CN204221934U - 注浆成型靶材模具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种注浆成型靶材模具，包括两端开放的筒状的模具本体、多孔底板以及外罩，所述多孔底板设置在所述外罩内，所述模具本体竖直设置在所述多孔底板上，所述多孔底板与所述外罩底面之间形成有间隔空间，所述外罩上设有用于与抽取装置连接的抽气口，所述抽气口连通所述间隔空间。本实用新型的注浆成型靶材模具，通过在底部设置多孔底板与外罩配合，通过连接抽取装置可将模具内水分抽出，从而加快模具内浆液固化速度，不影响注件的品质并提高了良品率，减少工作周期，进而提高生产效率。

Description

注浆成型靶材模具

技术领域

本实用新型涉及一种靶材模具，尤其涉及一种注浆成型靶材模具。

背景技术

在磁控溅射旋转靶材中，包括圆柱形管靶，其主要采用注浆成型、抽真空脱水成型等步骤，其中注浆成型通常是将预先制备的浆料浇注到筒状石膏模具中。由于对应管靶，石膏模具也具有较大的深度，从而浆料固化时间相对比较长，这样对产品的品质也有一定程度影响。此外，石膏模具在经三次或以上浇注浆料后会吸附水份，呈现饱和状态，严重影响浇注过程中吸浆速度及产品品质。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的注浆成型靶材模具。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种注浆成型靶材模具，包括两端开放的筒状的模具本体、多孔底板以及外罩，所述多孔底板设置在所述外罩内，所述模具本体竖直设置在所述多孔底板上，所述多孔底板与所述外罩底面之间形成有间隔空间，所述外罩上设有用于与抽取装置连接的抽气口，所述抽气口连通所述间隔空间。

优选地，所述外罩包括盖板、以及自所述盖板周缘向上延伸的侧板，所述多孔底板于所述外罩内位于所述盖板上方，所述侧板配合在所述多孔底板的侧面以及所述模具本体的底部外周侧面上；所述抽气口设置在所述盖板上。

优选地，该注浆成型靶材模具还包括支撑网，所述支撑网于所述多孔底板和盖板之间贴覆在所述多孔底板上。

优选地，所述支撑网为不锈钢网。

优选地，所述多孔底板为具有高气孔率的氧化铝板。

优选地，所述外罩为不锈钢罩。

优选地，所述模具本体包括筒状的石膏模、以及设置在所述石膏模中心位置的芯棒。

优选地，所述石膏模呈圆筒状，所述芯棒为圆柱体。

本实用新型的注浆成型靶材模具，通过在底部设置多孔底板与外罩配合，通过连接抽取装置可将模具内水分抽出，从而加快模具内浆液固化速度，不影响注件的品质并提高了良品率，减少工作周期，进而提高生产效率。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一实施例的注浆成型靶材模具的剖视结构示意图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

如图1所示，本实用新型一实施例的注浆成型靶材模具，包括模具本体10、多孔底板20以及外罩30。多孔底板20设置在外罩30内，模具本体10竖直设置在多孔底板20上，多孔底板20与外罩30底面之间形成有间隔空间100，外罩30上设有连通间隔空间100的抽气口31，用于与抽取装置连接，从而通过抽气口31、多孔底板20抽取模具本体10内的水分。

模具本体10为两端开放的筒状结构。模具本体10包括筒状的石膏模11、以及设置在石膏模11中心位置的芯棒12。通常，石膏模11呈圆筒状，芯棒12为圆柱体。芯棒12和石膏模11内壁之间的环状空间为浆液容置空间，浆液在该空间内固化，成形为筒状柱体。模具本体10上端开口形成进液口，浆液从该进液口进入浆液容置空间。模具本体10垂直设置在多孔底板20上方。

其中，外罩30主要用于将多孔底板20和模具本体10底部之间包围起来，形成一个密闭空间以进行抽取。多孔底板20为具有高气孔率的氧化铝板，质轻、不腐蚀、不与浆料发生反应。抽取时，浇注在模具本体10内的浆液的水分能通过该多孔底板20上的气孔至抽气口31被吸出。

本实施例中，外罩30包括盖板32、以及自盖板32周缘向上延伸的侧板33，多孔底板20于外罩30内位于盖板32上方，侧板33配合在多孔底板20的侧面以及模具本体10的底部外周侧面上。优选地，盖板32朝向多孔底板20的一面内凹设置，以使得多孔底板20和盖板31之间形成有间隔空间100；抽气口31设置在盖板32并连通该间隔空间100上。优选地，外罩30为不锈钢罩，具有耐用、耐腐蚀的优点。

另外，该注浆成型靶材模具还包括支撑网40，支撑网40于多孔底板20和盖板32之间贴覆在多孔底板20上，用于支撑多孔底板20。支撑网40优选为不锈钢网，耐用耐腐蚀。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (8)

1.一种注浆成型靶材模具，其特征在于，包括两端开放的筒状的模具本体（10）、多孔底板（20）以及外罩（30），所述多孔底板（20）设置在所述外罩（30）内，所述模具本体（10）竖直设置在所述多孔底板（20）上，所述多孔底板（20）与所述外罩（30）底面之间形成有间隔空间（100），所述外罩（30）上设有用于与抽取装置连接的抽气口（31），所述抽气口（31）连通所述间隔空间（100）。

2.根据权利要求1所述的注浆成型靶材模具，其特征在于，所述外罩（30）包括盖板（32）、以及自所述盖板（32）周缘向上延伸的侧板（33），所述多孔底板（20）于所述外罩（30）内位于所述盖板（32）上方，所述侧板（33）配合在所述多孔底板（20）的侧面以及所述模具本体（10）的底部外周侧面上；所述抽气口（31）设置在所述盖板（32）上。

3.根据权利要求2所述的注浆成型靶材模具，其特征在于，该注浆成型靶材模具还包括支撑网（40），所述支撑网（40）于所述多孔底板（20）和盖板（32）之间贴覆在所述多孔底板（20）上。

4.根据权利要求3所述的注浆成型靶材模具，其特征在于，所述支撑网（40）为不锈钢网。

5.根据权利要求1所述的注浆成型靶材模具，其特征在于，所述多孔底板（20）为具有高气孔率的氧化铝板。

6.根据权利要求1所述的注浆成型靶材模具，其特征在于，所述外罩（30）为不锈钢罩。

7.根据权利要求1-6任一项所述的注浆成型靶材模具，其特征在于，所述模具本体（10）包括筒状的石膏模（11）、以及设置在所述石膏模（11）中心位置的芯棒（12）。

8.根据权利要求7所述的注浆成型靶材模具，其特征在于，所述石膏模（11）呈圆筒状，所述芯棒（12）为圆柱体。