CN204251692U - 一种中空的靶材组件 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种中空的靶材组件，包括靶材和背板，所述靶材在背板上，所述靶材的中部设有通槽，通槽的两端分别向靶材长度方向的两端延伸。本实用新型在靶材不损耗材质的部位设置通槽，这样可以节省靶材的用量，降低了生产成本。另外，本实用新型结构简单，生产方便，容易实施。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种中空的靶材组件。
背景技术
磁控溅射是以一定能量的粒子（离子或中性原子、分子）轰击固体表面，使固体近表面的粒子获得足够大的能量而最终逸出固体表面，在此过程中，被轰击的固体称为靶材组件，靶材组件由靶材与背板组成。
靶材在溅射镀膜的过程中，由于磁感线分布的形状类似跑道形，因此，靶材的中部不会损耗材料，现有的靶材中部都没有设置通槽，因此无形中增加了材料的成本。
发明内容
为了解决现有技术中的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构简单，能够节省材料成本的一种中空的靶材组件。
为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种中空的靶材组件，包括靶材和背板，所述靶材在背板上，所述靶材的中部设有通槽，通槽的两端分别向靶材长度方向的两端延伸。
所述通槽为长方形。
所述靶材由至少两块以上的单元块靶型材组成，单元块靶型材沿背板的长边方向顺序拼接。这样的结构，靶材生产工艺比较简单，制造成本低。
本实用新型采用以上技术方案，在靶材不损耗材质的部位设置通槽，这样可以节省靶材的用量，降低了生产成本。另外，本实用新型结构简单，生产方便，容易实施。
附图说明
以下结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明：
图1为本实用新型一种中空的靶材组件的正视图；
图2为本实用新型一种中空的靶材组件的俯视图。
具体实施方式
如图1或图2所示，本实用新型一种中空的靶材组件，包括靶材1和背板2，所述靶材1在背板2上，所述靶材1的中部设有通槽3，通槽3的两端分别向靶材1长度方向的两端延伸。
如图2所示，所述通槽3为长方形。通槽3也可以为跑道形、椭圆形等。
所述靶材1由至少两块以上的单元块靶型材11组成，单元块靶型材11沿背板2的长边方向顺序拼接。这样的结构，靶材1生产工艺比较简单，制造成本低。
本实用新型在靶材不损耗材质的部位设置通槽，这样可以节省靶材的用量，降低生产成本。
Claims (3)
1. 一种中空的靶材组件，包括靶材和背板，所述靶材在背板上，其特征在于：所述靶材的中部设有通槽，通槽的两端分别向靶材长度方向的两端延伸。
2.根据权利要求1所述的一种中空的靶材组件，其特征在于：所述通槽为长方形。
3.根据权利要求1所述的一种中空的靶材组件，其特征在于：所述靶材由至少两块以上的单元块靶型材组成，单元块靶型材沿背板的长边方向顺序拼接。
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Cited By (1)
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| CN114672776A (zh) * | 2022-03-16 | 2022-06-28 | 先导薄膜材料有限公司 | 中空背板的靶材绑定方法 |
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2014
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Cited By (2)
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| CN114672776A (zh) * | 2022-03-16 | 2022-06-28 | 先导薄膜材料有限公司 | 中空背板的靶材绑定方法 |
| CN114672776B (zh) * | 2022-03-16 | 2023-09-29 | 先导薄膜材料(安徽)有限公司 | 中空背板的靶材绑定方法 |
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