CN204385287U - 卧式旋转柱靶 - Google Patents
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Abstract
一种卧式旋转柱靶，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动，新型结构的卧式旋转靶，充分考虑了靶的利用率、挠度等问题，使靶在镀制过程中不断缓慢旋转，既保证了靶的正常溅射，又最大限度的节约了材料，整个过程稳定、快速。
Description
技术领域
本实用新型主要涉及一种玻璃镀膜设备，尤其是一种卧式旋转柱靶。
背景技术
传统镀膜机，磁控溅射多使用平面靶和立式旋转柱靶。平面靶的优点在于设计安装相对简单，属于固定式安装。但其靶材浪费较严重，一般平面靶材的利用率仅有30%左右。立式旋转柱靶可极大的提高靶材的利用率，但由于涉及到传动机构和动密封，设计安装相对复杂一些。
对于中高温太阳能集热管，由于需要镀膜的管子长4m以上，为保证镀膜质量，镀制所需要的靶长至少需要5~6m。这样长的靶如采用传统的立式旋转结构，受设备和厂地限制，很难实现，只有采用卧式。而卧式靶如果不旋转，就类似于普通的平面靶，不可避免地造成平面靶材的浪费。对于中高温太阳能集热管来说，靶材直接关系到其吸收率发射率指标，是决定最终使用性能的关键因素之一。加之靶材本身价格较昂贵，因此采用合理的结构，最大限度地提高靶材的利用率，就要采用旋转柱状靶。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种考虑了靶的利用率、挠度等问题，使靶在镀制过程中不断缓慢旋转，既保证了靶的正常溅射，又最大限度的节约了材料的卧式旋转柱靶。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种卧式旋转靶，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动。
本实用新型改进有，所述主动轴通过第一齿轮副带动同步轴转动。
本实用新型改进有，所述同步轴通过第二齿轮副带动靶材转动。
本实用新型改进有，所述支撑件包括支撑架及支撑轮，所述支撑架为V形，支撑轮可转动的设置在V形的两边。
本实用新型改进有，所述所述支撑轮的材质为陶瓷。
本实用新型改进有，所述磁流体靠进靶材端部位置设置有冷水套。
本实用新型的有益效果具体如下：新型结构的卧式旋转靶，充分考虑了靶的利用率、挠度等问题，使靶在镀制过程中不断缓慢旋转，既保证了靶的正常溅射，又最大限度的节约了材料，整个过程稳定、快速。
附图说明
附图1为本实用新型的卧式旋转靶的结构示意图；
附图2为本实用新型的卧式旋转靶的支撑件的结构示意图。
标号说明：1-真空腔体； 2-电机； 3-主动轴； 4-动密封件； 5-第一齿轮副； 6-第二齿轮副； 7-同步轴； 8-磁流体； 9-靶材； 10-支撑件； 101-支撑架； 102-支撑轮。
具体实施方式
为详细说明本实用新型的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
请参阅附图1，附图所示本实用新型提供一种卧式旋转靶，包括机架，所述机架上设置有真空腔体1及电机2，所述电机2固定在真空腔体1外，电机2的主动轴3伸入真空腔体1，并通过动密封件4与真空腔体1相连，所述真空腔体1内设置有同步轴7、靶材9、支撑件10及磁流体8，所述靶材9的两端分别于磁流体相连，所述靶材9的中部由支撑件10支撑，所述同步轴7由主动轴3带动转动，同步轴7的转动带动靶材9转动。
正常使用时，首先启动电机2，电机2在本实施例中不做限制，可以是步进电机、伺服电机等，电机2在转动时，带动主动轴3转动，电机2的驱动轴与主动轴3之间通过联轴器相连，其是绝缘连接，主动轴3通过密封件与真空腔体1的侧壁相连，保证了主动轴3在转动的过程中也不会有空气从主动轴3与侧壁的连接处进入真空腔体1内。
主动轴3通过第一齿轮副5带动同步轴7转动，第一齿轮副5包括第一主动轮及第一从动轮，所述第一主动轮与第一从动轮啮合，第一主动轮固定在主动轴3上，第一从动轮固定在同步轴7上，具体的，通过键连接实现两者的固定，当主动轮转动时，带动第一主动轮同步转动，通过第一从动轮带动同步轴7转动，主动轴3与第一齿轮副5保持绝缘。
所述同步轴7通过第二齿轮副6带动靶材9转动，第二齿轮副6包括两对第二主动齿轮及第二从动齿轮，具体的，第二主动齿轮设置在同步轴7的两端，第二从动齿轮设置在靶材9的两端，当电机2带动同步轴7转动时即会带动第二主动齿轮的转动，同时带动靶材9的转动，靶材9的长度在5-6m，旋转速度一般控制为0.25转/分～2转/分，通过将第二齿轮副6将主动力同步传动到靶的两端，保证两端同步。
