CN204045553U - 一种平板清洗支架 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种平板清洗支架，包括支架本体，所述支架本体具有相对于水平面呈倾斜状态的平板支撑面，所述平板支撑面上设置有至少四个凸出于所述平板支撑面的支撑凸点，所述至少四个支撑凸点远离所述平板支撑面的一端位于同一平面上；将平板支撑面设置成倾斜面能够有效的节省平板清洗支架占用的空间；支架本体通过支撑凸点与平板接触，减少了平板与平板支撑面的接触面积，最大限度的避免了平板清洗支架与平板接触时对平板造成的污染；设置有能够使平板垂直于水平面放置的卡槽，使得能够对平板两侧面同时进行冲洗、吹干操作；另外本实用新型所述的平板清洗支架结构简单、拆卸方便适用于多种工作场合。

Description

一种平板清洗支架

技术领域

本实用新型涉及半导体设备加工技术领域，尤其涉及一种平板清洗支架。

背景技术

玻璃掩膜以及层压机镜面钢板在加工过程中都需要进行清洗。如图1所示，公开了一种用于放置玻璃基片的清洗支架。清洗支架包括：支架本体10；支架板20，支架板20为多个，各支架板20分别间隔设置在支架本体10上，相邻的两个支架板20上对应设置有用于放置玻璃基片的多个V型槽；提取杆30，提取杆30与支架本体10或支架板20固定连接。

上述清洗支架结构轻巧，比较适用于清洗尺寸较小的产品，但是随着玻璃掩膜以及压缩机镜面钢板的尺寸增大，上述清洗支架不再适用。

现有技术中对大尺寸玻璃掩膜以及压缩机镜面钢板进行清洗需要采用大型的清洗设备。大型清洗设备在大型企业中能够得到很好的应用。但是因为大型清洗设备购买成本高、占用空间大而且不经常使用、使用频率低，在研发单位以及实验室中使用会造成很大的浪费。因此急需提供一种适用于相对狭小的空间、结构简单、占用空间小、操作方便且能够清洗大尺寸玻璃掩膜以及压缩机镜面钢板的清洗装置。

实用新型内容

本实用新型的一个目的在于：提供一种平板清洗支架，使平板在其上倾斜设置，能够节省空间，适用于实验室、研发中心等场合使用。

本实用新型的另一个目的在于：提供一种平板清洗支架，其具有能够使平板竖直安装的卡槽，使得平板可竖直安装同时对平板两侧面进行冲洗、吹干操作。

本实用新型的再一个目的在于：提供一种平板清洗支架，其在平板支撑面上设置有支撑凸点，减少平面与平板清洗支架的接触面积，减少平板清洗支架对平板的污染。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种平板清洗支架，包括支架本体，所述支架本体具有相对于水平面呈倾斜状态的平板支撑面，所述平板支撑面上设置有至少四个凸出于所述平板支撑面的支撑凸点，所述至少四个支撑凸点远离所述平板支撑面的一端位于同一平面上。

将用于支撑平板的平板支撑面设置为倾斜结构能够有效的减少支架本体所占用的面积，手动清洗过程中便于操作；通过支撑凸点对平板进行支撑能够将平板与支撑面的接触面积降到最小，减少接触位置能够尽量避免平板清洗支架对平板的污染。

作为平板清洗支架的一种优选技术方案，所述支架本体包括相互平行的第一侧板以及第二侧板，所述第一侧板与所述第二侧板上分别具有一条倾斜边，两所述倾斜边位于同一平面内，两所述倾斜边形成所述平板支撑面。

支架本体的主体由相互平行的第一侧板以及第二侧板构成，该结构能够节省平板清洗支架制造原材料，并保证支架本体的刚性，在第一侧板以及第二侧板上加工倾斜面即可形成用于支撑平板的平板支撑面，结构简单、稳定性强。

作为平板清洗支架的一种优选技术方案，所述平板支撑面上的支撑凸点为四个，分别设置在两条倾斜边上靠近两端部的位置。

优选的，所述支撑凸点与对应的侧板为一体式结构，所述支撑凸点为在对应侧板的倾斜边上向远离所述平板支撑面方向延伸的凸起。

进一步的，所述支撑凸点沿其延伸方向横截面积逐渐减小。

支撑凸点与第一侧板以及第二侧板为一体式结构能够保证支撑凸点与相应侧板的连接可靠，支撑凸点沿其延伸方向横截面积逐渐减小能够在保证支撑凸点刚性的同时减小支撑凸点与平板的接触面积。

