CN204382108U - 实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，包括真空喷砂机的砂尘过滤箱，而其：还包括砂灰沉积箱和由若干个喷淋头组成的水雾除尘装置；所述砂尘过滤箱与砂灰沉积箱顶部所设的进风口，经由管路相连通；所述砂灰沉积箱的顶部设有排气口，在其底下部位设有排水口；所述水雾除尘装置设在砂灰沉积箱的进风口部位且沿进风口圆周方向分开布置，而喷淋头通过水阀与水源连通；在工况下，来自砂尘过滤箱的废气，通过水雾除尘装置所生成的水雾，吸附掉其中所夹带的微细砂灰后进入砂灰沉积箱并由排气口排空；而夹带微细砂灰的污水，通过砂灰沉积箱沉淀后由排水口排出。本实用新型具有能吸附拦截直径小于3微米细微粉尘颗粒等优点。

Description

实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置

技术领域

本实用新型涉及一种吸灰装置，具体涉及一种用于半导体硅片制造业实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置。

背景技术

现有的真空喷砂机是用压缩气体使金刚砂产生一定的冲击力以达到对硅片的减薄作用，在此过程中会产生大量的粉尘，已有技术中是直接通过真空喷砂机的砂尘过滤箱进行一次除灰排尘的，并且大量的粉尘是在过滤后直接排入大气中的；而所述的砂尘过滤箱是由多重纱布袋构成的，该种结构的砂尘过滤箱只能过滤直径大于3微米的细微颗粒粉尘，而直径小于3微米的微颗粒粉尘就不容易被砂尘过滤箱所过滤，因此，还是会存有大量直径小于3微米的细微粉尘颗粒被排入大气中，造成了一定的环境影响。

发明内容

本实用新型的目的是：提供一种能吸附拦截直径小于3微米细微粉尘颗粒，且除尘效果好的实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，以克服现有技术的不足。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是：一种实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，包括真空喷砂机的砂尘过滤箱，而其：还包括砂灰沉积箱和由若干个喷淋头组成的水雾除尘装置；

所述砂尘过滤箱与砂灰沉积箱顶部所设的进风口，经由管路相连通；

所述砂灰沉积箱的顶部设有排气口，在其底下部位设有排水口；

所述水雾除尘装置设在砂灰沉积箱的进风口部位且其若干个喷淋头沿进风口圆周方向分开布置，而喷淋头通过水阀与水源连通；

在工况下，来自砂尘过滤箱的废气，通过水雾除尘装置所生成的水雾，吸附掉其中所夹带的微细砂灰后进入砂灰沉积箱并由排气口排空；而夹带微细砂灰的污水，通过砂灰沉积箱沉淀后由排水口排出。

在上述技术方案中，在连通砂尘过滤箱和砂灰沉积箱的管路上，还设有风机。

在上述技术方案中，还包括污水处理站和回用水站，所述污水处理站与砂灰沉积箱的排水口管路连接；经污水处理站处理生成的回用水，与回用水站管路连接；回用水站经由水泵与水雾除尘装置的喷淋头管路连接。

在上述技术方案中，所述砂灰沉积箱顶部的排气口，与垂直布置的具有风帽的排气管相连接。

在上述技术方案中，所述喷淋头的个数控制在4～25个范围内。

本实用新型所具有的积极效果是：当真空喷砂机在使用过程中产生大量的粉尘经过砂尘过滤箱的除灰排尘后，在工况下，来自砂尘过滤箱的废气，通过水雾除尘装置所生成的水雾，吸附掉其中所夹带的微细砂灰后进入砂灰沉积箱并由排气口排空；而夹带微细砂灰的污水，通过砂灰沉积箱沉淀后由排水口排出；本实用新型不仅造价成本低，而且能吸附拦截直径小于3微米细微粉尘颗粒，使得除灰效果好，并且环保，实现了本实用新型的目的。

