CN204504514U - 一种适用于晶圆的切割装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，包括承载托盘、传送带、切割模块和检料模块；所述传送带包括第一传送带和第二传送带；所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器；所述定位电缸包括x轴电缸、y轴电缸和z轴电缸；所述激光切割器位于x轴电缸上。本实用新型所达到的有益效果：采用来料检测模块进行监控是否有待加工的晶圆传送过来，当CCD检料模块检测到有晶圆时，控制模块启动第二传送带以及切割模块，这样可以节省一部分的能源浪费，x、y、z三轴电缸的设计可以使得激光切割器在切割的过程中更加容易定位，切割准确且效率高。同时，计数模块的加入能够方便工作人员的统计工作，大大地减少了工作量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种适用于晶圆的切割装置，属于晶圆切割技术领域。
背景技术
随着晶圆的使用需求越来越大，晶圆的加工生产的效率亟需提高。在现有技术中对晶圆大多是采用激光切割方式，这种方式不仅无污染而且效率高，但是在节能方面，由于激光切割本身的耗能就相对比较大，因此虽然效率高了，但是实际生产过程中的能源消耗也是很大的，给企业的生产提高了很大的成本。
实用新型内容
为解决现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种节省能源的晶圆切割装置。
为了实现上述目标，本实用新型采用如下的技术方案：
一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，包括承载托盘、传送带、切割模块和检料模块；所述承载托盘在传送带上传送；所述传送带包括第一传送带和第二传送带；所述检料模块设置在第一传送带上，所述切割模块设置在第二传送带上；所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器；所述定位电缸包括x轴电缸、y轴电缸和z轴电缸；所述激光切割器位于x轴电缸上。
前述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，所述x轴电缸的一端设置在所述z轴电缸上，所述z轴电缸设置在所述y轴电缸上。
前述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，所述y轴电缸的末端设置有z轴方向的滑轨，所述滑轨用于z轴电缸的垂直滑动。
前述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，还包括计数装置；所述计数装置设置在切割模块的后方。
前述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，所述y轴电缸的侧面设置有启动按钮和急停开关。
前述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，所述第一传送带和第二传送 带之间的距离为1-5mm；所述第一传送带的水平高度比第二传送带的水平高度高1-3mm。
本实用新型所达到的有益效果：采用来料检测模块进行监控是否有待加工的晶圆传送过来，当CCD检料模块检测到有晶圆时，控制模块启动第二传送带以及切割模块，这样可以节省一部分的能源浪费，x、y、z三轴电缸的设计可以使得激光切割器在切割的过程中更加容易定位，切割准确且效率高。同时，计数模块的加入能够方便工作人员的统计工作，大大地减少了工作量。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中附图标记的含义：
1-检料模块，201-第一传送带，202-第二传送带，3-y轴电缸，4-滑轨，5-z轴电缸，6-x轴电缸，7-承载托盘，8-计数模块。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
本实用新型涉及的一种适用于晶圆的切割装置，包括承载托盘7、传送带、切割模块、检料模块1和计数装置。承载托盘7在传送带上传送。传送带包括第一传送带201和第二传送带2012，检料模块1设置在第一传送带201上，切割模块设置在第二传送带202上。计数装置8设置在切割模块的后方，能够方便工作人员的统计工作，大大地减少了工作量，计数装置8可以采用红外激光原理进行计数。
如图1，切割模块包括定位电缸和激光切割器。定位电缸包括x轴电缸6、y轴电缸3和z轴电缸5。激光切割器位于x轴电缸6上。x轴电缸6的一端设置在z轴电缸5上，z轴电缸5设置在y轴电缸3上。y轴电缸3的末端设置有z轴方向的滑轨4，滑轨4用于z轴电缸5的垂直滑动。这样z轴电缸5在滑轨4上进行垂直方向也就是z轴方向的滑动，在y轴电缸3上进行y轴方向的滑动，x轴电缸6在z轴电缸5上进行x轴方向的滑动。整个定位电缸只有y轴电缸3是固定不动的。y轴电缸3的侧面设置有启动按钮和急停开关，用作紧急状况下 的备用按钮。
检料模块1包括控制模块和CCD检料模块。控制模块用于控制第二传送带202的启动和切割模块的运作。检料模块1进行监控是否有待加工的晶圆传送过来，当CCD检料模块检测到有晶圆时，控制模块启动第二传送带202，可以节省一部分的能源浪费，x、y、z三轴电缸的设计可以使得激光切割器在切割的过程中更加容易定位，切割准确且效率高。
第一传送带201和第二传送带202相互独立工作，两者之间的距离为1-5mm，这样便于承载托盘从第一传送带201和传动到第二传送带202。进一步地，第一传送带201的水平高度比第二传送带202的水平高度高1-3mm以便以承载托盘平稳地过渡。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，包括承载托盘、传送带、切割模块和检料模块；所述承载托盘在传送带上传送；所述传送带包括第一传送带和第二传送带；所述检料模块设置在第一传送带上，所述切割模块设置在第二传送带上；所述切割模块包括定位电缸和位于所述定位电缸上的激光切割器；所述定位电缸包括x轴电缸、y轴电缸和z轴电缸；所述激光切割器位于x轴电缸上。
2.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，所述x轴电缸的一端设置在所述z轴电缸上，所述z轴电缸设置在所述y轴电缸上。
3.根据权利要求2所述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，所述y轴电缸的末端设置有z轴方向的滑轨，所述滑轨用于z轴电缸的垂直滑动。
4.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，还包括计数装置；所述计数装置设置在切割模块的后方。
5.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，所述y轴电缸的侧面设置有启动按钮和急停开关。
6.根据权利要求1所述的一种适用于晶圆的切割装置，其特征是，所述第一传送带和第二传送带之间的距离为1-5mm；所述第一传送带的水平高度比第二传送带的水平高度高1-3mm。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104551416A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-29 | 苏州凯锝微电子有限公司 | 一种适用于晶圆的切割装置 |
| CN108312368A (zh) * | 2018-04-28 | 2018-07-24 | 高志浩 | 一种墙板切割计数一体机 |
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2014
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