作为平板清洗支架的一种优选技术方案，所述第一侧板以及第二侧板上位于所述倾斜边的两端分别设置有两平台，位于所述倾斜边较低端的平台的水平高度高于所述倾斜边最低点的水平高度。

倾斜边较低端的平台的水平高度高于所述倾斜边最低点的水平高度使得所述倾斜边较低端的平台与所述倾斜边的连接处形成一台阶结构，平板的最低端抵靠在该台阶结构的侧边处能够防止平板下滑，与支撑凸点一起完成对所述平板的支撑。

作为平板清洗支架的一种优选技术方案，靠近所述相对于水平面呈倾斜状态的平板支撑面的较低端位置设置有垂直于水平面的平板插槽，所述平板插槽位于所述平板支撑面的较低端与所述位于所述倾斜边较低端的平台之间。

垂直于水平面的平板插槽用于将平板插入其中对所述平板的正反两面进行冲洗吹干操作。

作为平板清洗支架的一种优选技术方案，所述第一侧板与所述第二侧板相背的侧面上均设置有至少一个用于限制平板横向移动的侧挡块；位于两侧板上的所述侧挡块数量相同或不同，当位于所述两侧板上的所述侧挡块数量相同时位于两侧板上的侧挡块相互对称设置或非对称设置。

所述第一侧板与所述第二侧板具有相向的侧面以及相背的侧面，侧挡块设置在相背的侧面上使得所述平板放置在平板支撑面上时侧挡块位于平板两侧限制所述平板的横向移动。

所述侧挡块至少在每块侧板上设置一个，具体数量可根据平板的尺寸确定，且两块侧板上侧挡块的数量可以不同，只要可实现对平板的限位即可。

优选的，所述侧挡块设置为可在侧板上滑动的结构，可根据平板的尺寸调整侧挡块的位置，使得侧挡块始终作用在平板的中部位置，保证对平板的限位可靠。

作为平板清洗支架的一种优选技术方案，所述第一侧板与所述第二侧板通过支撑板进行连接，所述第一侧板、所述第二侧板以及所述支撑板上设置有相互配合的卡槽，所述第一侧板与所述支撑板以及所述第二侧板与所述支撑板分别通过所述卡槽卡接。

优选的，所述卡槽为矩形槽，所述支撑板上的卡槽深度为所述支撑板的宽度的一半，所述第一侧板以及所述第二侧板上的卡槽深度均与所述支撑板设置有卡槽的位置剩余的宽度相同，或，所述第一侧板以及所述第二侧板上的卡槽深度小于所述支撑板设置有卡槽的位置剩余的宽度。

作为平板清洗支架的一种优选技术方案，所述支撑板包括位于所述支架本体底部的下支撑板以及位于所述支架本体上部位置且远离所述支撑平面的一侧的背支撑板。

作为平板清洗支架的一种优选技术方案，所述下支撑板为两块，两块所述下支撑板相互平行设置，所述背支撑板通过背支撑板固定块固定在侧板上。

作为平板清洗支架的一种优选技术方案，所述第一侧板以及所述第二侧板上均固定设置有背支撑板固定块，所述背支撑板通过螺栓与所述背支撑板固定块固定连接。

优选的，所述背支撑板固定块成L型结构，其一侧边通过焊接的方式与相应的侧板固定连接，另一侧边上设置有通孔，在所述背支撑板上与所述通孔对应的位置设置有安装孔，所述背支撑板与所述背支撑板固定块通过螺栓穿过所述通孔以及所述安装孔进行连接。

本实用新型的有益效果为：将平板支撑面设置成倾斜面能够有效的节省平板清洗支架占用的空间；支架本体通过支撑凸点与平板接触，减少了平板与平板支撑面的接触面积，最大限度的避免了平板清洗支架与平板接触时对平板造成的污染；设置有能够使平板垂直于水平面放置的卡槽，使得能够对平板两侧面同时进行冲洗、吹干操作；另外本实用新型所述的平板清洗支架结构简单、拆卸方便、适用于多种工作场合。

