CN204281588U - 高稳定性ito玻璃刻蚀系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，它包括相连接的刻蚀组件和水洗组件，所述刻蚀组件和所述水洗组件安装有多个分离式传动组件，所述分离式传动组件包括安装在所述刻蚀组件或所述水洗组件外的第一磁力轮、安装在所述刻蚀组件或所述水洗组件内且与所述第一磁力轮相对应的第二磁力轮、端部与所述第二磁力轮相连接的滚轴以及安装在所述滚轴上且间隔设置的滚轮以及用于带动所述第一磁力轮转动的传动机构。从而可以将第一磁力轮设置在系统内部而第二磁力轮设置在系统外部，避免了磨损而产生颗粒物，从根本上杜绝了颗粒物对工艺槽内环境的污染；而且有利于提高整个系统运行的稳定性，提高使用寿命生产效率。

Description

高稳定性ITO玻璃刻蚀系统

技术领域

 本实用新型涉及一种刻蚀系统，具体地涉及一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统。

背景技术

目前，在平板显示行业大世代线体中，如3.5代线以上， ITO玻璃在清洗工艺制程中会经过刻蚀、高低压喷淋、液切、风切等制程。在这些制程中，为了保持基板行进的稳定性，必须在基板的上表面边缘5mm范围内使用压片滚轮压住玻璃基板，且这种压力必须均匀、稳定。在目前所知的所有清洗设备中，所有设备制造商均采用固定式的压片滚轮对基板进行压紧。这种滚轮在使用前必须根据基板的厚度调出合适的间隙，而且每次间隙调整均极其耗时，且调整完毕后，受机械振动，材料蠕变等因素影响，长时间使用依然会有卡片、碎片、打滑等风险。而且现有的ITO玻璃刻蚀系统均采用喷淋式的刻蚀方式，即在基板上方设置多组摇摆喷管，该种方式在使用传统刻蚀液时效果良好，而在使用活性较强的新式刻蚀液（如HCl）时，往往产生严重的刻蚀不均现象(原因)。因此有必要在此基础上开发出具有更高性能和更高稳定性的ITO玻璃刻蚀系统。

发明内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，它包括相连接的刻蚀组件和水洗组件，所述刻蚀组件和所述水洗组件安装有多个分离式传动组件，所述分离式传动组件包括安装在所述刻蚀组件或所述水洗组件外的第一磁力轮、安装在所述刻蚀组件或所述水洗组件内且与所述第一磁力轮相对应的第二磁力轮、端部与所述第二磁力轮相连接的滚轴以及安装在所述滚轴上且间隔设置的滚轮以及用于带动所述第一磁力轮转动的传动机构。

优化地，所述水洗组件设置于所述刻蚀组件的下方，所述刻蚀组件通过安装在其端部的升降组件与所述水洗组件相连接。

进一步地，所述刻蚀组件和所述水洗组件内安装有设置在所述分离式传动组件上方且与其相配合的多个间隙自适应压片滚轮，所述间隙自适应压片滚轮包括：

滚轮外套，所述滚轮外套内圈设置有间隔的多个凸起；

卡套，所述卡套设置有与所述凸起相配合的多个卡齿，它通过所述卡齿卡合于所述滚轮外套的一侧；

支撑件，所述支撑件包括设置于所述滚轮外套另一侧的第一柱体以及与所述第一柱体侧面相连接且插入所述滚轮外套和所述卡套的第二柱体，所述第一柱体的直径大于所述凸起内端形成的圆形直径；

弹性件，所述弹性件放置在被所述支撑件和所述卡套围住的所述凸起之间，所述弹性件向所述滚轮外套中心轴的方向延伸。

进一步地，所述刻蚀组件包括依次相连接的预处理单元、刻蚀单元和水洗单元，所述预处理单元包括分别安装于其两端部的第一离子泵、安装在所述第一离子泵之间的紫外灯以及用于向其内导入氧气的氧气阀，所述刻蚀单元包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第一喷淋管、设置于其内部并位于所述第一喷淋管上游的第一液刀以及设置于其内部并位于所述第一喷淋管下游的一组第一风刀以及用于收集刻蚀液并将再导入所述第一喷淋管和所述第一液刀中的循环机构，所述水洗单元包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第二喷淋管、设置于其内部并位于所述第二喷淋管上游的第二液刀以及设置于其内部并位于所述第二喷淋管下游的第一超级液刀。

