CN204454599U - 一种用于石墨烯生长的载具 - Google Patents
一种用于石墨烯生长的载具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204454599U CN204454599U CN201520111940.8U CN201520111940U CN204454599U CN 204454599 U CN204454599 U CN 204454599U CN 201520111940 U CN201520111940 U CN 201520111940U CN 204454599 U CN204454599 U CN 204454599U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- carbon
- carrier
- thin plate
- block board
- growth substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种用于石墨烯生长的载具，载具包括立方体框架，立方体框架的底端上设有底挡板，立方体框架相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板，两个侧挡板相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽，两个侧挡板上的侧挡板槽分别一一对应，在立方体框架设有侧挡板的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽，立方体框架的顶端设有若干横向石英棒，相邻的两个横向石英棒之间设有碳碳复合材料薄板，碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板的侧挡板槽内。将生长基底铺设在碳碳复合材料薄板上，将纵向石英棒依次穿过碳碳复合材料薄板和生长基底后，将生长基底置于载具上，有效防止生长基底粘连，提升炉体加工产能。
Description
技术领域
本实用新型涉及石墨烯制备技术领域，尤其涉及一种用于石墨烯生长的载具。
背景技术
石墨烯薄膜产业化中，石墨烯生长多采用半导体产业的炉管设备，部分生长基底因厚度薄导致柔软无硬度，半导体产业炉管设备的承载载具无法承载，而且高温下，部分生长基底会软化容易导致部分生长基底与部分生长基底之间的粘连。半导体产业炉管的载具都是采用托举方式设计，依赖于硅片自身的硬度和厚度，硅片厚度为2mm到6mm,整个硅片质地坚硬，不能卷曲。石墨烯生长用的金属箔片厚度在25um到80um之间，金属箔片硬度相对较小，柔软，易成卷，使得炉管载具无法支撑住金属箔片，金属箔片生长基底在制备石墨烯的过程中容易出现相互粘连的现象，影响石墨烯的制备，同时造成材料的浪费。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种能避免金属箔片生长基底在制备石墨烯的过程中出现粘连现象的用于石墨烯生长的载具。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种用于石墨烯生长的载具，包括立方体框架，所述立方体框架的底端上设有底挡板，所述立方体框架相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板，两个所述侧挡板相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽，两个所述侧挡板上的所述侧挡板槽分别一一对应，在所述立方体框架设有所述侧挡板的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽，所述立方体框架的顶端设有若干横向石英棒，所述横向石英棒的两端分别设在两个不同侧面顶边上的所述固定槽内，相邻的两个所述横向石英棒之间设有碳碳复合材料薄板，所述碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板的侧挡板槽内。
本实用新型的有益效果是：将生长基底铺设在碳碳复合材料薄板上，将纵向石英棒依次穿过碳碳复合材料薄板和生长基底后，将生长基底置于载具上，使得所述纵向石英棒置于所述横向石英棒的定位槽内，所述生长基底的两个侧边分别置于两个所述侧挡板上的所述侧挡板槽内，通过槽壁对生长基底进行隔壁，有效防止生长基底粘连，节省空间和重量，提升炉体加工产能，不用其他工具，可减轻载具整体重量，固定槽的是设置能很好地对横向石英棒进行定位，避免横向石英棒在立方体框架的顶端上移动。
