CN204130508U - 一种阻隔杯的溶射治具 - Google Patents
一种阻隔杯的溶射治具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN204130508U CN204130508U CN201420633683.XU CN201420633683U CN204130508U CN 204130508 U CN204130508 U CN 204130508U CN 201420633683 U CN201420633683 U CN 201420633683U CN 204130508 U CN204130508 U CN 204130508U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cup
- column
- diameter
- push rod
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Abstract
本实用新型公开了一种阻隔杯的溶射治具,与阻隔杯相配合,包括底座、立柱和顶杆,所述底座呈圆盘形,该底座水平设置;所述立柱呈圆柱形,该立柱安装在底座的上表面上,且所述立柱的中轴线与所述底座的中心在同一直线上;所述顶杆呈圆柱形,该顶杆安装在所述立柱的上端面上,且所述顶杆的中轴线与所述立柱的中轴线在同一直线上;所述底座的直径大于或等于所述阻隔杯的下端开口的直径;所述立柱的直径小于所述阻隔杯的上端开口的直径;所述顶杆的直径小于所述立柱的直径;所述底座、立柱和顶杆一体成型。本实用新型的溶射治具,操作简单,可保证阻隔杯溶射质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种治具,尤其涉及一种阻隔杯的溶射治具。
背景技术
Applied Meterials(应用材料)所设计的Encore机型为300mm集成电路生产的重要设备,其中阻隔杯(CUP)为设备中核心零件,阻隔杯呈倒置的碗型结构,阻隔杯的中间开设一上、下贯通的通孔,且阻隔杯的上端开口的直径小于阻隔杯的下端开口的直径,阻隔杯主要用途是阻隔电浆能量及提供磁力线圈能量,零件的使用状况集成电路生产的稳定度与品质有着密不可分的关系。
阻隔杯会因使用时间的增加,逐渐的消耗影响生产设备的品质与稳定度。当设备的稳定度或产品品质无法达到需求时,客户的选择都是以报废旧品、更换新品的方式为最终的选择。在成本的支出上是一个沉重的负担。为此在阻隔杯外再覆盖一层铝溶射层,可有效的增加其使用寿命与效能。但由于阻隔杯造型特殊,优良的溶射质量不易提供。
以此为契机,以延长客户端阻隔杯使用寿命、提供优良溶射质量主旨,构思开发新的溶射治具为亟待解决的问题。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷,提供一种阻隔杯的溶射治具,它操作简单容易,可有效的提供优良的溶射质量。
本实用新型的目的是这样实现的:一种阻隔杯的溶射治具,所述阻隔杯呈倒置的碗型结构,所述阻隔杯的中间开设一上、下贯通的通孔,且所述阻隔杯的上端开口的直径小于所述阻隔杯的下端开口的直径,所述阻隔杯的溶射治具包括底座、立柱和顶杆,其中:
所述底座呈圆盘形,该底座水平设置;
所述立柱呈圆柱形,该立柱安装在底座的上表面上,且所述立柱的中轴线与所述底座的中心在同一直线上;
所述顶杆呈圆柱形,该顶杆安装在所述立柱的上端面上,且所述顶杆的中轴线与所述立柱的中轴线在同一直线上;
所述底座的直径大于或等于所述阻隔杯的下端开口的直径;
所述立柱的直径小于所述阻隔杯的上端开口的直径;
所述顶杆的直径小于所述立柱的直径;
所述底座、立柱和顶杆一体成型。
上述的阻隔杯的溶射治具,其中,所述底座、立柱和顶杆均采用不锈钢制成。
本实用新型的阻隔杯的溶射治具,具有以下特点:
1.操作简单容易,仅需要将阻隔杯安装到本实用新型的溶射治具上即可,阻隔杯与溶射治具的结合方式清楚且简单,可有效避免作业人员因为步骤繁多所造成的错误机率;
2.可有效的提供优良的溶射质量,提供集成电路生产设备的生产稳定度为此项技术最大的优势;集成电路生产过程中,会因为零部件的品质差异,对生产稳定度有着不同程度的影响,当生产设备不稳定时,皆需要投入大量的人力、物力、时间去解决,对于分秒必争的集成电路行业,是个沉重的负担;
3.因为此项技术的开发,阻隔杯的品质得以控制并持续保持,可以有效的延长阻隔杯的使用寿命,大幅的降低客户端对于阻隔杯的采购的成本,达成实质上有效的节约;
4.本实用新型的阻隔杯的溶射治具,保养维护容易,由于溶射治具采用不锈钢制作,坚固且耐用,保养仅需要定期清洁外观,以保持溶射治具干净即可。
附图说明
图1为本实用新型的阻隔杯的溶射治具的立体图;
图2为本实用新型的阻隔杯的溶射治具的使用状态图。
具体实施方式
为了能更好地对本实用新型的技术方案进行理解,下面通过具体的实施例并结合附图对本实用新型进行详细的说明。
如图1和图2所示,阻隔杯1呈倒置的碗型结构,阻隔杯1的中间开设一上、下贯通的通孔,且阻隔杯1的上端开口的直径小于阻隔杯1的下端开口的直径。
本实用新型的阻隔杯的溶射治具2,与阻隔杯1相配合,用于阻隔杯1的铝溶射,阻隔杯的溶射治具2包括底座21、立柱22和顶杆23。
底座21呈圆盘形,该底座21水平设置;立柱22呈圆柱形,该立柱22安装在底座21的上表面上,立柱22的中轴线与底座21的中心在同一直线上;顶杆23呈圆柱形,该顶杆23安装在立柱22的上端面上,顶杆23的中轴线与立柱22的中轴线在同一直线上,即顶杆23与立柱22同轴设置。
底座21的直径大于或等于阻隔杯1的下端开口的直径;立柱22的直径小于阻隔杯1的上端开口的直径;顶杆23的直径小于立柱22的直径;底座21、立柱22和顶杆23一体成型。