进一步地，所述第一液刀和所述第二液刀的结构相同，它们均包括相对应合盖的两块液刀板、形成于两块所述液刀板之间的第一腔体、形成于两块所述液刀板下端部的出液条缝，两块所述液刀板之间还形成有与所述第一腔体相连通的第二腔体，所述第二腔体与所述出液条缝相连通，所述第二腔体的截面为圆形或者椭圆形。

进一步地，所述刻蚀组件还包括连接于所述预处理单元和所述刻蚀单元之间的第一缓冲单元以及连接于所述刻蚀单元和所述水洗单元之间的第二缓冲单元，所述第一缓冲单元的两端分别安装有一组第二风刀，所述第二缓冲单元内设有一组第三风刀，所述第一缓冲单元在其与所述刻蚀单元的连接处以及所述第二缓冲单元在其与所述刻蚀单元的连接处设有防结晶机构。

进一步地，所述防结晶机构包括用于对应遮挡住所述刻蚀单元进料口和出料的挡板、与所述挡板相连接用于带动其转动的把手、用于盛放浸润液从而浸泡所述挡板和所述把手的浸润槽、与所述浸润槽相连通的流量计和阀门。

进一步地，所述水洗组件包括依次相连接的多个大流量水洗单元和风干单元。

进一步地，所述大流量水洗单元包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第三喷淋管以及设置于所述第三喷淋管下游的第二超级液刀；所述风干单元设置于其内部用于对ITO玻璃进行风干的一对抗负压风刀和设置于所述抗负压风刀下游的第二离子泵。

进一步地，所述抗负压风刀包括相对应合盖的第一风刀板和第二风刀板、形成于所述第一风刀板和所述第二风刀板之间的腔体、形成于所述第一风刀板和所述第二风刀板之间且与所述腔体相连通的进风口、形成于所述第一风刀板和所述第二风刀板之间的出风口，所述第一风刀板下表面与所述第二风刀板下表面处于同一平面内，所述第一风刀板下表面与经过此处的ITO玻璃上表面形成锐角，所述出风口与所述ITO玻璃相垂直。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，通过设置分离式传动组件，该分离式传动组件第一磁力轮、第二磁力轮、滚轴以及用于带动所述第一磁力轮转动的传动机构，从而可以将第一磁力轮设置在系统内部而第二磁力轮设置在系统外部，避免了磨损而产生颗粒物，从根本上杜绝了颗粒物对工艺槽内环境的污染；而且有利于提高整个系统运行的稳定性，提高使用寿命生产效率。

