CN204405271U - 适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。本实用新型检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
Description
技术领域
本实用新型属于质谱仪领域，具体涉及一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪。
背景技术
氦质谱检漏法是利用氦质谱检漏仪的氦分压力测量原理，实现被检件的氦泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体氦气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入氦质谱检漏仪后，由于氦质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的氦气分压力信号值。在获得氦气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对氦泄漏量。传统检漏仪不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，以解决上述方案中存在的不足。
为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：
一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪 ，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。
所述的质谱管上标准漏率棒与预抽阀之间设有吸枪口。
所述的前级真空压力泵与前级泵之间设有检漏阀。
本实用新型检测灵敏度高，可以精确定位，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
1-检漏口；2-检漏口压力阀；3-标准漏率棒4-质谱管； 5-预抽阀；6-前级泵；7-前级真空压力泵；8分子泵；9-质谱仪。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步地说明。
如图1所示，一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪 ，主要由检漏口1、检漏口压力阀2、标准漏率棒3、质谱管4、预抽阀5、前级泵6、前级真空压力泵7、分子泵8和质谱仪9组成，所述的检漏口1设置在质谱管4顶端、质谱管4右侧壁上端设有检漏口压力阀2、质谱管4上检漏口压力阀2下设有标准漏率棒3，前级泵6连接质谱管4，前级泵6上设有预抽阀5，前级真空压力泵7连接前级泵6，分子泵8连接前级真空压力泵7，质谱仪9连接分子泵8；所述的质谱管4上标准漏率棒3与预抽阀5之间设有吸枪口；所述的前级真空压力泵7与前级泵6之间设有检漏阀。
Claims (3)
1.一种适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪 ，主要由检漏口、检漏口压力阀、标准漏率棒、质谱管、吸枪口、预抽阀、前级泵、前级真空压力泵、分子泵和质谱仪组成，其特征在于：所述的检漏口设置在质谱管顶端、质谱管右侧壁上端设有检漏口压力阀、质谱管上检漏口压力阀下设有标准漏率棒，前级泵连接质谱管，前级泵上设有预抽阀，前级真空压力泵连接前级泵，分子泵连接前级真空压力泵，质谱仪连接分子泵。
2.根据权利要求1所述的适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，其特征在于：所述的质谱管上标准漏率棒与预抽阀之间设有吸枪口。
3.根据权利要求1所述的适用于复杂结构的氦质谱仪检漏仪，其特征在于：所述的前级真空压力泵与前级泵之间设有检漏阀。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN114646432A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-06-21 | 苏州中科科美科技有限公司 | 一种构件分区检漏箱体组件、联合组件、检漏系统、检漏方法 |
| CN117928845A (zh) * | 2023-12-12 | 2024-04-26 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种适于高效除氦的氦质谱检漏仪及其检漏方法 |
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| CN114646432A (zh) * | 2022-03-24 | 2022-06-21 | 苏州中科科美科技有限公司 | 一种构件分区检漏箱体组件、联合组件、检漏系统、检漏方法 |
| CN114646432B (zh) * | 2022-03-24 | 2023-02-17 | 苏州中科科美科技有限公司 | 一种构件分区检漏箱体组件、联合组件、检漏系统、检漏方法 |
| CN117928845A (zh) * | 2023-12-12 | 2024-04-26 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种适于高效除氦的氦质谱检漏仪及其检漏方法 |
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Legal Events
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Lianyungang Xinjiang Environment Protection material Co., Ltd. Assignor: Xiang Peng Contract record no.: 2015320000515 Denomination of utility model: Helium mass spectrometer leak detector for complicated structure Granted publication date: 20150617 License type: Exclusive License Record date: 20150629 |
|
| LICC | Enforcement, change and cancellation of record of contracts on the licence for exploitation of a patent or utility model | ||
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