CN204114304U - 一种单晶炉旋阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及单晶炉生产设备技术领域，具体为一种单晶炉旋阀，包括：阀座(1)、阀盖(2)和阀杆(3)；所述阀盖(2)密封于阀座的阀口上，上端中央设置有耳座；所述阀杆(3)的一端与所述阀盖(2)的耳座铰接；还包括阀盖升降旋转装置(6)；所述阀盖升降旋转装置(6)与所述阀杆(3)的另一端紧固连接，用于提升所述阀杆(3)及以阀盖升降旋转装置(6)中的旋转轴线为轴水平旋转所述阀杆(3)。本实用新型改变现有技术中单晶炉旋阀开启及关闭阀盖时的运动方式，通过采用阀盖升降旋转装置，在确保同样实现阀盖开闭的技术效果的前提下，降低单晶炉旋阀在实现开闭功能时所需的空间的高度。

Description

一种单晶炉旋阀

技术领域

本实用新型涉及单晶炉生产设备技术领域，具体为一种单晶炉旋阀。

背景技术

现有技术中位于单晶炉主副室之间的翻板阀采用直立旋转式开合结构。若要打开阀盖，需要通过操作摆臂沿摆臂末端的支点旋转，将中心紧固在摆臂另一端的阀盖掀起。上述结构为了实现阀的开闭功能，所需要的空间较大；在单晶炉设备总高度不变的前提下，上述结构限制了单晶炉设备中副室的设计高度，间接影响到副室中生成单晶棒的长度，进而影响到单晶的生产效率。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

改变现有技术中单晶炉旋阀开启及关闭阀盖时的运动方式，通过采用阀盖升降旋转装置，在确保同样实现阀盖开闭的技术效果的前提下，降低单晶炉旋阀在实现开闭功能时所需的空间的高度。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种单晶炉旋阀，包括：阀座、阀盖和阀杆；所述阀盖密封于阀座的阀口上，上端中央设置有耳座；所述阀杆的一端与所述阀盖的耳座铰接；还包括阀盖升降旋转装置，所述阀盖升降旋转装置与所述阀杆的另一端紧固连接，用于提升所述阀杆及推动所述阀杆水平旋转。

优选地，所述阀盖升降旋转装置包括升降驱动机构和侧移旋转驱动机构；

所述升降驱动机构包括：转轴、第一连接块和驱动转轴上下运动的第一动力装置；所述转轴通过所述第一连接块与所述第一动力装置的输出轴紧固连接；所述转轴与所述阀杆的另一端紧固连接；所述阀座上设置有支架；所述第一动力装置与所述支架紧固连接；

所述侧移旋转驱动机构包括：杆端关节轴承、驱动所述杆端关节轴承做往复运动的第二动力装置和第二连接块；所述杆端关节轴承的杆端与所述第二动力装置的输出端紧固连接；所述杆端关节轴承的轴承端与所述第一连接块铰接；所述第二连接块的一端与所述阀座紧固连接；所述第二连接块的另一端与所述第二动力装置铰接。

优选地，所述第一动力装置和第二动力装置均为气缸。

优选地，所述第一动力装置与所述第一连接块之间连接有浮动接头。

优选地，所述第二动力装置设置有限制输出轴行程的限位环；所述阀盖的耳座的上端紧固连接有用于载物的盖板。

优选地，所述升降驱动机构还包括：紧固密封连接在所述阀座的侧壁的侧室；所述转轴贯穿所述侧室；在转轴贯穿侧室的上端面设置有密封压块；在转轴贯穿侧室的下端面设置有密封座。

优选地，所述单晶炉旋阀还设置有阀后座；所述阀后座与所述阀座通过法兰密封连接；所述阀后座还设置有后盖口，所述后盖口上设置有阀后盖，所述阀后盖与所述阀后座采用翻转式活动连接；所述后盖口与阀后盖之间通过设置有密封圈实现密封。

优选地，还包括：紧固于所述阀座上端面的第一连接法兰和紧固于所述阀座下端面的第二连接法兰。

优选地，所述单晶炉旋阀还包括降温系统；所述降温系统包括分别独立拥有进、出冷却液口的：阀盖降温管路、第一连接法兰降温管路、第二连接法兰降温管路、侧壁降温管路和阀后盖降温管路；所述阀盖降温管路的冷却管路位于所述阀盖盖体内部；所述转轴和所述阀杆的内部均设置有进、回冷却液管路，所述转轴和所述阀杆紧固连接处设置有密封圈；所述转轴和所述阀杆的进、回冷却液管路彼此连通；所述阀杆上设置有进、回冷却液管路接口；所述阀杆上设置的进、回冷却液管路接口与所述阀盖上的进、出冷却液接口通过软管实现连接；所述第一连接法兰降温管路位于所述第一连接法兰内部；所述第二连接法兰降温管路位于所述第二连接法兰内部；所述侧壁降温管路位于所述阀座侧壁的内部；所述阀后盖降温管路位于所述阀后盖内部。