在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。
进一步，所述碳碳复合材料薄板的上表面上设有若干水平设置的纵向石英棒，所述纵向石英棒与所述横向石英棒垂直设置。
进一步，所述侧挡板槽为倾斜设置的条形槽。
进一步，所述侧挡板槽倾斜角度为15度至25度。
采用上述进一步方案的有益效果是：所述侧挡板槽和所述底挡板槽采用竖直设置或倾斜设置的条形槽均能实现对生长基底的隔离。
进一步，所述碳碳复合材料薄板上均匀设有若干定位槽，所述纵向石英棒置于所述碳碳复合材料薄板的定位槽内。
采用上述进一步方案的有益效果是：通过定位槽能避免纵向石英棒在横向石英棒上移动。
进一步，相邻的两个所述侧挡板槽之间的槽间距为4.5mm至6.0mm。
进一步，所述侧挡板槽的槽深为25mm至55mm。
进一步，所述立方体框架的材质为石英。
一种制备石墨烯的方法，该方法通过使用上述载具制备石墨烯，包括以下步骤:
步骤一，在切好的生长基底的上部与所述纵向石英棒相对应的位置上打孔；
步骤二，将所述生长基底铺设在所述碳碳复合材料薄板上，所述纵向石英棒穿过所述生长基底的上部的固定孔后将所述纵向石英棒放置在所述碳碳复合材料薄板上，使得所述生长基底的两侧分别与所述碳碳复合材料薄板的两侧置于两个所述侧挡板上的同一所述侧挡板槽内；
步骤三，将装载有生长基底的载具放置于石墨烯生长装置中，使得载具设有侧挡板的一面朝向石墨烯生长装置的进气口，采用化学气相沉积法沉积石墨烯薄膜；
步骤四，待石墨烯生长完成后，将载具从石墨烯生长装置中取出，将所述生长基底从载具上取下，即得生长有石墨烯的生长基底。
采用上述进一步方案的有益效果是：将纵向石英棒穿过生长基底后，将生长基底置于载具上，使得所述横向石英棒的两端分别设在两个不同侧边的顶边上的所述固定槽内，纵向石英棒置于所述横向石英棒上，所述生长基底的两个侧边分别置于两个所述侧挡板上的所述侧挡板槽内，通过槽壁对生长基底进行隔壁，有效防止生长基底在制备石墨烯的过程中发生粘连，节省空间和重量，提升炉体加工产能，不用其他工具，可减轻载具整体重量。
进一步，所述步骤一中所述生长基底上孔的数量为两个或两个以上，且与所述纵向石英棒的数量相同。
采用上述进一步方案的有益效果是：通过两个或两个以上孔能对生长基底有效固定。
进一步，所述步骤二中相邻的所述生长基底的顶部通过所述横向石英棒进行隔离。
进一步，所述步骤一中的所述生长基底为铜箔。
进一步，所述步骤一中所述生长基底上的孔的孔径为3mm至7mm。
进一步，所述步骤一中所述生长基底上的孔的孔距为60mm至80mm。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的碳碳复合材料薄板的结构示意图；
图3为本实用新型的生长基底的结构示意图；
图4为本实用新型使用示意图；
附图中，各标号所代表的部件列表如下：
1、立方体框架，2、底挡板，3、侧挡板，4、侧挡板槽，5、固定槽，6、横向石英棒，7、碳碳复合材料薄板，8、定位槽，9、固定孔，10、纵向石英棒，11、生长基底。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。
如图1、图2、图3所示，本实用新型包括立方体框架1，所述立方体框架1的底端上设有底挡板2，所述立方体框架1相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板3，两个所述侧挡板3相互朝向的一面上均设有均匀排布的若干侧挡板槽4，两个所述侧挡板3上的所述侧挡板槽4分别一一对应，在所述立方体框架1设有所述侧挡板3的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽5，所述立方体框架1的顶端设有横向石英棒6，所述横向石英棒6的两端分别设在两个不同侧面顶边上的所述固定槽5内，相邻的两个所述横向石英棒6之间设有碳碳复合材料薄板7，所述碳碳复合材料薄板7的两侧边分别设在两个侧挡板3的侧挡板槽4内。