附图说明

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。

图1为现有技术中一种清洗支架结构示意图。

图2为实施例所述平板清洗支架在安装有平板的状态下的立体结构示意图。

图3为实施例所述平板清洗支架立体结构示意图。

图4为实施例所述平板安装在卡槽状态下的立体结构示意图。

图5为实施例所述平板安装在卡槽状态下的侧视图。

图6为实施例所述侧板结构示意图。

图7为实施例所述侧挡块立体结构示意图。

图8为实施例所述背支撑板固定块立体结构示意图。

图9为实施例所述背支撑板立体结构示意图。

图10为实施例所述下支撑板立体结构示意图。

图1中：

10、支架本体；20、支架板；30、提取杆；

图2至10中：

100、平板；

200、第一侧板；201、第二侧板、；202、支撑凸点；203、倾斜边；204、平台；205、平板插槽；206、固定孔；

300、侧挡块；301、固定面；302、限位面；303、连接面；304、螺栓孔；

400、背支撑板；401、安装孔；

500、下支撑板；

600、背支撑板固定块；

601、通孔。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图2～10所示，本实施例所述的一种平板清洗支架，包括由相互平行的两侧板以及用于固定所述侧板的支撑板组成的支架本体，支架本体上形成相对于水平面呈45°倾斜角的平板支撑面，在平板支撑面上设置有用于支撑平板100时直接与平板100进行接触的支撑凸点202。

相互平行的侧板分别为第一侧板200以及第二侧板201，两侧板为结构完全相同的多边形结构，如图6所示，具有形成平板支撑面的倾斜边203、与地面相接处的底边以及一侧边，在两侧板相对且相互平行设置的情况下两条倾斜边203所在的平面即为平板支撑面。

于本实施例中支撑凸点202为四个，在两块侧板上的倾斜边203上分别设置两个，支撑凸点202与对应的侧板为一体式结构，每块侧板上的支撑凸点202分别设置在该倾斜边203上靠近端部的位置，四个支撑凸点202远离平板支撑面的一端位于与所述平板支撑面相平行的同一平面上。

在第一侧板200以及第二侧板201的倾斜边203的两端部分别形成两个平台204，其中位于倾斜边203较低端的平台204的水平高度高于倾斜边203最低点的水平高度。使得所述倾斜边203较低端的平台204与所述倾斜边203的连接处形成一台阶结构，平板100的最低端抵靠在该台阶结构的侧边处能够防止平板100下滑，与支撑凸点202一起完成对所述平板的支撑。

靠近相对于水平面呈倾斜状态的平板支撑面的较低端位置设置有垂直于水平面且位于平板支撑面的较低端与位于倾斜边203较低端的平台204之间的平板插槽205。该平板插槽205用于将平板100插入其中对平板100的正反两面进行冲洗、吹干操作

第一侧板200与第二侧板201具有相向的侧面以及相背的侧表面，相向的侧面朝向支架本体内部，相背侧面均朝向支架本体外部，在第一侧板200与第二侧板201相背的侧面(即朝向支架本体外部的侧面)上均设置有一个用于限制平板横向移动的侧挡块300；在第一侧板200以及第二侧板201上设置有用于固定侧挡块300的固定孔206，侧挡块300通过固定孔206以及螺栓固定安装在侧板上，且其位置处于倾斜边203的中部。

具体的，侧挡块300结构如图7所示，包括与侧板相固定的固定面301以及用于限位的限位面302，在固定面301与限位面302之间设置有用于连接固定面301与限位面302的连接面303，在固定面301上设置有螺栓孔304，该螺栓孔304与侧板上的固定孔206相对应。

于本实施例中第一侧板200与第二侧板201通过三块支撑板进行连接，所述三块支撑板包括两块位于支架本体底部位置的下支撑板500以及位于支架本体较长的侧边的背支撑板400。

背支撑板400的结构如图9所示，其主体呈矩形结构，在靠近两端部的位置设置有卡槽，该卡槽呈矩形结构，其的宽度与侧板的厚度相对应，深度为背支撑板400宽度的一半，在背支撑板400的两端部与卡槽之间均设置有用于固定背支撑板400的安装孔401。

在第一侧板200以及第二侧板201上与背支撑板400上卡槽相对应的设置有卡槽，背支撑板400与第一侧板200以及第二侧板201之间通过卡槽配合相连接。

在第一侧板200以及第二侧板201上卡槽位置的上方通过焊接的方式固定安装有背支撑板固定块600，如图8所示，所述背支撑板固定块600呈L型结构，其通过一侧面与侧板固定连接，另一侧面上设置有与背支撑板400上安装孔401相对应的通孔601，通过穿过通孔601以及安装孔401的螺栓进一步将背支撑板400与两侧板进行固定。

