Z轴滑轨装配在一起的Z轴滑块，所述X轴移动台装设于所述X轴滑块上，所述Y轴移动台装设于所述Y轴滑块上，所述Z轴移动台装设于所述Z轴滑块上，所述第一CCD摄像头装设于所述Z轴移动结构上。
采用上述结构之后，首先将晶圆放置于承座上，压板将待打标的晶圆压住，线性运动机构驱动CCD检测结构对所述晶圆的打标位置进行检测，该激光打标定位检测装置可以准确确定晶圆的打标位置，使得晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。
附图说明
图1为本实用新型激光打标定位检测装置的结构示意图；
图2为本实用新型激光打标定位检测装置的立体透视图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
请参阅图1，图1为本实用新型激光打标定位检测装置的结构示意图；图2为本实用新型激光打标定位检测装置的立体透视图。
在本实施例中，激光打标定位检测装置10，包括装置本体13、设置于装置本体13上的用于检测所述晶圆的打标位置是否正确的定位检测组件12及与定位检测组件12相对应的用于放置待打标晶圆的打标承座结构11，打标承座结构11包括用于放置晶圆的承座112、与承座112相互配合的用于压住待打标晶圆的压板111、与压板111装配在一起的用于将压板111顶起的压板驱动结构、装设于所述装置本体13上的用于将晶圆托住并进行移动的托住结构。
定位检测组件12包括装设于所述装置本体上的线性运动结构121、用于对所述晶圆片的打标位置进行检测的CCD检测结构122。
CCD检测结构122包括装设于所述线性运动机构上的第一CCD摄像头、装设于所述装置本体上的第二CCD摄像头，装设于所述第一CCD摄像头上的用于使CCD摄像头拍出的晶圆打标点更加清晰的第一光源，装设于所述第二CCD摄像头上的用于使CCD摄像头拍出的晶圆打标点更加清晰的第二光源，所述第一CCD摄像头及第二CCD摄像头同轴设置。
线性运动机构121包括装设于所述装置本体上的X轴移动结构121b、装设于X轴移动结构121b上的Y轴移动结构121a、装设于所述Y轴移动结构121a上的Z轴移动结构121c、若干装设于Z轴移动结构121c上的用于将所述压板进行吸起的真空吸嘴，X轴移动结构121b包括X轴直线电机、装设于X轴直线电机上的X轴移动台、X轴滑轨、与所述X轴滑轨装配在一起的X轴滑块，Y轴移动结构121a包括Y轴直线电机及装设于Y轴直线电机上的Y轴移动台、Y轴滑轨、与所述Y轴滑轨装配在一起的Y轴滑块，Z轴移动结构121c包括Z轴直线电机及装设于Z轴直线电机上的Z轴移动台、Z轴滑轨、与所述Z轴滑轨装配在一起的Z轴滑块，所述X轴移动台装设于所述X轴滑块上，所述Y轴移动台装设于所述Y轴滑块上，所述Z轴移动台装设于所述Z轴滑块上，所述第一CCD摄像头装设于所述Z轴移动结构上。
采用上述结构之后，首先将晶圆放置于承座上，压板111将待打标的晶圆压住，线性运动机构121驱动CCD检测结构对所述晶圆的打标位置进行检测，该激光打标定位检测装置10可以准确确定晶圆的打标位置，使得晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。
应当理解的是，以上仅为本实用新型的优选实施例，不能因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (4)
1.激光打标定位检测装置，用于对晶圆打标时的打标位置进行检测，其特征在于：包括装置本体、设置于所述装置本体上的用于检测所述晶圆的打标位置是否正确的定位检测组件及与所述定位检测组件相对应的用于放置待打标晶圆的打标承座结构，所述打标承座结构包括用于放置晶圆的承座、与所述承座相互配合的用于压住待打标晶圆的压板、与所述压板装配在一起的用于将压板顶起的压板驱动结构、装设于所述装置本体上的用于将晶圆托住并进行移动的托住结构。
2.根据权利要求1所述的激光打标定位检测装置，其特征在于：所述定位检测组件包括装设于所述装置本体上的线性运动结构、用于对所述晶圆片的打标位置进行检测的CCD检测结构。
3.根据权利要求2所述的激光打标定位检测装置，其特征在于：所述CCD检测结构包括装设于所述线性运动机构上的第一CCD摄像头、装设于所述装置本体上的第二CCD摄像头，装设于所述第一CCD摄像头上的用于使CCD摄像头拍出的晶圆打标点更加清晰的第一光源，装设于所述第二CCD摄像头上的用于使CCD摄像头拍出的晶圆打标点更加清晰的第二光源，所述第一CCD摄像头及第二CCD摄像头同轴设置。
4.根据权利要求3所述的激光打标定位检测装置，其特征在于：所述线性运动机构包括装设于所述装置本体上的X轴移动结构、装设于所述X轴移动结构上的Y轴移动结构、装设于所述Y轴移动结构上的Z轴移动结构、若干装设于所述Z轴移动结构上的用于将所述压板进行吸起的真空吸嘴，所述X轴移动结构包括X轴直线电机、装设于X轴直线电机上的X轴移动台、X轴滑轨、与所述X轴滑轨装配在一起的X轴滑块，所述Y轴移动结构包括Y轴直线电机及装设于Y轴直线电机上的Y轴移动台、Y轴滑轨、与所述Y轴滑轨装配在一起的Y轴滑块，所述Z轴移动结构包括Z轴直线电机及装设于Z轴直线电机上的Z轴移动台、Z轴滑轨、与所述Z轴滑轨装配在一起的Z 轴滑块，所述X轴移动台装设于所述X轴滑块上，所述Y轴移动台装设于所述Y轴滑块上，所述Z轴移动台装设于所述Z轴滑块上，所述第一CCD摄像头装设于所述Z轴移动结构上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201520040036.2U CN204506152U (zh) | 2015-01-20 | 2015-01-20 | 激光打标定位检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201520040036.2U CN204506152U (zh) | 2015-01-20 | 2015-01-20 | 激光打标定位检测装置 |
Publications (1)
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|---|---|
| CN204506152U true CN204506152U (zh) | 2015-07-29 |
Family
ID=53704153
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN201520040036.2U Active CN204506152U (zh) | 2015-01-20 | 2015-01-20 | 激光打标定位检测装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN204506152U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106240164A (zh) * | 2016-08-30 | 2016-12-21 | 温州华邦安全封条股份有限公司 | 激光标记设备 |
| TWI607817B (zh) * | 2015-09-02 | 2017-12-11 | E&R Eng Corp | Laser printing apparatus and method |
| CN107953681A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-04-24 | 苏州猎奇智能设备有限公司 | 视觉引导打标机及视觉引导打标方法 |
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2015
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |