CN204248859U - 一种移动式水平层流百级洁净柜 - Google Patents

一种移动式水平层流百级洁净柜 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开了一种移动式水平层流百级洁净柜，包括柜体和设置在柜体内的洁净室、过滤器、风机，洁净室内水平设置有多个隔板，洁净室的一侧为送风侧，送风侧设置有多冲孔均流板，洁净室中与送风侧相对的一侧为回风侧，气流由送风侧的多冲孔均流板进入洁净室后，并由回风侧流出，形成水平层流，过滤器用于对进入洁净室的空气进行过滤，风机用于将柜体内的空气送入洁净室。该洁净室能使整个洁净柜获得更高洁净度。

Description

一种移动式水平层流百级洁净柜
技术领域
本实用新型涉及洁净车间的移动式洁净柜，特别涉及一种移动式水平层流百级洁净柜。
背景技术
在洁净车间中经常会用到移动式洁净柜，用来周转诸如集成电路芯片、精密机械零件、光学镜头、微生物菌种、药物等必须受百级洁净度保护的物品。移动式洁净柜为了集中一定数量的物品周转，采用多层式结构。然而，一般洁净柜均采用垂直层流，正是由于多层式结构的存在，垂直层流自上而下送风中，会因多层物料架的设置而造成气流速度和风压急剧衰减，以致洁净柜下半部分的洁净度很难得到保证。
实用新型内容
本实用新型提供一种移动式水平层流百级洁净柜，用以解决现有技术中存在洁净柜的洁净度底的问题。
本实用新型提供的一种移动式水平层流百级洁净柜，包括柜体和设置在柜体内的洁净室、过滤器、风机，所述洁净室内水平设置有多个隔板，所述洁净室的一侧为送风侧，所述送风侧设置有多冲孔均流板，所述洁净室中与送风侧相对的一侧为回风侧，气流由送风侧的多冲孔均流板进入洁净室后，并由回风侧流出，形成水平层流，所述过滤器用于对进入洁净室的空气进行过滤，所述风机用于将柜体内的空气送入洁净室。
进一步地，所述隔板上均匀设置有多个通孔。
进一步地，该洁净柜还设有用于检测过滤器两侧气压差的差压计。
进一步地，该洁净柜还设有DOP检测装置。
进一步地，所述过滤器为HEPA/ULPA过滤器。
进一步地，所述风机位于洁净室的下方，所述过滤器设置在多冲孔均流板的外侧。
进一步地，所述洁净室安装有双侧联锁密封门。
进一步地，所述柜体底部设有多个带刹车的万向轮。
进一步地，所述柜体设有过滤器的一侧设有检修门。
进一步地，所述柜体底部还设有风量控制和显示。
本实用新型有益效果如下：在柜体内能形成水平流送风的方式，使柜体物料架的各层物品都能受到保护，保证高的洁净度。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的移动式水平层流百级洁净柜结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的移动式水平层流百级洁净柜立体图。
图中，1是洁净室，101是隔板，102是多冲孔均流板，103是双侧密封玻璃门，2是过滤器，3是风机，4是差压计，501是发尘口，502是DOP检测口，6是万向轮，701是电源指示灯，702是电源开关，8是检修门，9是风量控制和显示。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型实施例作进一步详细描述。
如图1-2的移动式水平层流百级洁净柜，包括柜体和设置在柜体内的洁净室1、过滤器2、风机3，洁净室1内水平设置有多个隔板101，隔板101在洁净室1内均匀分布，隔板101上均匀设置有多个通孔，方便气体均匀流通，洁净室1和柜体两侧之间预留一定的空间，用于柜体内气体的流通，洁净室1的一侧是送风侧，送风侧设置多冲孔均流板102，洁净室1中与送风侧相对的一侧是回风侧，气流由送风侧的多冲孔均流板102水平送风，使得每一层隔板101的气流都可以得到均匀的风速，而且气流不受柜内多层式隔板101结构的影响，并由回风侧流出，过滤器2是HEPA/ULPA过滤器，安装在多冲孔均流板102的外侧，对进入洁净室1的空气进行过滤，风机3安装在洁净室1的下方，向过滤器2送风，经过滤器2后的无尘无菌空气，经多冲孔均流板102均匀分配到每一层隔板101，由洁净室1的回风侧流出，回风气流经全封闭通道由风机3吸回后，重新经过过滤器2过滤，循环送入洁净室1，以获得最高的洁净度。
该洁净柜设有过滤器2的一侧还设置有差压计4，测量过滤器2两侧气压差，如果气压显示超过标准，则更换过滤器2。
洁净柜上还设置了DOP检测装置，包括DOP发尘口501和DOP检测口502，DOP发尘口501对过滤器2进行发尘，通过DOP检测口502对过滤器2上下游的含尘浓度进行对比，来检测过滤器2的过滤效率、出风洁净度是否达到要求。
洁净柜上还设置了电源指示灯701和电源开关702，电源指示灯701方便显示洁净柜的状态，柜体的下部还设置风量控制和显示9，便于实时控制与观察。
洁净室1上安装双侧密封玻璃门103，带有断电锁定功能，通电后才能开启密封门，双侧门采用电子联锁，每次只允许开启一侧玻璃门，可以有效地防止外界空气向洁净室1内部进行干扰，在必要时可以兼作洁净传递窗，方便洁净室内物品的传递。
洁净柜底部设置了多个带刹车的万向轮6，用来洁净柜的移动。洁净柜安装过滤器2的一侧安装有检修门，方便故障检修。
本实用新型有益效果如下：在柜体内能形成水平流送风的方式，使柜体物料架的各层物品都能受到保护，保证高的洁净度。
显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种移动式水平层流百级洁净柜，包括柜体和设置在柜体内的洁净室、过滤器、风机，其特征在于：所述洁净室内水平设置有多个隔板，所述洁净室的一侧为送风侧，所述送风侧设置有多冲孔均流板，所述洁净室中与送风侧相对的一侧为回风侧，气流由送风侧的多冲孔均流板进入洁净室后，并由回风侧流出，形成水平层流，所述过滤器用于对进入洁净室的空气进行过滤，所述风机用于将柜体内的空气送入洁净室。
2.根据权利要求1所述的移动式水平层流百级洁净柜，其特征在于，所述隔板上均匀设置有多个通孔。
3.根据权利要求1所述的移动式水平层流百级洁净柜，其特征在于，该洁净柜还设有用于检测过滤器两侧气压差的差压计。
4.根据权利要求1所述的移动式水平层流百级洁净柜，其特征在于，该洁净柜还设有DOP检测装置。
5.根据权利要求1所述的移动式水平层流百级洁净柜，其特征在于，所述过滤器为HEPA/ULPA过滤器。
6.根据权利要求1所述的移动式水平层流百级洁净柜，其特征在于，所述风机位于洁净室的下方，所述过滤器设置在多冲孔均流板的外侧。
7.根据权利要求1所述的移动式水平层流百级洁净柜，其特征在于，所述洁净室安装有双侧联锁密封门。
8.根据权利要求1所述的移动式水平层流百级洁净柜，其特征在于，所述柜体底部设有多个带刹车的万向轮。
9.根据权利要求1所述的移动式水平层流百级洁净柜，其特征在于，所述柜体设有过滤器的一侧设有检修门。
10.根据权利要求1所述的移动式水平层流百级洁净柜，其特征在于，所述柜体底部还设有风量控制和显示。
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