CN204247481U - 一种匀胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型所提供的匀胶机，包括主体机、载片台及用于容置载片台的限位框，所述载片台设于主体机的中间位置处，并与主体机内的驱动电机连接，用于驱动载片台进行旋转；该匀胶机进一步包括加热机构，其主要由感应线圈组成，其中所述感应线圈固定在载片台上，并与主体机电性连接，用于对置于载片台上的载片进行加热。本实用新型的匀胶机在使用时，可通过由感应线圈组成的加热机构进行直接加热，用于蒸发掉胶液中的溶剂；这相比原有的匀胶机，其省却了在对旋涂过后的载片进行额外加热的加热装置，这便于人们的使用。

Description

一种匀胶机

技术领域

本实用新型涉及匀胶机，具体涉及一种旋涂、加热一体化的匀胶机。

背景技术

匀胶机是一种利用旋转产生的离心力原理，将胶液均匀甩开，平铺到材料表面的机械装置，其应用于各类对于材料表面涂覆的均匀性有严格要求的实验或者制造领域，例如半导体材料研发和制备工艺，生物材料物性分析，化工材料薄膜的制备工艺等等。

目前，现有技术中的匀胶机，一般是没有加热装置的，其在使用时采用先旋涂，后加热蒸发溶剂的工序。具体地，是将经由匀胶机作用过后的载片迅速地放置到一个制模加热板上进行加热，使覆盖在载片上的薄膜进行初步的蒸发溶剂，以便薄膜固化。其中对载片的加热时间可以是几秒钟或几分钟，而部分材料的薄膜其则需烘烤几个小时，甚至需要一个晚上，最后将涂覆有薄膜的载片放置烤箱或真空炉内，在其内进行充分烘烤，使得载片薄膜上余下的溶剂蒸发掉，这不便于人们的使用。

实用新型内容

有鉴如此，本实用新型的目的是提供一种用于解决上述技术问题的匀胶机。

一种匀胶机，包括主体机、载片台及用于容置载片台的限位框，所述载片台设于主体机的中间位置处，并与主体机内的驱动电机连接，用于驱动载片台进行旋转；其特征在于：该匀胶机进一步包括加热机构，其主要由感应线圈组成，其中所述感应线圈固定在载片台上，并与主体机电性连接，用于对置于载片台上的载片进行加热。

优选地，所述感应线圈设置在该载片台内，并与载片分居在载片台中用于固定载片的侧壁两侧。

优选地，所述感应线圈嵌设在该载片台中用于容置载片的侧壁上。

优选地，该匀胶机进一步包括一温度控制器，其串联于所述感应线圈，用于对感应线圈工作时的温度进行控制

优选地，所述驱动电机为无刷伺服电机。

优选地，该匀胶机进一步包括排风系统和抽气系统，其设于主体机内，并置于载片台的底部，

优选地，该匀胶机进一步包括密封盖，其由丙烯酸材质制备而成。

优选地，所述限位框由不锈钢材质制备。

一种匀胶机，包括主体机，载片台及用于容置载片台的限位框，所述载片台设于主体机的中间位置处，并与主体机内的驱动电机连接，用于驱动载片台进行旋转；该匀胶机进一步包括加热机构，其主要由感应线圈组成，其中所述感应线圈缠绕于所述载片台中用于固定载片的侧壁，并与主体机电性连接，用于对置于载片台上的载片进行加热。

优选地，该匀胶机进一步包括一温度控制器，其串联于所述感应线圈，用于对感应线圈工作时的温度进行控制。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型所提供的匀胶机，通过在该匀胶机内设置一加热机构，使得该匀胶机在使用时对置于载片上的胶液进行均匀甩开的同时，可通过加热机构进行直接加热，用于蒸发掉胶液中的溶剂；这相比原有的匀胶机，其省却了在对旋涂过后的载片进行额外加热的加热装置，这便于了人们的使用。

附图说明

图1是本实用新型较佳实施例所提供匀胶机的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

请参阅图1，本实用新型较佳实施例所提供的匀胶机100，包括主体机10、载片台20及加热机构40。

所述主体机10为该匀胶机100的核心部件，起到提供载片台20旋动动力的作用。

所述载片台20是用于紧固载片(图未示)，所述载片台20设置在主体机10内并主体机10内的驱动电机11相连接，并且所述载片台20从主体机10外露出来以方便载片台20紧固载片。在本实施例中，载片台20的顶部例如可以从主体机10的顶部凸伸出来，以使载片台20外露出所述主体机10。所述主体机10的顶部凸伸出来。在本实施例中，载片台20例如可以通过转轴(图未示出)与驱动电机11连接，驱动电机11转动带动转轴转动，进而带动载片台20转动，从而使载片跟随着载片台20在主体机10内驱动电机11的驱动下进行旋转，而位于载片上的胶液在旋转所产生离心力的作用下，将胶液均匀甩开，使其平铺到载片的表面，进而完成了该匀胶机100的旋涂作用。

所述加热机构40主要由感应线圈组成。其中，感应线圈是固定在载片台20上并与主体机10电性连接以通过主体机10与外部电源连接。可以理解，通有电流的感应线圈其会产生热量，其中该感应线圈所产生的热量会通过热传导的方式经由载片台20传递到载片上，用于对载片进行加热，使得经由旋涂过后涂在载片上的胶液中的溶剂蒸发掉。这相比原有的匀胶机在经由匀胶机进行旋涂过后，需要额外增加一个加热的步骤，使得该涂覆于载片上的胶液内的溶剂能够蒸发掉而言，该均胶机100省却了在对旋涂过后的载片进行额外加热的步骤，这便于了人们的使用。