附图说明

附图1为本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统的结构示意图；

附图2为本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统的结构示意图；

附图3为本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统水洗组件的结构示意图；

附图4为本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统分离式传动组件的结构示意图；

附图5为本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统间隙自适应压片滚轮的爆炸图；

附图6为本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统间隙自适应压片滚轮的组装图；

附图7为本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统间隙自适应压片滚轮的组装图；

附图8为本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统防结晶机构的结构示意图；

附图9为本实用新型高稳定性ITO玻璃刻蚀系统抗负压风刀的结构示意图；

其中，1、刻蚀组件；11、预处理单元；111、紫外灯；112、氧气阀；113、第一离子泵；12、刻蚀单元；121、第一喷淋管；122、第一液刀；123、第一风刀；124、循环机构；13、水洗单元；131、第二喷淋管；132、第二液刀；133、第一超级液刀；134、液刀板；135、第一腔体；136、螺钉；137、第二腔体；138、出液条缝；14、第一缓冲单元；141、第二风刀；142、防结晶机构；143、挡板；144、把手；145、流量计；146、阀门；147、浸润槽；15、第二缓冲单元；151、第三风刀；2、水洗组件；21、大流量水洗单元；211、第三喷淋管；212、第二超级液刀；22、风干单元；221、抗负压风刀；222、第二离子泵；223、第一风刀板；224、第二风刀板；225、腔体；226、出风口；227、进风口；3、升降组件；4、分离式传动组件；41、传动机构；411、第一斜齿轮；412、传动齿轮；413、第二斜齿轮；421、第一磁力轮；422、第二磁力轮；43、滚轴；44、滚轮；5、间隙自适应压片滚轮；51、滚轮外套；511、凸起；52、卡套；521、卡齿；522、插孔；53、弹性件；54、支撑件；541、第一柱体；542、第三柱体；543、第二柱体；55、支撑套环；56、螺帽；57、限位螺钉。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型优选实施方案进行详细说明：

如图1至图9所示的高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，主要包括相连接的刻蚀组件1和水洗组件2，刻蚀组件1和水洗组件2安装有多个分离式传动组件4。

其中，分离式传动组件4主要包括传动机构41、第一磁力轮421、第二磁力轮422、滚轴43和滚轮44。第一磁力轮421与传动机构41相连接，它们设置在刻蚀组件1或水洗组件2的外部，当传动机构41转动时同步带动第一磁力轮421转动。第二磁力轮422与第一磁力轮421相对应设置，当第一磁力轮421转动时同步带动第二磁力轮422转动；滚轴43的端部与第二磁力轮422相连，它安装在两个第二磁力轮422之间，并且它的上面安装有多个间隔设置的滚轮44，当第二磁力轮422转动时同步带动滚轴43转动；第二磁力轮422、滚轴43和滚轮44设置在刻蚀组件1或水洗组件2内。这样避免了传统齿轮和皮带在应用中因磨损产生颗粒物，从根本上杜绝了颗粒物对工艺槽内环境的污染；而且有利于提高整个系统运行的稳定性，提高使用寿命生产效率。在本实施例中，由于滚轴43需要水平设置，传动机构41包括与第一磁力轮421相连接的第一斜齿轮411、与第一斜齿轮411相配合的传动齿轮412以及与传动齿轮412相配合的第二斜齿轮413，这样利用第一斜齿轮411、传动齿轮412以及第二斜齿轮413之间的配合能够实现将水平方向上的转动转化为垂直方向上的转动。

可以将刻蚀组件1和水洗组件2设置在同一水平面上，并将水洗组件2设置在刻蚀组件1的下游（上下游的判断是根据该系统中ITO玻璃传输的方向进行定义的，ITO玻璃由上游向下游传输）。在本实施例中，将水洗组件2设置于刻蚀组件1的下方，刻蚀组件1通过安装在其端部的升降组件3与水洗组件2相连接，这样可以将ITO玻璃的进料和出料设置在同一端，从而在自动化生产过程中可以少用一台机械手，从而有效地节约了成本。