所述横向石英棒6的上表面上设有若干水平设置的纵向石英棒10，所述纵向石英棒10与所述横向石英棒6垂直设置，所述碳碳复合材料薄板的上部均设有与所述纵向石英棒10相对应的固定孔，所述纵向石英棒10穿过所述固定孔。所述侧挡板槽4为倾斜设置的条形槽。所述侧挡板槽4的倾斜角度为15度至25度。所述碳碳复合材料薄板7上均匀设有若干定位槽8，所述纵向石英棒10置于所述碳碳复合材料薄板7的定位槽8内。相邻的两个所述侧挡板槽4之间的槽间距为4.5mm至6.0mm。所述侧挡板槽4的槽深为25mm至55mm。
一种制备石墨烯的方法，该方法通过使用上述载具制备石墨烯，包括以下步骤:
步骤一，在切好的生长基底11的上部与所述纵向石英棒10相对应的位置上打固定孔9；
步骤二，将所述生长基底11铺设在所述碳碳复合材料薄板7上，所述纵向石英棒10穿过所述生长基底11的上部的固定孔9后将所述纵向石英棒10放置在所述碳碳复合材料薄板7上，使得所述生长基底11的两侧分别与所述碳碳复合材料薄板7的两侧置于两个所述侧挡板3上的同一所述侧挡板槽4内，如图4所示；
步骤三，将装载有生长基底11的载具放置于石墨烯生长装置中，使得载具设有侧挡板3的一面朝向石墨烯生长装置的进气口，采用化学气相沉积法沉积石墨烯薄膜；
步骤四，待石墨烯生长完成后，将载具从石墨烯生长装置中取出，将所述生长基底11从载具上取下，即得生长有石墨烯的生长基底11。
所述步骤二中相邻的所述生长基底11的顶部通过所述横向石英棒6进行隔离。所述步骤一中所述生长基底11上打固定孔9的数量为两个或两个以上，且与所述纵向石英棒10的数量相同。所述步骤一中的所述生长基底11为铜箔，所述步骤一中所述生长基底11上的固定孔9的固定孔9径为3mm至7mm，所述步骤一中所述生长基底11上的固定孔9的固定孔9距为60mm至80mm。
本实用新型将生长基底11铺设在碳碳复合材料薄板7上，将纵向石英棒10依次穿过碳碳复合材料薄板7和生长基底11后，将生长基底11置于载具上，使得所述纵向石英棒10置于所述横向石英棒6的所述定位槽8内，所述生长基底11的两个侧边分别置于两个所述侧挡板3上的所述侧挡板槽4内，通过槽壁对生长基底11进行隔壁，有效防止生长基底11粘连，节省空间和重量，提升炉体加工产能，不用其他工具，可减轻载具整体重量，固定槽5的是设置能很好地对横向石英棒6进行定位，避免横向石英棒6在立方体框架1的顶端上移动。所述侧挡板槽4采用倾斜设置的条形槽均能实现对生长基底11的隔离。通过定位槽8能避免纵向石英棒10在横向石英棒6上移动。通过两个或两个以上固定孔9能对生长基底11有效固定。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种用于石墨烯生长的载具，其特征在于，包括立方体框架(1)，所述立方体框架(1)的底端上设有底挡板(2)，所述立方体框架(1)相对的两个侧面的内侧上均设有侧挡板(3)，两个所述侧挡板(3)相互朝向的一面上均设有若干均匀排布的侧挡板槽(4)，两个所述侧挡板(3)上的所述侧挡板槽(4)分别一一对应，在所述立方体框架(1)设有所述侧挡板(3)的两个侧面的顶边上均设有若干固定槽(5)，所述立方体框架(1)的顶端设有若干横向石英棒(6)，所述横向石英棒(6)的两端分别设在两个不同侧面顶边上的所述固定槽(5)内，相邻的两个所述横向石英棒(6)之间设有碳碳复合材料薄板(7)，所述碳碳复合材料薄板的两侧边分别设在两个侧挡板(3)的侧挡板槽(4)内。
2.根据权利要求1所述的一种用于石墨烯生长的载具，其特征在于，所述碳碳复合材料薄板(7)的上表面上设有若干水平设置的纵向石英棒(10)，所述纵向石英棒(10)与所述横向石英棒(6)垂直设置。
3.根据权利要求2所述的一种用于石墨烯生长的载具，其特征在于，所述侧挡板槽(4)为倾斜设置的条形槽。
4.根据权利要求3所述的一种用于石墨烯生长的载具，其特征在于，所述侧挡板槽(4)的倾斜角度为15度至25度。
5.根据权利要求2或3所述的一种用于石墨烯生长的载具，其特征在于，相邻的两个所述侧挡板槽之间的槽间距为4.5mm至6.0mm。
6.根据权利要求2或3所述的一种用于石墨烯生长的载具，其特征在，所述侧挡板槽的槽深为25mm至55mm。
7.根据权利要求2所述的一种用于石墨烯生长的载具，其特征在于，所述碳碳复合材料薄板(7)上均匀设有若干定位槽(8)，所述纵向石 英棒(10)置于所述碳碳复合材料薄板(7)的定位槽(8)内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520111940.8U CN204454599U (zh) | 2015-02-15 | 2015-02-15 | 一种用于石墨烯生长的载具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201520111940.8U CN204454599U (zh) | 2015-02-15 | 2015-02-15 | 一种用于石墨烯生长的载具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN204454599U true CN204454599U (zh) | 2015-07-08 |
