CN204347431U - 增压型纳米压印装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种增压型纳米压印装置,包括模腔以及设置于模腔上的加压机构,该加压机构包括:连接杆,其底端具有压制模腔的加压部;连杆机构,其包括至少两个连杆单元,该连杆机构的一端转动连接连接杆的顶端或者连接杆的底端以上部分、相对的另一端转动连接支撑单元;驱动单元,其动力输出端连接至少两个连杆单元之间的转动连接处。本实用新型与现有技术相比,其可以大大地增大对模腔的压制力度,从而可以有效地防止模腔的漏气等现象的发生。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种纳米压印装置,具体涉及一种增压型纳米压印装置。
背景技术
对于如何实现纳米压印,纳米压印装置是一种常见以及常用的装置。目前的纳米压印装置主要包括两大块,即模腔和加压机构。中国专利CN202916585U便公开了一种这种纳米压印装置,其加压机构主要包括了顶板以及固定于顶板上的气缸,气缸的活塞杆向下压住模腔的外盖来形成对其的加压,来保证模腔内部不至于出现漏气等现象。但是,这种加压机构,仅仅通过气缸实现加压,加压力度十分有限,还是十分容易出现模腔的漏气现象。
实用新型内容
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种可以有效形成对模腔的增压效果的增压型纳米压印装置。
为了达到上述目的,本实用新型的技术方案如下:
增压型纳米压印装置,包括模腔以及设置于模腔上的加压机构,该加压机构包括:
连接杆,其底端具有压制模腔的加压部;
连杆机构,其包括至少两个连杆单元,该连杆机构的一端转动连接连接杆的顶端或者连接杆的底端以上部分、相对的另一端转动连接支撑单元;
驱动单元,其动力输出端连接至少两个连杆单元之间的转动连接处。
本实用新型通过加入连接杆、连杆机构和驱动单元等改进,驱动单元通过其动力输出端把连杆机构从折弯状态拉回直立状态或者反方向的折弯状态,连接杆上的加压部便会受到连杆机构的带动而将模腔给压制住,如果需要不断地压紧,驱动单元只需要继续拉动连杆机构即可。
因此,本实用新型与现有技术相比,其可以大大地增大对模腔的压制力度,从而可以有效地防止模腔的漏气等现象的发生。
在上述技术方案的基础上,本实用新型还可以作如下改进:
作为优选的方案,上述的驱动单元包括气缸以及与该气缸的活塞杆连接的出力杆,该出力杆连接至少两个连杆单元之间的转动连接处。
采用上述优选的方案,可以通过气缸和出力杆的作用,加强对连杆机构的驱动力,从而使得加压机构对模腔的压制力度可以进一步地得到加强。
作为优选的方案,上述的连杆机构与连接杆之间通过鱼眼接头进行连接。
采用上述优选的方案,可以保证连杆机构与连接杆之间转动的顺畅,从而可以更有效地向连接杆以及加压部传递力。
作为优选的方案,上述的增压型纳米压印装置还包括架体,该架体包括多根柱体以及滑动连接于该柱体上的上模腔固定板,加压部固定连接该上模腔固定板。
采用上述优选的方案,可以提高对模腔压制的平稳,保证模腔四周的压制力的平均,从而进一步地提高加压机构对模腔的压制效果。
作为优选的方案,上述的加压部为块体。
采用上述优选的方案,可以更方便地形成对模腔的压制。
附图说明
图1为本实用新型的增压型纳米压印装置在开模状态下的结构示意图。
图2为本实用新型的增压型纳米压印装置在闭模状态下的结构示意图。
其中,1.模腔 2.连接杆 21.加压部 3.连杆机构 31.连杆单元 32.支撑单元 33.转动连接处 4.驱动单元 41.气缸 42.出力杆 5.架体 51.上模腔固定板 52.支撑板 53.柱体 531.线性轴承。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。
为了达到本实用新型的目的,如图1-2所示,在本实用新型的加压型纳米压印装置的其中一些实施方式中,包括模腔1以及设置于模腔1上的加压机构,该加压机构包括:连接杆2,其底端具有压制模腔1的加压部21;连杆机构3,其包括两个连杆单元31,该连杆机构3的一端通过铰接件或者是无油衬套和连接活动轴的组合等转动连接连接杆2的顶端,也可以是连接杆2的底端以上部分(即底端与顶端之间的部分)、连杆机构3相对的另一端通过铰接件或者是无油衬套和连接活动轴的组合等转动连接支撑单元32,该支撑单元32具体可以是如图所示的支撑板或者其他类似的,例如支撑架、支撑杆等;驱动单元4,其动力输出端通过铰接件或者是无油衬套和连接活动轴的组合等连接两个连杆单元31之间的转动连接处33。其中,连杆机构3的连杆单元31也可以根据需要设置三个或者更多个,例如一些安装高度较高的装置等情况。
