CN204028030U - 一种用于检测超纯水中总有机碳的装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提出了一种用于检测超纯水中总有机碳的装置，其包括测量电极、环形UV灯、常闭电磁阀、进水管、出水管、控制检测电路板和液晶显示屏，所述测量电极的一端连接进水管，测量电极的另一端连接出水管，常闭电磁阀安装在出水关上，所述环形UV灯安装在测量电极的一侧，所述控制检测电路板分别与常闭电磁阀、测量电极、环形UV灯和液晶显示屏点连接。本实用新型采用一个电导率电极，来消除电极间的差异，从而准确检测水样中低含量的总有机碳。本实用新型管路密封性好，电路连接可靠，测量精度高。
Description
技术领域
本实用新型涉及超纯水水质检测装置，尤其是涉及一种用于检测超纯水中总有机碳的装置。
背景技术
随着电子工业的急速发展，在电子零件的清洗上需使用大量高纯度的洗净水，尤以集成电路产业对此需求最甚。所以，便发展出相关的技术，尽量除去水中各种杂质。
在高科技产业工艺、设备高度发展的同时，超纯水质量要求日趋严苛，然而，目前超纯水处理技术己可将超纯水水质处理趋近理论极限值，举例而言，超纯水在25℃时，其电阻的理论值为18.25MΩ·cm，而实厂制造的超纯水电阻值可达18.2MΩ·cm，故证明未来要提升超纯水质量确实是一大挑战。但随着工艺线宽缩小，且超纯水中约有95%-96%的污染来自有机物，故超纯水水质其又以总有机碳浓度(Total Organic Carbon, TOC)的要求更为严苛。
传统的直接电导法检测水样中总有机碳时采用两个电导率电极，当水样中的总有碳含量低于20ug/L左右时，两个电极之间的差异大于总有机碳氧化前后的电导率的数值，无法准确检测总有机碳的含量或是需要频繁的补偿差异才能准确检测总有机碳的含量。
实用新型内容
本实用新型目的是针对现有技术所存在的上述技术问题，提供一种管道密封性好，测量精确度高的用于检测超纯水中总有机碳的装置。
为实现上述目的，本实用新型提出了一种用于检测超纯水中总有机碳的装置，其包括测量电极、环形UV灯、常闭电磁阀、进水管、出水管、控制检测电路板和液晶显示屏，所述测量电极的一端连接进水管，测量电极的另一端连接出水管，常闭电磁阀安装在出水关上，所述环形UV灯安装在测量电极的一侧，所述控制检测电路板分别与常闭电磁阀、测量电极、环形UV灯和液晶显示屏点连接。
作为优选，所述测量电极包括外电极、内电极、高纯石英玻璃罩、进水接头、出水接头、内电极固定密封板和温度传感器，所述内电极固定密封板和高纯石英玻璃罩构成一个密闭的腔体，温度传感器安装在腔体内，所述内电极安装在腔体内侧的内电极固定密封板上，腔体的两端分别安装有一个外电极，所述外电极和内电极之间设有液体通道，所述进水接头和出水接头分别安装在腔体两端的外电极的外侧，所述外电极、进水接头和出水接头与液体通道连通。
作为优选，所述内电极固定密封板与内电极之间设有内电极密封O型圈。
作为优选，所述内电极固定密封板与外电极之间设有外电极密封O型圈。
作为优选，所述环形UV灯安装在测量电极的高纯石英玻璃罩外侧。
本实用新型采用一个电导率电极，来消除电极间的差异，从而准确检测水样中低含量的总有机碳。本实用新型管路密封性好，电路连接可靠，测量精度高。
附图说明
图1为本实用新型所述一种用于检测超纯水中总有机碳的装置的结构示意图。
图2为本实用新型所述测量电极的结构图。
具体实施方式
本实用新型的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
如图1所示，一种用于检测超纯水中总有机碳的装置，其包括测量电极1、环形UV灯2、常闭电磁阀3、进水管4、出水管5、控制检测电路板6和液晶显示屏7，所述测量电极1的一端连接进水管4，测量电极1的另一端连接出水管5，常闭电磁阀3安装在出水关5上，所述环形UV灯2安装在测量电极1的一侧，所述控制检测电路板6分别与常闭电磁阀3、测量电极1、环形UV灯2和液晶显示屏7点连接，所述环形UV灯安装在测量电极的高纯石英玻璃罩外侧。
如图2所示，所述测量电极1包括外电极11、内电极12、高纯石英玻璃罩13、进水接头14、出水接头15、内电极固定密封板16和温度传感器17，所述内电极固定密封板16和高纯石英玻璃罩14构成一个密闭的腔体18，温度传感器17安装在腔体18内，所述内电极12安装在腔体18内侧的内电极固定密封板16上，腔体18的两端分别安装有一个外电极11，所述外电极11和内电极12之间设有液体通道19，所述进水接头14和出水接头15分别安装在腔体18两端的外电极11的外侧，所述外电极11、进水接头14和出水接头15与液体通道19连通，所述内电极固定密封板16与内电极12之间设有内电极密封O型圈8，所述内电极固定密封板16与外电极11之间设有外电极密封O型圈9。
本实用新型的工作原理：打开出水管5上的常闭电磁阀3，让水样流进测量电极1；关闭常闭电磁阀5，将水样隔离在内电极12和外电极11之间的液体通道19内，检测其电导率为D0；开启高纯石英玻璃罩14外侧波长为185nm的环形UV灯2，水样在紫外光的照射下，其中的有机物碳被完全氧化成CO2，部分CO2与水生成碳酸，碳酸离解为碳酸根和碳酸氢根，检测此时的电导率为D1；那么水样的电导率在紫外照射氧化前后差值为D2，D2=D1-D0；经研究水样中总有机碳的含量与D2成二次线性关系，通过检测D2的值来计算水样中总有机碳的含量。
本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型结构作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。
Claims (5)
1.一种用于检测超纯水中总有机碳的装置，其特征在于：其包括测量电极、环形UV灯、常闭电磁阀、进水管、出水管、控制检测电路板和液晶显示屏，所述测量电极的一端连接进水管，测量电极的另一端连接出水管，常闭电磁阀安装在出水关上，所述环形UV灯安装在测量电极的一侧，所述控制检测电路板分别与常闭电磁阀、测量电极、环形UV灯和液晶显示屏点连接。
2.如权利要求1所述的一种用于检测超纯水中总有机碳的装置，其特征在于：所述测量电极包括外电极、内电极、高纯石英玻璃罩、进水接头、出水接头、内电极固定密封板和温度传感器，所述内电极固定密封板和高纯石英玻璃罩构成一个密闭的腔体，温度传感器安装在腔体内，所述内电极安装在腔体内侧的内电极固定密封板上，腔体的两端分别安装有一个外电极，所述外电极和内电极之间设有液体通道，所述进水接头和出水接头分别安装在腔体两端的外电极的外侧，所述外电极、进水接头和出水接头与液体通道连通。
3.如权利要求2所述的一种用于检测超纯水中总有机碳的装置，其特征在于：所述内电极固定密封板与内电极之间设有内电极密封O型圈。
4.如权利要求2所述的一种用于检测超纯水中总有机碳的装置，其特征在于：所述内电极固定密封板与外电极之间设有外电极密封O型圈。
5.如权利要求1所述的一种用于检测超纯水中总有机碳的装置，其特征在于：所述环形UV灯安装在测量电极的高纯石英玻璃罩外侧。
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| CN105372300A (zh) * | 2015-11-27 | 2016-03-02 | 上海康雷分析仪器有限公司 | 一种超纯水用toc检测装置 |
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