在本实施例中，刻蚀组件1和水洗组件2内安装有设置在分离式传动组件4）方且与其相配合的多个间隙自适应压片滚轮5，该间隙自适应压片滚轮5能够适用于压住不同厚度的ITO玻璃，这样在产线上刻蚀不同厚度的ITO玻璃时不再需要调节其高度以适应不同厚度。它包括主要包括滚轮外套51、卡套52、支撑件54以及弹性件53；其中，滚轮外套51的内圈间隔设置有多个凸起511，这些凸起511沿滚轮外套51轴心线的方向延伸，且相邻两个凸起511之间形成凹部。卡套52设置在滚轮外套51的一侧，它通过其上设置且与凸起511相配合的多个卡齿521与滚轮外套51卡合。支撑件54是空心的，用于插设在固定轴或者转轴上，包括第一柱体541和第二柱体543；第一柱体541设置在滚轮外套51的另一侧，第二柱体543则与第一柱体541的侧面相连接，且插入滚轮外套51和卡套52中，需要注意的是第一柱体541的直径大于凸起511内端形成的圆形直径；这样就能够用第一柱体541和卡套52在第二柱体543和滚轮外套51的凸起511之间围成一容置空间。弹性件53（本实施例中为弹簧）就放置在这个容置空间内，即弹性件53放置在被支撑件54和卡套52围住的凸起511之间，它的延伸方向指向滚轮外套51的中心轴方向，即弹性件53的一端抵住第二柱体543，另一端抵住滚轮外套51的内壁，这样当玻璃的厚度发生变化时，挤压滚轮外套51从而使得对应处的弹性件53被压缩而能自动调节滚轮外套51，在避免压碎玻璃的同时还能大幅提高生产效率。支撑件54还包括与第一柱体541另一侧面相连接的第三柱体542，第三柱体542外套接有螺帽56，螺帽56与第三柱体542之间设置有支撑套环55，从而方便与转轴或者固定轴的连接。滚轮外套51和支撑套环55均为聚四氟乙烯材料制成，主要是能够起到缓冲的作用，防止其本身材质过硬而导致缓冲力不足压碎玻璃。弹性件53的数目也非常重要，优选为6~15个，个数太多或太少均容易引起玻璃的破损率上升。卡齿521设置在卡套52的侧面，从而方便卡套52与滚轮外套51的卡合。该间隙自适应压片滚轮还包括限位螺钉57，卡套52的外周面设置多个插孔522用于插入该限位螺钉57，从而实现间隙自适应压片滚轮的快速组装和拆卸。

刻蚀组件1包括依次相连接的预处理单元11、刻蚀单元12和水洗单元13，预处理单元11包括分别安装于其两端部的第一离子泵113，用于向其内导入去离子风，从而确保预处理单元11的高度清洁，防止外界粉尘等杂质的引入；紫外灯111安装在两个第一离子泵113之间，并且需要通过氧气阀112向其内导入氧气，紫外灯111发出的紫外线波长为172nm，这样可以将导入的氧气部分转化为氧自由基和臭氧，从而可以去除ITO玻璃表面的有机污染物，可以确保ITO玻璃在被喷淋水后使水滴表面张力角降低至5°以下。

刻蚀单元12包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第一喷淋管121、设置于其内部并位于第一喷淋管121上游的第一液刀122以及设置于其内部并位于第一喷淋管121下游的一组第一风刀123以及用于收集刻蚀液并将再导入所述第一喷淋管121和所述第一液刀122中的循环机构124；水洗单元13包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第二喷淋管131、设置于其内部并位于第二喷淋管131上游的第二液刀132以及设置于其内部并位于第二喷淋管131下游的第一超级液刀133。在本实施例中，第一液刀122和第二液刀132的结构相同，它们均为高均匀性液刀，包括相对应合盖的两块液刀板134（它们通过螺钉136固定）、形成于两块液刀板134之间的第一腔体135、形成于两块液刀板134下端部的出液条缝138，两块所述液刀板134之间还形成有与第一腔体135相连通的第二腔体137，第二腔体137与出液条缝138相连通，第二腔体137的截面为圆形或者椭圆形，从而能够向ITO玻璃的表面均匀喷洒刻蚀液或者去离子水。第一风刀123起到阻隔气体的作用，用于防止刻蚀单元12中的酸气向下游组件中扩散。循环机构124用于收集刻蚀单元12中的刻蚀液并将其经由第一喷淋管121和第一液刀122喷出，从而确保刻蚀液浓度的稳定；而且循环机构124可以根据需要设置成相并联且相互连通的两台（一备一用），并赋予其加热的功能，从而能够对刻蚀液进行加热，从而能够提高刻蚀效率和刻蚀质量。