优选地，所述降温系统为水冷降温系统，所使用的冷却液为水。

(三)有益效果

本实用新型采用的阀盖升降旋转装置，在确保同样实现阀盖开闭的技术效果的前提下，降低单晶炉旋阀在实现开闭功能时所需的空间的高度。进而在不改变原单晶炉设备外部结构及单晶炉主室的使用空间的前提下，增加单晶炉副室的使用空间，提高单晶炉设备内部空间的利用率。在增加高度空间后的单晶炉副室内，单晶棒的提拉长度也随之获得进一步的增加，进而提高了单晶的生产效率。

在阀体上新增的阀后盖设计充分利用了阀体的剩余空间，这一设计为阀体内部的清理工作提供了极大的便利。

在阀体上新增的水冷系统能实现对第一连接法兰、第二连接法兰、阀体侧壁、阀座、阀盖、阀后座及阀后盖的降温。

在阀盖上增加载物用盖板，方便使用过程中进行载物。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的不含降温系统的阀体俯视图；

图2是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的不含降温系统的阀体主视图；

图3是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例增加盖板后的不含降温系统的阀体主视图；

图4是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的含降温系统的阀体结构主视图示意图；

图5是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的含降温系统的阀杆与转轴连接剖视图；

图6是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的含降温系统的阀杆与转轴连接剖视图I处局部放大视图；

图7是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的含降温系统的装有上、下法兰盘的阀座结构示意图；

图8是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的含降温系统的阀座结构剖视图；

图9是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的含降温系统的阀体后盖部分结构主视剖视图；

图10是根据本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的含降温系统的阀体后盖部分结构俯视剖视图。

具体实施方式

下面结合说明书附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例仅用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

实施例1：

图1～2所示，本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的不含水冷降温系统的阀体结构示意图。本实用新型一种单晶炉旋阀，包括：阀座1、阀盖2、阀杆3、紧固于所述阀座1上端面的第一连接法兰4和紧固于所述阀座1下端面的第二连接法兰5；所述阀盖2密封于阀座的阀口上，上端中央设置有耳座；所述阀杆3的一端与所述阀盖2的耳座铰接；还包括：阀盖升降旋转装置6；所述阀盖升降旋转装置6与所述阀杆3的另一端紧固连接，用于提升所述阀杆3及推动所述阀杆3水平旋转；所述阀盖升降旋转装置包括升降驱动机构和侧移旋转驱动机构。

所述升降驱动机构还包括：转轴7、第一连接块8和驱动转轴上下运动的第一动力装置9；所述转轴7与所述第一连接块8紧固连接；所述第一连接块8与所述第一动力装置9的输出轴紧固连接；所述转轴7与所述阀杆3的另一端紧固连接；所述阀座1上设置有支架20；所述第一动力装置9与所述支架20紧固连接；

所述侧移旋转驱动机构包括：杆端关节轴承10、驱动所述杆端关节轴承做伸缩运动的第二动力装置11和第二连接块12；所述杆端关节轴承10的杆端与所述第二动力装置11的输出端紧固连接；所述杆端关节轴承10的轴承端与所述第一连接块8销连接；所述第二连接块12的一端与所述阀座1紧固连接；所述第二连接块12的另一端与所述第二动力装置11活动连接。

所述第一动力装置9和第二动力装置11均为气缸；所述第一动力装置9与所述第一连接块8之间连接有浮动接头13；所述第二动力装置11设置有限制输出轴行程的限位环19。

所述升降驱动机构还包括：紧固密封连接在所述阀座1的侧壁的侧室14；所述转轴7贯穿所述侧室14；在转轴贯穿侧室的上端面设置有密封压块15；在转轴贯穿侧室的下端面设置有密封座16。

所述单晶炉旋阀还设置有阀后座26；所述阀后座26与所述阀座1通过法兰27密封连接；所述阀后座26还设置有后盖口，所述后盖口上设置有阀后盖17，所述阀后盖17与所述阀后座26采用翻转式活动连接；所述后盖口与阀后盖17之间通过设置密封圈18实现密封。

图3所示，所述阀盖2的耳座的上端紧固连接有用于载物的盖板32；为使用过程中的载物需求提供便利。

本实施例使上法兰和下法兰之间的高度降低了453.5mm。

实施例2：

图4～10所示，本实用新型一种单晶炉旋阀一个实施例的含降温系统的阀体结构主视图示意图。所述单晶炉旋阀在实施例1的基础上所述单晶炉旋阀还包括降温系统；所述降温系统包括分别独立拥有进、出冷却液口的：阀盖降温管路21、第一连接法兰降温管路22、第二连接法兰降温管路23、侧壁降温管路24和阀后盖降温管路28；