由于靶材9的长度较长，为了解决长靶的挠度问题，本实施例中设置有支撑件10，所述支撑件10包括支撑架101及支撑轮102，所述支撑架101为V形，支撑轮102可转动的设置在V形支撑架的两边，这种结构是因为支撑的那部分靶材9也需要溅射，所以支撑件10必须是开放式的，不能遮挡靶材9的溅射部分。
又因靶本身是带电的，支撑件10需要与其绝缘，本设计中在靶材9的下部采用一对耐高温陶瓷滚珠，可随靶材9的旋转一起旋转，减少摩擦的同时，也不影响靶材9溅射，当然，其他实施例中，所述支撑轮也可以是橡胶轮等，同样能实现靶材的转动。
靶材9的两端采用磁流体8密封，磁流体8采用的是真空动密封（磁流体8的支撑通过陶瓷件与真空腔体1绝缘），磁流体8密封技术是在磁性流体的基础上发展而来的，当磁流体8注入磁场的间隙时，它可以充满整个间隙，形成一种“液体的O型密封圈”。磁流体8密封装置的功能是把旋转运动传递到密封容器内，磁流体8为较好的真空动密封件4，其漏率可达1×10-10Pa·L/s，无磨损，长寿命，极限真空度10-6Pa，只是其工作温度不能太高。一般情况下为保证磁流体8正常工作，温度不能超过80℃。而靶由于进行磁控溅射，瞬间温度可达1000℃以上，因此必须对磁流体8进行冷却，本实施例中，在磁流体8靠近靶材9端部的位置加冷水套，对磁流体8进行冷却。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种卧式旋转柱靶，其特征在于，包括机架，所述机架上设置有真空腔体及电机，所述电机固定在真空腔体外，电机的主动轴伸入真空腔体，并通过动密封件与真空腔体相连，所述真空腔体内设置有同步轴、靶材、支撑件及磁流体，所述靶材的两端分别于磁流体相连，所述靶材的中部由支撑件支撑，所述同步轴由主动轴带动转动，同步轴的转动带动靶材转动。
2. 根据权利要求1所述的卧式旋转柱靶，其特征在于，所述主动轴通过第一齿轮副带动同步轴转动。
3. 根据权利要求1所述的卧式旋转柱靶，其特征在于，所述同步轴通过第二齿轮副带动靶材转动。
4. 根据权利要求1所述的卧式旋转柱靶，其特征在于，所述支撑件包括支撑架及支撑轮，所述支撑架为V形，支撑轮可转动的设置在V形的两边。
5. 根据权利要求4所述的卧式旋转柱靶，其特征在于，所述所述支撑轮的材质为陶瓷。
6. 根据权利要求1所述的卧式旋转柱靶，其特征在于，所述磁流体靠近靶材端部位置设置有冷水套。
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Country Status (1)
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108449859A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-08-24 | 西北核技术研究所 | 用于真空中的轮轴式粒子加速器降能装置及其降能方法 |
| CN109423629A (zh) * | 2017-08-31 | 2019-03-05 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉 |
| CN110527966A (zh) * | 2019-09-05 | 2019-12-03 | 西安交通大学 | 一种用于长管镀膜的卧式磁控溅射设备 |
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2014
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| CN109423629B (zh) * | 2017-08-31 | 2021-05-04 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 | 圆盘类零件一次性全表面沉积用工件驱动装置及气相沉积炉 |
| CN108449859A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-08-24 | 西北核技术研究所 | 用于真空中的轮轴式粒子加速器降能装置及其降能方法 |
| CN110527966A (zh) * | 2019-09-05 | 2019-12-03 | 西安交通大学 | 一种用于长管镀膜的卧式磁控溅射设备 |
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