Family
ID=53661514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520111940.8U Active CN204454599U (zh) | 2015-02-15 | 2015-02-15 | 一种用于石墨烯生长的载具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN204454599U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104609416A (zh) * | 2015-02-15 | 2015-05-13 | 重庆墨希科技有限公司 | 一种用于石墨烯生长的载具以及制备石墨烯的方法 |
-
2015
- 2015-02-15 CN CN201520111940.8U patent/CN204454599U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104609416A (zh) * | 2015-02-15 | 2015-05-13 | 重庆墨希科技有限公司 | 一种用于石墨烯生长的载具以及制备石墨烯的方法 |
| CN104609416B (zh) * | 2015-02-15 | 2017-01-18 | 重庆墨希科技有限公司 | 一种用于石墨烯生长的载具以及制备石墨烯的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN206505899U (zh) | 一种管式镀膜水平石墨舟 | |
| WO2013129558A8 (ja) | 培養液交換機能を備えた細胞培養装置 | |
| CN104538333A (zh) | 一种消除晶圆片翘曲的托盘 | |
| CN204454599U (zh) | 一种用于石墨烯生长的载具 | |
| CN104609416A (zh) | 一种用于石墨烯生长的载具以及制备石墨烯的方法 | |
| CN104477899B (zh) | 一种制备石墨烯的夹具以及制备石墨烯的方法 | |
| CN205035357U (zh) | 一种存放培养皿的装置 | |
| CN104465464A (zh) | 一种小尺寸硫化镉单晶片超声清洗架 | |
| CN103088408A (zh) | 改进的石墨坩埚 | |
| CN205035359U (zh) | 用于放置培养皿的装置 | |
| CN205588277U (zh) | 一种阀板加工用周转架 | |
| CN204265761U (zh) | 细胞爬片培养装置 | |
| CN203749111U (zh) | 一种酒杯架 | |
| CN102898045A (zh) | 一种用于真空玻璃的布点装置及其布点方法 | |
| CN202552003U (zh) | 一种用于冷冻精液或细胞的装置 | |
| CN205588276U (zh) | 一种阀体加工用周转架 | |
| CN204198737U (zh) | 细胞爬片实验专用培养皿 | |
| CN202954140U (zh) | 铸锭多晶炉的散热底板及具有其的铸锭多晶炉 | |
| CN107723238B (zh) | 一种细胞培养装置及其应用 | |
| CN201605273U (zh) | 半贴壁细胞培养皿 | |
| CN205035358U (zh) | 一种培养皿搁物架 | |
| CN206298577U (zh) | 适于培养皿转移专用的支架 | |
| CN202246856U (zh) | 化学气相薄膜沉积设备 | |
| CN204918616U (zh) | 细胞培养瓶托架 | |
| CN207062420U (zh) | 组合底板及含有该组合底板的多晶硅铸锭炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |