CN204148160U - 一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具 - Google Patents
一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，适用于在单晶硅硅片施加背风片的工艺过程中清除沉积在排气罩上的二氧化硅挥发物，所述的除尘工具主要由加长扁管（1）、毛刷头（2）、刷毛（3）构成。加长扁管（1）的管口呈矩形状，毛刷头（2）前端面设计成平面，侧面设计成圆形弧度面并加工有开孔（4），开孔（4）上与毛刷头（2）上粘接的刷毛（3）呈交叉排列。本实用新型可轻松刷掉排气罩深处及弧度处的沉积物，同时由于毛刷头（2）与加长扁管（1）的吸头（6）组合成一体，使得刷掉的沉积物可立刻被吸走，避免了微小颗粒污染环境。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶硅硅片生产技术领域，主要涉及一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具。
背景技术
采用常压化学气相沉积炉给单晶硅硅片施加背风片的工艺过程中，由于生产中会产生大量二氧化硅挥发物，而且这些挥发物沉积在常压化学气相沉积炉的重要部件排气罩及氮气罩表面上，积累一定时间后将严重影响单晶硅片表面二氧化硅膜沉积效果，甚至会出现大量诸如小蓝点、大蓝点、空心点、大白点、均匀性不一等表面缺陷，严重影响背封片的产量、质量及验收率。因此需要定期对排气罩进行彻底有效的清理，使排气罩达到一定的洁净度时才能确保背风片的连续性生产。
当前清理排气罩的方法是：使用普通毛刷刷掉排气罩表面的沉积物，然后用吸尘器吸干净。这样做的缺点是因为排气罩内部不是开放式的平整面，而是狭小的有弧度及死角的封闭区域，因此普通毛刷不可能彻底刷干净。同时刷子刷沉积物与吸尘器的吸除不是同步进行，而是先刷后吸，因此会有大量细小的沉积物飘散出来，污染整个生产区域，这对于需要有苛刻环境要求的常压化学气相沉积来说，是致命的。将会严重影响背封片的产量、收率。
实用新型内容
针对现有技术所存在的问题，本实用新型提出了一种常压化学气相沉积炉上排气罩的除尘工具，采用在吸尘器的吸尘软管头端加装一个专用排气罩除尘工具，使其即可轻松刷掉排气罩深处及弧度处的沉积物，也能实现毛刷与吸头一体化吸刷同步，使刷掉的沉积物立刻被吸走，避免了微小颗粒污染环境的问题。
为实现上述发明目的，本实用新型采取的具体技术方案是：一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，主要由加长扁管、毛刷头、刷毛构成；其中加长扁管采用聚氯乙烯材料制做，加长扁管的管口呈矩形状；毛刷头的前端面设计为平面，侧面为圆形弧度面并加工有开孔，其开孔上与毛刷头上粘接的刷毛交叉排列；刷毛采用尼龙材料制做；加长扁管一端与吸尘器上的软管连接，另一端的吸头组装在毛刷头上。
本实用新型所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，可实现对排气罩高效便捷的清扫。使用加长扁管后延长了吸头长度，从而可轻松刷掉排气罩深处及弧度处的沉积物。同时由于毛刷与吸头一体化吸刷同步，刷掉的沉积物立刻被吸走，避免了微小颗粒污染环境的可能。既降低了人员的劳动量，提高工作效率，又大大提高了对排气罩除尘能力，使设备保持最佳的工作状态，最终提高了背封片的产量、收率。收率可以提高一到两个百分点。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型毛刷头开孔状态结构示意图；
图3为加长扁管开口状态结构示意图。
图中：1、加长扁管；2、毛刷头；3、刷毛；4、开孔；5、加长扁管开口；6、吸头。
具体实施方式
下面结合附图给出本实用新型的具体实施方式如下：
如图1、图2、图3所示，所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，主要是由加长扁管1、毛刷头2、刷毛3构成；其中加长扁管1采用聚氯乙烯材料制做，加长扁管1的管口呈矩形状，毛刷头2的前端面设计为平面，侧面设计圆形弧度面并加工有开孔4；开孔4在毛刷头2上且开孔4上与毛刷头2上粘接的刷毛3交叉排列，刷毛3采用尼龙材料制做；加长扁管1一端与吸尘器上的软管连接，另一端的吸头6组装在毛刷头2上。使用时，加长扁管1延长了吸头6的长度，可以轻松刷掉排气罩深处的沉积物，毛刷头2的平面可以清理排气罩内壁及开阔区域的沉积物，毛刷头2的弧度面可以清理排气罩拐角、死角等不平整处的沉积物；同时毛刷头2与加长扁管1的吸头6组合成一体化，刷掉的沉积物立刻被吸走，避免了微小颗粒污染环境。
Claims (3)
1.一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，其特征是：所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具主要是由加长扁管（1）、毛刷头（2）、刷毛（3）构成；其中加长扁管（1）采用聚氯乙烯材料制做，加长扁管（1）的管口呈矩形状；毛刷头（2）的前端面设计为平面，侧面设计圆形弧度面，圆形弧度面上加工有开孔（4）；开孔（4）上与毛刷头（2）上粘接有刷毛（3），加长扁管（1）的一端与吸尘器上的软管连接，另一端吸头（6）组装在毛刷头（2）上。
2.根据权利要求1所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，其特征是：开孔（4）上与毛刷头（2）上粘接的刷毛（3）交叉排列。
3.根据权利要求1所述的一种常压化学气相沉积炉排气罩除尘工具，其特征是：刷毛（3）采用尼龙材料制作。
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Country Status (1)
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2014
- 2014-08-29 CN CN201420491373.9U patent/CN204148160U/zh active Active
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Legal Events
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| GR01 | Patent grant | ||
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