CN204151412U - 防止石墨舟翻舟的pecvd设备小车托架 - Google Patents

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王平
周天贤
张军虎
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Abstract

本实用新型涉及一种防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架,它包括条形的托架本体(1),托架本体(1)的前后两端设置有支撑座(2),支撑座(2)包括两个向外的台阶型的支撑脚(2.1),前后两个支撑座(2)的底部均设置有防翻支架(3),所述防翻支架(3)包括底部的横段(3.1),横段(3.1)的内端向上设置有台阶支撑段,台阶支撑段包括一个内竖段(3.2)以及一个上横段(3.3),横段(3.1)的外端向上设置有外竖段(3.4),外竖段(3.4)的顶部设置有斜向外上方的斜段(3.5)。本实用新型防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架可以避免在移动和操作过程中的不规范导致砸舟,消除安全隐患。

Description

防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架
技术领域
本实用新型涉及一种防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架。
背景技术
目前太阳能PECVD(等离子体增强化学气相沉积法)设备小车没有石墨舟防翻舟装置,导致小车在移动和操作过程中的不规范导致砸舟,存在安全隐患。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足,提供一种消除安全隐患的防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架。
本实用新型的目的是这样实现的:
一种防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架,它包括条形的托架本体,托架本体的前后两端设置有支撑座,支撑座包括两个向外的台阶型的支撑脚,前后两个支撑座的底部均设置有防翻支架,所述防翻支架包括底部的横段,横段的内端向上设置有台阶支撑段,台阶支撑段包括一个内竖段以及一个上横段,横段的外端向上设置有外竖段,外竖段的顶部设置有斜向外上方的斜段,其中台阶支撑段通过螺栓固定于支撑座的底部,横段位于支撑脚的底部,横段的外端伸出支撑脚的外侧。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
本实用新型防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架可以避免在移动和操作过程中的不规范导致砸舟,消除安全隐患。
附图说明
图1为本实用新型防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架的立体图。
图2为本实用新型防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架的正视图。
图3为本实用新型防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架使用状态示意图。
其中:
托架本体1
支撑座2
支撑脚2.1
防翻支架3、横段3.1、内竖段3.2、上横段3.3、外竖段3.4、斜段3.5
螺栓4
固定架5
小车驱动装置6
石墨舟7。
具体实施方式
参见图1~图2,本实用新型涉及的一种防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架,它包括条形的托架本体1,托架本体1的前后两端设置有支撑座2,支撑座2包括两个向外的台阶型的支撑脚2.1,前后两个支撑座2的底部均设置有防翻支架3,所述防翻支架3包括底部的横段3.1,横段3.1的内端向上设置有台阶支撑段3.2,台阶支撑段包括一个内竖段3.2以及一个上横段3.3,横段3.1的外端向上设置有外竖段3.4,外竖段3.4的顶部设置有斜向外上方的斜段3.5。
台阶支撑段通过螺栓4固定于支撑座2的底部,其中台阶支撑段的形状与台阶型的支撑脚2.1的形状吻合,上横段3.3与支撑座2通过螺栓4固定连接,横段3.1位于支撑脚2.1的底部,横段3.1的外端伸出支撑脚2.1的外侧。
参见图3,使用时,在前后两个支撑座2的底部设置有防翻支架3,将该防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架放置于位于一个固定架5上的小车驱动装置6的导轨上,然后在托架本体1上放置石墨舟7。

Claims (1)

1.一种防止石墨舟翻舟的PECVD设备小车托架,它包括条形的托架本体(1),托架本体(1)的前后两端设置有支撑座(2),支撑座(2)包括两个向外的台阶型的支撑脚(2.1),其特征在于前后两个支撑座(2)的底部均设置有防翻支架(3),所述防翻支架(3)包括底部的横段(3.1),横段(3.1)的内端向上设置有台阶支撑段,台阶支撑段包括一个内竖段(3.2)以及一个上横段(3.3),横段(3.1)的外端向上设置有外竖段(3.4),外竖段(3.4)的顶部设置有斜向外上方的斜段(3.5),其中台阶支撑段通过螺栓(4)固定于支撑座(2)的底部,横段(3.1)位于支撑脚(2.1)的底部,横段(3.1)的外端伸出支撑脚(2.1)的外侧。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105957826A (zh) * 2016-06-27 2016-09-21 常州亿晶光电科技有限公司 管式pecvd石墨舟安装固定夹具

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