所述阀盖降温管路21的冷却管路位于所述阀盖2盖体内部；所述转轴7和所述阀杆3的内部均设置有进、回冷却液管路33，所述转轴7和所述阀杆3紧固连接处设置有密封圈25；所述转轴7和所述阀杆3的进、回冷却液管路彼此连通；具体结构见图5和图6所示；所述阀杆3上设置有进、回冷却液管路接口；所述阀杆3上设置的进、回冷却液管路接口与所述阀盖2上的进、出冷却液接口通过软管实现连接；所述第一连接法兰降温管路22位于所述第一连接法兰4内部；所述第二连接法兰降温管路23位于所述第二连接法兰5内部；所述侧壁降温管路24位于所述阀座1侧壁的内部；具体结构见图7和图8所示；所述阀后盖降温管路28位于所述阀后盖17内部；具体结构见图9和图10所示；所述降温系统为水冷降温系统，所使用的冷却液为水。

本实施例通过图9和图10所示的阀后盖17的冷却管路结构设计，给出一种实现在阀盖2、阀后盖17、及阀座1侧壁上布置冷却管路的方法，通过在待布置冷却管路的板面上设置立板31布置冷却液通道，在布置好的冷却液通道上密封隔水板30，并在隔水板30上，设置两个水管接头29，使两个水管接头29，分别与所述冷却液通道的进、出口相通，用于作为冷却液的进口和出口。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种单晶炉旋阀，包括：阀座(1)、阀盖(2)和阀杆(3)；所述阀盖(2)密封于阀座的阀口上，上端中央设置有耳座；所述阀杆(3)的一端与所述阀盖(2)的耳座铰接；其特征在于，还包括阀盖升降旋转装置(6)；所述阀盖升降旋转装置(6)与所述阀杆(3)的另一端紧固连接，用于提升所述阀杆(3)及推动所述阀杆(3)水平旋转。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于，所述阀盖升降旋转装置包括升降驱动机构和侧移旋转驱动机构；

所述升降驱动机构包括：转轴(7)、第一连接块(8)和驱动转轴上下运动的第一动力装置(9)；所述转轴(7)通过所述第一连接块(8)与所述第一动力装置(9)的输出轴紧固连接；所述转轴(7)与所述阀杆(3)的另一端紧固连接；所述阀座(1)上设置有支架(20)；所述第一动力装置(9)与所述支架(20)紧固连接；

所述侧移旋转驱动机构包括：杆端关节轴承(10)、驱动所述杆端关节轴承(10)做往复运动的第二动力装置(11)和第二连接块(12)；所述杆端关节轴承(10)的杆端与所述第二动力装置(11)的输出端紧固连接；所述杆端关节轴承(10)的轴承端与所述第一连接块(8)铰接；所述第二连接块(12)的一端与所述阀座(1)紧固连接；所述第二连接块(12)的另一端与所述第二动力装置(11)铰接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于，所述第一动力装置(9)和第二动力装置(11)均为气缸。

4.根据权利要求3所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于，所述第一动力装置(9)与所述第一连接块(8)之间连接有浮动接头(13)。

5.根据权利要求4所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于，所述第二动力装置(11)设置有限制输出轴行程的限位环(19)；所述阀盖(2)的耳座的上端紧固连接有用于载物的盖板(32)。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于，所述升降驱动机构还包括：紧固密封连接在所述阀座(1)的侧壁的侧室(14)；所述转轴(7)贯穿所述侧室(14)；在转轴贯穿侧室的上端面设置有密封压块(15)；在转轴贯穿侧室的下端面设置有密封座(16)。

7.根据权利要求6所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于，所述单晶炉旋阀还设置有阀后座(26)；所述阀后座(26)与所述阀座(1)通过法兰(27)密封连接；所述阀后座(26)还设置有后盖口，所述后盖口上设置有阀后盖(17)，所述阀后盖(17)与所述阀后座(26)采用翻转式活动连接；所述后盖口与阀后盖(17)之间通过设置密封圈(18)实现密封。

8.根据权利要求1～7任一项所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于，还包括：紧固于所述阀座(1)上端面的第一连接法兰(4)和紧固于所述阀座(1)下端面的第二连接法兰(5)。

9.根据权利要求6或7所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于，所述单晶炉旋阀还包括降温系统；所述降温系统包括分别独立拥有进、出冷却液口的：阀盖降温管路(21)、第一连接法兰降温管路(22)、第二连接法兰降温管路(23)、侧壁降温管路(24)和阀后盖降温管路(28)；所述阀盖降温管路(21)的冷却管路位于所述阀盖(2)盖体内部；所述转轴(7)和所述阀杆(3)的内部均设置有进、回冷却液管路(33)，所述转轴(7)和所述阀杆(3)紧固连接处设置有密封圈(25)；所述转轴(7)和所述阀杆(3)的进、回冷却液管路彼此连通；所述阀杆(3)上设置有进、回冷却液管路接口；所述阀杆(3)上设置的进、回冷却液管路接口与所述阀盖(2)上的进、出冷却液接口通过软管实现连接；所述第一连接法兰降温管路(22)位于所述第一连接法兰(4)内部；所述第二连接法兰降温管路(23)位于所述第二连接法兰(5)内部；所述侧壁降温管路(24)位于所述阀座(1)侧壁的内部；所述阀后盖降温管路(28)位于所述阀后盖(17)内部。

10.根据权利要求9所述的一种单晶炉旋阀，其特征在于，所述降温系统为水冷降温系统，所使用的冷却液为水。