本装置通过加入连接杆、连杆机构和驱动单元等改进,驱动单元通过其动力输出端把连杆机构从折弯状态拉回直立状态或者反方向的折弯状态,连接杆上的加压部便会受到连杆机构的带动而将模腔给压制住,如果需要不断地压紧,驱动单元只需要继续拉动连杆机构即可。因此,本装置与现有技术相比,其可以大大地增大对模腔的压制力度,从而可以有效地防止模腔的漏气等现象的发生。
为了进一步地优化本实用新型的实施效果,如图1-2所示,在本实用新型的增压型纳米压印装置的另一些实施方式中,在上述内容的基础上,上述的驱动单元4包括气缸41以及与该气缸41的活塞杆通过无油衬套等连接的出力杆42,该出力杆42连接两个连杆单元31之间的转动连接处33。采用该实施方式的方案,可以通过气缸和出力杆的作用,加强对连杆机构的驱动力,从而使得加压机构对模腔的压制力度可以进一步地得到加强。
为了进一步地优化本实用新型的实施效果,如图1-2所示,在本实用新型的增压型纳米压印装置的另一些实施方式中,在上述内容的基础上,上述的连杆机构3与连接杆2之间通过鱼眼接头(未示出)进行连接。采用该实施方式的方案,可以保证连杆机构与连接杆之间转动的顺畅,从而可以更有效地向连接杆以及加压部传递力。
为了进一步地优化本实用新型的实施效果,如图1-2所示,在本实用新型的增压型纳米压印装置的另一些实施方式中,在上述内容的基础上,上述的增压型纳米压印装置还包括架体5,该架体5包括多根柱体53以及滑动连接于该柱体53上的上模腔固定板51,加压部21通过螺接或焊接等方式固定连接该上模腔固定板51,该架体5上还可以根据需要设置于支撑单元32连接的支撑板52,上模腔固定板51具体可以通过线性轴承531来滑动连接于柱体53上。采用该实施方式的方案,可以提高对模腔压制的平稳,保证模腔四周的压制力的平均,从而进一步地提高加压机构对模腔的压制效果。
为了进一步地优化本实用新型的实施效果,如图1-2所示,在本实用新型的增压型纳米压印装置的另一些实施方式中,在上述内容的基础上,上述的加压部21为块体。采用该实施方式的方案,可以更方便地形成对模腔的压制。
下面介绍本实用新型的增压型纳米压印装置的工作过程:结合图1-2所示,启动驱动单元4,驱动单元4通过出力杆42拉动连杆机构3,连杆机构3由初始状态向其相反方向被拉动过去,此时连杆机构3开始带动连接杆2往下运动,连接杆2的加压部21不断向模腔1的方向运动,驱动单元4此时继续运行,加压部21继续向模腔1方向行进,直到压紧模腔1的上模腔固定板6,通过测试不再有漏气的地方后,可以关闭驱动单元4,加压作业完成,此时便可以在模腔1内进行下一步的作业。
以上所述的仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.增压型纳米压印装置,包括模腔以及设置于所述模腔上的加压机构,其特征在于,所述加压机构包括:
连接杆,其底端具有压制所述模腔的加压部;
连杆机构,其包括至少两个连杆单元,所述连杆机构的一端转动连接所述连接杆的顶端或者所述连接杆的底端以上部分、相对的另一端转动连接支撑单元;
驱动单元,其动力输出端连接所述至少两个连杆单元之间的转动连接处。
2.根据权利要求1所述的增压型纳米压印装置,其特征在于,所述驱动单元包括气缸以及与所述气缸的活塞杆连接的出力杆,所述出力杆连接所述至少两个连杆单元之间的转动连接处。
3.根据权利要求1或2所述的增压型纳米压印装置,其特征在于,所述连杆机构与所述连接杆之间通过鱼眼接头进行连接。
4.根据权利要求1所述的增压型纳米压印装置,其特征在于,还包括架体,所述架体包括多根柱体以及滑动连接于所述柱体上的上模腔固定板,所述加压部固定连接所述上模腔固定板。
5.根据权利要求1或4所述的增压型纳米压印装置,其特征在于,所述加压部为块体。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN108284555A (zh) * | 2018-02-10 | 2018-07-17 | 安徽唯诗杨信息科技有限公司 | 纳米压印装置及利用纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法 |
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2014
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| CN108284555B (zh) * | 2018-02-10 | 2020-05-15 | 盐城保荣机械有限公司 | 纳米压印装置及利用纳米压印装置制备抗蚀性薄膜的方法 |
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