底座21、立柱22和顶杆23均采用高强度的不锈钢制成,坚固且耐用,保养维护容易,仅需要定期清洁外观,以保持溶射治具干净即可。
底座21、立柱22和顶杆23均采用CNC精密加工切削而成。
本实用新型的阻隔杯的溶射治具2在使用时(如图2所示),将阻隔杯1的通孔套装在立柱22上,阻隔杯1的下端开口与底座21的上表面紧密贴合,然后采用溶射机按照溶射方向3开始溶射,直到铝溶射层充分覆盖于阻隔杯1整体。
综上所述,本实用新型的阻隔杯的溶射治具,操作简单容易,可有效的提供优良的溶射质量。
以上实施例仅供说明本实用新型之用,而非对本实用新型的限制,有关技术领域的技术人员,在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下,还可以作出各种变换或变型,因此所有等同的技术方案也应该属于本实用新型的范畴,应由各权利要求所限定。
Claims (2)
1.一种阻隔杯的溶射治具,所述阻隔杯呈倒置的碗型结构,所述阻隔杯的中间开设一上、下贯通的通孔,且所述阻隔杯的上端开口的直径小于所述阻隔杯的下端开口的直径,其特征在于,所述阻隔杯的溶射治具包括底座、立柱和顶杆,其中:
所述底座呈圆盘形,该底座水平设置;
所述立柱呈圆柱形,该立柱安装在底座的上表面上,且所述立柱的中轴线与所述底座的中心在同一直线上;
所述顶杆呈圆柱形,该顶杆安装在所述立柱的上端面上,且所述顶杆的中轴线与所述立柱的中轴线在同一直线上;
所述底座的直径大于或等于所述阻隔杯的下端开口的直径;
所述立柱的直径小于所述阻隔杯的上端开口的直径;
所述顶杆的直径小于所述立柱的直径;
所述底座、立柱和顶杆一体成型。
2.根据权利要求1所述的阻隔杯的溶射治具,其特征在于,所述底座、立柱和顶杆均采用不锈钢制成。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420633683.XU CN204130508U (zh) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 一种阻隔杯的溶射治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201420633683.XU CN204130508U (zh) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 一种阻隔杯的溶射治具 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN204130508U true CN204130508U (zh) | 2015-01-28 |
Family
ID=52386836
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201420633683.XU Expired - Fee Related CN204130508U (zh) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 一种阻隔杯的溶射治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN204130508U (zh) |
-
2014
- 2014-10-29 CN CN201420633683.XU patent/CN204130508U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN204549357U (zh) | 一种瓷砖翻转装置 | |
CN204130508U (zh) | 一种阻隔杯的溶射治具 | |
CN202690699U (zh) | 一种转轴垫片 | |
CN203585369U (zh) | 一种角座阀的阀芯密封结构 | |
CN202377851U (zh) | 一种插孔送料装置 | |
CN203944719U (zh) | 拉伸模凹模 | |
CN202894086U (zh) | 一种支架生产连续模的上模座 | |
CN203939871U (zh) | 一种球轴承套 | |
CN203969474U (zh) | 一种金镶玉心形吊坠 | |
CN202894033U (zh) | 一种支架生产连续模的上垫板 | |
CN204356363U (zh) | 一种轴套表面淬火夹具 | |
CN204449516U (zh) | 一种齿轮加工用刀架 | |
CN204335796U (zh) | 一种汤圆加工滚面装置 | |
CN203726671U (zh) | 一种塑胶模具深框避空角结构 | |
CN202991164U (zh) | 一种气门弹簧座 | |
CN203141787U (zh) | 带顶针镶套的模具 | |
CN202894035U (zh) | 一种天线生产连续模的上垫板 | |
CN203356667U (zh) | 油缸法兰安装螺孔的加工工装 | |
CN105332116A (zh) | 一种合金钢领座 | |
CN204912355U (zh) | 一种适用于Encore机型的外防着板的整形工具 | |
CN202626466U (zh) | 织造用钢筘 | |
CN203110385U (zh) | 压片机中模结构 | |
CN204323277U (zh) | 一种安全带锁扣支架 | |
CN203698942U (zh) | 一种新型瓶杯 | |
CN202556210U (zh) | 粉末冶金转轴产品抛光工装 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150128 Termination date: 20171029 |