CN204076548U - 一种硅片冷却装置

Info

本实用新型公开了一种硅片冷却装置，包括工件板和用于固定连接硅块的玻璃板，所述玻璃板粘接在工件板一侧，所述工件板与玻璃板粘接面上设有冷却槽。通过冷却槽的设计，降低切割装置内温度，减少高温对砂浆的影响，从而克服砂浆积累对硅片的影响，提高了切割硅片的质量，通过提高成品率进一步降低生产成本。

一种硅片冷却装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产加工领域，特别是，涉及一种硅片冷却装置。

背景技术

硅片的切割过程中，会产生大量的热量，导致砂浆内的硅与水会发生化学反应，造成砂浆的粘度急剧升高，而流动性降低，从而使得砂浆夹在相邻两硅片之间不容易滴落并逐渐累积，在硅棒两端产生较大的侧向力，使硅片容易产生外张崩边，甚至会发生断片的严重事故。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种硅片冷却装置，通过冷却槽的设计，降低切割装置内温度，减少高温对砂浆的影响，从而克服砂浆积累对硅片的影响，提高了切割硅片的质量，通过提高成品率进一步降低生产成本。

为解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案如下：

一种硅片冷却装置，包括工件板和用于固定连接硅块的玻璃板，所述玻璃板粘接在工件板一侧，所述工件板与玻璃板粘接面上设有冷却槽。

优选的，所述冷却槽两端设有冷却液进出口。

优选的，所述冷却槽内设有冷却管，所述冷却管在冷却槽两端设有冷却液进出口。

优选的，所述冷却管为金属管。

优选的，所述冷却槽为平行设置的直线型槽。

优选的，所述冷却槽为平行设置的S型槽。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过冷却槽的设计，降低切割装置内温度，减少高温对砂浆的影响，从而克服砂浆积累对硅片的影响，提高了切割硅片的质量，通过提高成品率进一步降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型硅片冷却装置结构示意图；

图2为本实用新型中工件板上直线型槽结构示意图；

图3为本实用新型中工件板上S型槽结构示意图；

其中，1 为工件板，2 为玻璃板，3 为冷却槽。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

如图1所示，为一种硅片冷却装置，包括工件板1、和用于固定连接硅块的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板1一侧，工件板1与玻璃板2粘接面上设有冷却槽3，冷却槽3两端设有冷却液进出口。

实施例1

硅片冷却装置包括工件板1、和用于固定连接硅块的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板1一侧，工件板1与玻璃板2粘接面上设有平行设置的直线型冷却槽3，冷却槽3内设有金属冷却管，冷却管在冷却槽3两端设有冷却液进出口；工件板1和玻璃板2之间采用粘玻璃胶相互粘接，玻璃板2和硅块之间采用粘棒胶相粘接。

实施例2

硅片冷却装置包括工件板1、和用于固定连接硅块的玻璃板2，玻璃板2粘接在工件板1一侧，工件板1与玻璃板2粘接面上设有平行设置的S型冷却槽3，冷却槽3内设有金属冷却管，冷却管在冷却槽3两端设有冷却液进出口；工件板1和玻璃板2之间采用粘玻璃胶相互粘接，玻璃板2和硅块之间采用粘棒胶相粘接。

对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本实用新型权利要求的保护范围之内。

1.一种硅片冷却装置，其特征在于：包括工件板(1)和用于固定连接硅块的玻璃板(2)，所述玻璃板(2)粘接在工件板(1)一侧，所述工件板(1)与玻璃板(2)粘接面上设有冷却槽(3)。

2.如权利要求1所述的硅片冷却装置，其特征在于：所述冷却槽(3)两端设有冷却液进出口。

3.如权利要求2所述的硅片冷却装置，其特征在于：所述冷却槽(3)内设有冷却管，所述冷却管在冷却槽(3)两端设有冷却液进出口。

4.如权利要求3所述的硅片冷却装置，其特征在于：所述冷却管为金属管。

5.如权利要求1-4任一项所述的硅片冷却装置，其特征在于：所述冷却槽(3)为平行设置的直线型槽。

6.如权利要求1-4任一项所述的硅片冷却装置，其特征在于：所述冷却槽(3)为平行设置的S型槽。