刻蚀组件1还包括连接于预处理单元11和刻蚀单元12之间的第一缓冲单元14以及连接于刻蚀单元12和水洗单元13之间的第二缓冲单元15，第一缓冲单元14的两端分别安装有一组第二风刀141，第二缓冲单元15内设有一组第三风刀151，这样这两个缓冲单元可以起到缓冲的作用，进一步避免了刻蚀单元12中酸气向其它单元的扩散。并且第一缓冲单元14在其与刻蚀单元12的连接处以及第二缓冲单元15在其与刻蚀单元12的连接处设有防结晶机构142，该防结晶机构142包括用于对应遮挡住刻蚀单元12进料口和出料口（实际上ITO玻璃刻蚀系统的每个组成单元均具有用于引入和引出ITO玻璃的进料口和出料口）的挡板143、与挡板143相连接用于带动其转动的把手144、用于盛放浸润液从而浸泡挡板143和把手144的浸润槽147、与浸润槽147相连通的流量计145和阀门146，这样能够有效避免结晶物的积留。

水洗组件2包括依次相连接的多个大流量水洗单元21和风干单元22。大流量水洗单元21包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第三喷淋管211以及设置于第三喷淋管211下游的第二超级液刀212，第三喷淋管211用于对ITO玻璃进行喷射去离子水，以去除其表面残留的刻蚀液；而第二超级液刀212则喷射流量较大、喷射力较大的离子水，以彻底清洗ITO玻璃表面。需要注意的是与风干单元22相连接的大流量水洗单元21中，其内安装的第二超级液刀212中喷出的水中含有二氧化碳，起到除去ITO玻璃表面静电的作用。风干单元22包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行风干的一对抗负压风刀221和设置于抗负压风刀221下游的第二离子泵222。抗负压风刀221包括相对应合盖的第一风刀板223和第二风刀板224、形成于第一风刀板223和第二风刀板224之间的腔体225、形成于第一风刀板223和第二风刀板224之间且与腔体225相连通的进风口227、形成于第一风刀板223和第二风刀板224之间的出风口226，第一风刀板223下表面与第二风刀板224下表面处于同一平面内，第一风刀板223下表面与经过此处的ITO玻璃上表面形成锐角，出风口226与ITO玻璃相垂直。这样气流垂直喷射，部分垂直气流阻止了负压区的形成，从而避免了负压效应的产生，这种结构的抗负压风刀221由于其气流的稳定性，气流波动较小，不易产生气体回流，解决了部分产品无法彻底吹干的现象。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1. 一种高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，它包括相连接的刻蚀组件（1）和水洗组件（2），其特征在于：所述刻蚀组件（1）和所述水洗组件（2）安装有多个分离式传动组件（4），所述分离式传动组件（4）包括安装在所述刻蚀组件（1）或所述水洗组件（2）外的第一磁力轮（421）、安装在所述刻蚀组件（1）或所述水洗组件（2）内且与所述第一磁力轮（421）相对应的第二磁力轮（422）、端部与所述第二磁力轮（422）相连接的滚轴（43）以及安装在所述滚轴（43）上且间隔设置的滚轮（44）以及用于带动所述第一磁力轮（421）转动的传动机构（41）。

2.根据权利要求1所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述水洗组件（2）设置于所述刻蚀组件（1）的下方，所述刻蚀组件（1）通过安装在其端部的升降组件（3）与所述水洗组件（2）相连接。

3.根据权利要求1或2所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述刻蚀组件（1）和所述水洗组件（2）内安装有设置在所述分离式传动组件（4）上方且与其相配合的多个间隙自适应压片滚轮（5），所述间隙自适应压片滚轮（5）包括：

滚轮外套（51），所述滚轮外套（51）内圈设置有间隔的多个凸起（511）；

卡套（52），所述卡套（52）设置有与所述凸起（511）相配合的多个卡齿（521），它通过所述卡齿（521）卡合于所述滚轮外套（51）的一侧；

支撑件（54），所述支撑件（54）包括设置于所述滚轮外套（51）另一侧的第一柱体（541）以及与所述第一柱体（541）侧面相连接且插入所述滚轮外套（51）和所述卡套（52）的第二柱体（543），所述第一柱体（541）的直径大于所述凸起（511）内端形成的圆形直径；