本实施例中，感应线圈，其应用在载片台20上时，具体可以设置在该载片台20的内部，并与载片分居在载片台20中用于固定载片的侧壁两侧，即，感应线圈与载片之间隔有载片台20中的一个侧壁。当然了也可以将感应线圈设置在该载片台20中用于容置载片的侧壁上，即，感应线圈是设置在载片的下方，并与载片是接触的，本实施例在具体设置的时候，可以将感应线圈嵌设在载片台20上。

在本实例中，感应线圈的两端可以延伸出两个电刷，主机体10中设有圆状的连接盘，连接盘由两个子连接盘拼接而成，两个子连接盘之间设有绝缘物质并且两个子连接盘分别与外接电源的正及与负极连接，两个电刷分别与一个子连接盘电性连接并且在连接盘上呈180°分布，使得加热机构40通过主体机10与外部电源连接，并且可以保证加热机构40在随着载片台20旋转时，两个电刷同时连接两个连接盘，从而保证加热机构40可以一直产生热量。

在本实施例中，所述该新型匀胶机100还包括自载片台20的顶面的周缘向上延伸出的限位框30，限位框30与载片台20的顶面围成一个收容空间，是的载片台20所承载的载片位于限位框30与载片台20的顶面所围成的收容空间内。如此设置，可以使该均胶机100在使时，载片上的胶液在离心力的作用下脱离载片之后可以被甩到限位框30上，以避免载片上的胶液在离心力的作用下脱离载片之后被甩出均胶机100。

进一步地，在本实施例中，限位框30的材质选用不锈钢材质，可以理解，不锈钢材质的限位框30具有耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀、永不生锈，便于清洗，适合用于盛接从载片上脱离的胶液。

在本实施例中，驱动电机11例如为无刷伺服电机，可以理解，采用无刷伺服电机可避免该匀胶机100在使用时，其光刻胶等污染物进入到该无刷伺服电机的内部，进而保证了该无刷伺服电机的正常运行。

在本实施例中，匀胶机100还包含有排风系统(图未示)和抽气系统(图未示)，以便于将匀胶机100内的胶液所散发出来的气味及时地从该均胶机100内散发出去。进一步地，为了确保本实施例中的新型匀胶机100在使用时的匀胶性和排风效率相一致，该新型匀胶机100内设置有的排风系统和抽气系统具有高效的排风效率，能够将胶液中散发出来的气味及时地从该匀胶机100内抽送出来，本实施例将上述的排风系统和抽气系统设于主体机10内，并置于载片台20的底部。

可以理解，实施例的匀胶机100在使用时，可对不同类型的胶液进行匀胶的作用，而每种胶液所具有的性质又各不相同，它们所需要的加热温度不同，故，为了使本新型均胶机100可以对需要不同温度胶液提供不同的加热温度，该新型均胶机100还包括一温度控制器(图未示)，该温度控制器设于加热机构40上，用于控制感应线圈内流通的电流，进而对感应线圈工作所产生的热量进行控制。具体地，所述温度控制器可为一可变电阻，其串联在感应线圈的电路中，并通过调节可变电阻的电阻值来达到调节电路的电流，进而达到了对感应线圈工作时所产生的热量进行调节的作用。

为了防止该匀胶机100在进行旋涂作业时其胶液从限位框30的开口端溢出，以及胶液向外散发有毒气味，本实施例在限位框30的开口端还设置一密封盖50，其中所述密封盖50选用由丙烯酸材质制得的。

综上所述，本实用新型的匀胶机在使用时，可通过由感应线圈组成的加热机构进行直接加热，用于蒸发掉胶液中的溶剂；这相比原有的匀胶机，其省却了在对匀胶过后的载片进行额外加热的加热装置，这便于了人们的使用。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本实用新型保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种匀胶机，包括主体机、载片台及用于容置载片台的限位框，所述载片台设于主体机的中间位置处，并与主体机内的驱动电机连接，用于驱动载片台进行旋转；其特征在于：该匀胶机进一步包括加热机构，其主要由感应线圈组成，其中所述感应线圈固定在载片台上，并与主体机电性连接，用于对置于载片台上的载片进行加热。

2.根据权利要求1所述的匀胶机，其特征在于：所述感应线圈设置在该载片台内，并与载片分居在载片台中用于固定载片的侧壁两侧。

3.根据权利要求1所述的匀胶机，其特征在于：所述感应线圈嵌设在该载片台中用于容置载片的侧壁上。

4.根据权利要求2或者3所述的匀胶机，其特征在于：该匀胶机进一步包括一温度控制器，其串联于所述感应线圈，用于对感应线圈工作时的温度进行控制。

5.根据权利要求1所述的匀胶机，其特征在于：所述驱动电机为无刷伺服电机。

6.根据权利要求1所述的匀胶机，其特征在于：该匀胶机进一步包括排风系统和抽气系统，其设于主体机内，并置于载片台的底部。

7.根据权利要求1所述的匀胶机，其特征在于：该匀胶机进一步包括密封盖，其由丙烯酸材质制备而成。

8.根据权利要求1所述的匀胶机，其特征在于：所述限位框由不锈钢材质制备。

9.一种匀胶机，包括主体机，载片台及用于容置载片台的限位框，所述载片台设于主体机的中间位置处，并与主体机内的驱动电机连接，用于驱动载片台进行旋转；其特征在于：该匀胶机进一步包括加热机构，其主要由感应线圈组成，其中所述感应线圈缠绕于所述载片台中用于固定载片的侧壁，并与主体机电性连接，用于对置于载片台上的载片进行加热。

10.根据权利要求9所述的匀胶机，其特征在于：该匀胶机进一步包括一温度控制器，其串联于所述感应线圈，用于对感应线圈工作时的温度进行控制。