下支撑板500的结构如图10所示，其主体呈矩形结构，在靠近两端部的位置设置有卡槽，该卡槽呈矩形结构，其的宽度与侧板的厚度相对应，深度为背支撑板400宽度的一半，在第一侧板200以及第二侧板201上与下支撑板500上卡槽相对应的设置有卡槽，下支撑板500与第一侧板200以及第二侧板201之间通过卡槽配合相连接。

本技术方案所述的平板清洗支架可采用两个工位对平板进行安装并清洗，其具体如下：

如图2、4、5所示，为将平板放置在平板清洗支架上进行清洗的状态，其清洗过程如下：

1、首先将清洗支架按照图3中所示的结构进行安装固定。

2、用清洗剂对清洗支架进行刷洗，用净水将清洗支架上的清洗剂冲洗干净。

3、将待清洗平板，如玻璃掩膜或镜面钢板等，斜放在支架上(如图2所示)，按照清洗清洗支架的方式用海绵和清洗剂对平板表面进行涮洗，一面刷洗完成后，翻面进行另一面的刷洗。镜面钢板需要先用磨刷机进行表面磨刷，再用清洗剂进行刷洗。

4、用净水冲洗表面，正面和反面都要冲洗，将清洗剂和刷洗掉的污物冲洗干净。

5、如图4、5所示，将平板100插入平板插槽205，用净水冲洗两面。

6、氮气吹干，用氮气将平板100从上向下吹干，两面吹干后，将平板插槽205内的水吹干，以免在平板100上留下水痕。

7、清洗完成。

于本文的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”，仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

需要声明的是，上述具体实施方式仅仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理，在本实用新型所公开的技术范围内，任何熟悉本技术领域的技术人员所容易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种平板清洗支架，其特征在于,包括支架本体，所述支架本体具有相对于水平面呈倾斜状态的平板支撑面，所述平板支撑面上设置有至少四个凸出于所述平板支撑面的支撑凸点，所述至少四个支撑凸点远离所述平板支撑面的一端位于同一平面上。

2.根据权利要求1所述的平板清洗支架，其特征在于，所述支架本体包括相互平行的第一侧板以及第二侧板，所述第一侧板与所述第二侧板上分别具有一条倾斜边，两所述倾斜边位于同一平面内，两所述倾斜边形成所述平板支撑面。

3.根据权利要求2所述的平板清洗支架，其特征在于，所述平板支撑面上的支撑凸点为四个，分别设置在两条倾斜边上靠近两端部的位置。

4.根据权利要求3所述的平板清洗支架，其特征在于，所述第一侧板以及第二侧板上位于所述倾斜边的两端分别设置有两平台，位于所述倾斜边较低端的平台的水平高度高于所述倾斜边最低点的水平高度。

5.根据权利要求4所述的平板清洗支架，其特征在于，靠近所述相对于水平面呈倾斜状态的平板支撑面的较低端位置设置有垂直于水平面的平板插槽，所述平板插槽位于所述平板支撑面的较低端与所述位于所述倾斜边较低端的平台之间。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的平板清洗支架，其特征在于，所述第一侧板与所述第二侧板相背的侧面上均设置有至少一个用于限制平板横向移动的侧挡块；位于两侧板上的所述侧挡块数量相同或不同，当位于所述两侧板上的所述侧挡块数量相同时位于两侧板上的侧挡块相互对称设置或非对称设置。

7.根据权利要求6所述的平板清洗支架，其特征在于，所述第一侧板与所述第二侧板通过支撑板进行连接，所述第一侧板、所述第二侧板以及所述支撑板上设置有相互配合的卡槽，所述第一侧板与所述支撑板以及所述第二侧板与所述支撑板分别通过所述卡槽卡接。

8.根据权利要求7所述的平板清洗支架，其特征在于，所述支撑板包括位于所述支架本体底部的下支撑板以及位于所述支架本体上部位置且远离所述支撑平面的一侧的背支撑板。

9.根据权利要求8所述的平板清洗支架，其特征在于，所述下支撑板为两块，两块所述下支撑板相互平行设置，所述背支撑板通过背支撑板固定块固定在侧板上。

10.根据权利要求9所述的平板清洗支架，其特征在于，所述第一侧板以及所述第二侧板上均固定设置有背支撑板固定块，所述背支撑板通过螺栓与所述背支撑板固定块固定连接。