弹性件（53），所述弹性件（53）放置在被所述支撑件（54）和所述卡套（52）围住的所述凸起（511）之间，所述弹性件（53）向所述滚轮外套（51）中心轴的方向延伸。

4.根据权利要求1或2所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述刻蚀组件（1）包括依次相连接的预处理单元（11）、刻蚀单元（12）和水洗单元（13），所述预处理单元（11）包括分别安装于其两端部的第一离子泵（113）、安装在所述第一离子泵（113）之间的紫外灯（111）以及用于向其内导入氧气的氧气阀（112），所述刻蚀单元（12）包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第一喷淋管（121）、设置于其内部并位于所述第一喷淋管（121）上游的第一液刀（122）以及设置于其内部并位于所述第一喷淋管（121）下游的一组第一风刀（123）以及用于收集刻蚀液并将再导入所述第一喷淋管（121）和所述第一液刀（122）中的循环机构（124），所述水洗单元（13）包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第二喷淋管（131）、设置于其内部并位于所述第二喷淋管（131）上游的第二液刀（132）以及设置于其内部并位于所述第二喷淋管（131）下游的第一超级液刀（133）。

5.根据权利要求4所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述第一液刀（122）和所述第二液刀（132）的结构相同，它们均包括相对应合盖的两块液刀板（134）、形成于两块所述液刀板（134）之间的第一腔体（135）、形成于两块所述液刀板（134）下端部的出液条缝（138），两块所述液刀板（134）之间还形成有与所述第一腔体（135）相连通的第二腔体（137），所述第二腔体（137）与所述出液条缝（138）相连通，所述第二腔体（137）的截面为圆形或者椭圆形。

6.根据权利要求4所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述刻蚀组件（1）还包括连接于所述预处理单元（11）和所述刻蚀单元（12）之间的第一缓冲单元（14）以及连接于所述刻蚀单元（12）和所述水洗单元（13）之间的第二缓冲单元（15），所述第一缓冲单元（14）的两端分别安装有一组第二风刀（141），所述第二缓冲单元（15）内设有一组第三风刀（151），所述第一缓冲单元（14）在其与所述刻蚀单元（12）的连接处以及所述第二缓冲单元（15）在其与所述刻蚀单元（12）的连接处设有防结晶机构（142）。

7.根据权利要求6所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述防结晶机构（142）包括用于对应遮挡住所述刻蚀单元（12）进料口和出料的挡板（143）、与所述挡板（143）相连接用于带动其转动的把手（144）、用于盛放浸润液从而浸泡所述挡板（143）和所述把手（144）的浸润槽（147）、与所述浸润槽（147）相连通的流量计（145）和阀门（146）。

8.根据权利要求1或2所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述水洗组件（2）包括依次相连接的多个大流量水洗单元（21）和风干单元（22）。

9.根据权利要求8所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述大流量水洗单元（21）包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行上下喷淋的多个第三喷淋管（211）以及设置于所述第三喷淋管（211）下游的第二超级液刀（212）；所述风干单元（22）包括设置于其内部用于对ITO玻璃进行风干的一对抗负压风刀（221）和设置于所述抗负压风刀（221）下游的第二离子泵（222）。

10.根据权利要求9所述高稳定性ITO玻璃刻蚀系统，其特征在于：所述抗负压风刀（221）包括相对应合盖的第一风刀板（223）和第二风刀板（224）、形成于所述第一风刀板（223）和所述第二风刀板（224）之间的腔体（225）、形成于所述第一风刀板（223）和所述第二风刀板（224）之间且与所述腔体（225）相连通的进风口（227）、形成于所述第一风刀板（223）和所述第二风刀板（224）之间的出风口（226），所述第一风刀板（223）下表面与所述第二风刀板（224）下表面处于同一平面内，所述第一风刀板（223）下表面与经过此处的ITO玻璃上表面形成锐角，所述出风口（226）与所述ITO玻璃相垂直。