附图说明

图1是本实用新型一种具体实施方式的结构示意图；

图2是本实用新型若干个喷淋头布置示意图。

具体实施方式

以下结合附图以及给出的实施例，对本实用新型作进一步的说明，但并不局限于此。

如图1、2所示，一种实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，包括真空喷砂机6的砂尘过滤箱6-1，而其：还包括砂灰沉积箱2和由若干个喷淋头3-1组成的水雾除尘装置3；

所述砂尘过滤箱6-1与砂灰沉积箱2顶部所设的进风口2-1，经由管路1相连通；

所述砂灰沉积箱2的顶部设有排气口2-2，在其底下部位设有排水口2-3；

所述水雾除尘装置3设在砂灰沉积箱2的进风口2-1部位且其若干个喷淋头3-1沿进风口2-1圆周方向分开布置，而喷淋头3-1通过水阀与水源（城市公共用水）连通；

在工况下，来自砂尘过滤箱6-1的废气，通过水雾除尘装置3所生成的水雾，吸附掉其中所夹带的微细砂灰后进入砂灰沉积箱2并由排气口2-2排空；而夹带微细砂灰的污水，通过砂灰沉积箱2沉淀后由排水口2-3排出。

如图1所示，为了除尘效果好，在连通砂尘过滤箱6-1和砂灰沉积箱2的管路1上，还设有风机1-1。

如图1所示，为了对水循环利用，节能环保，还包括污水处理站7和回用水站9，所述污水处理站7与砂灰沉积箱2的排水口2-3管路连接；经污水处理站7处理生成的回用水，与回用水站9管路连接；回用水站9经由水泵4-1与水雾除尘装置3的喷淋头3-1管路连接。

如图1所示，为了使得本实用新型更加合理，以及便于排气，所述砂灰沉积箱2顶部的排气口2-2，与垂直布置的具有风帽8-1的排气管8相连接。

本实用新型所述喷淋头3-1的个数控制在4～25个范围内。

本实用新型小试效果显示，不仅可靠性高，而且装配效率高，又便于维护。

Claims (5)

1.一种实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，包括真空喷砂机（6）的砂尘过滤箱（6-1），其特征在于：还包括砂灰沉积箱（2）和由若干个喷淋头（3-1）组成的水雾除尘装置（3）；

所述砂尘过滤箱（6-1）与砂灰沉积箱（2）顶部所设的进风口（2-1），经由管路（1）相连通；

所述砂灰沉积箱（2）的顶部设有排气口（2-2），在其底下部位设有排水口（2-3）；

所述水雾除尘装置（3）设在砂灰沉积箱（2）的进风口（2-1）部位且其若干个喷淋头（3-1）沿进风口（2-1）圆周方向分开布置，而喷淋头（3-1）通过水阀与水源连通；

在工况下，来自砂尘过滤箱（6-1）的废气，通过水雾除尘装置（3）所生成的水雾，吸附掉其中所夹带的微细砂灰后进入砂灰沉积箱（2）并由排气口（2-2）排空；而夹带微细砂灰的污水，通过砂灰沉积箱（2）沉淀后由排水口（2-3）排出。

2.根据权利要求1所述的实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，其特征在于：在连通砂尘过滤箱（6-1）和砂灰沉积箱（2）的管路（1）上，还设有风机（1-1）。

3.根据权利要求1或2所述的实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，其特征在于：还包括污水处理站（7）和回用水站（9），所述污水处理站（7）与砂灰沉积箱（2）的排水口（2-3）管路连接；经污水处理站（7）处理生成的回用水，与回用水站（9）管路连接；回用水站（9）经由水泵（4-1）与水雾除尘装置（3）的喷淋头（3-1）管路连接。

4.根据权利要求1或2所述的实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，其特征在于：所述砂灰沉积箱（2）顶部的排气口（2-2），与垂直布置的具有风帽（8-1）的排气管（8）相连接。

5.根据权利要求1所述的实施硅片减薄处理的真空喷砂机的二次除尘装置，其特征在于：所述喷淋头（3-1）的个数控制在4～25个范围内。