CN204008500U - 晶硅片切割液清洁度在线检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种晶硅片切割液清洁度在线检测装置，旨在解决目前采用传统检测方式检测周期长、清洁度在生产时不能实时检测、造成生产效率低的技术问题，包括过滤池、清洁度监测机构；所述清洁度监测机构包括设置于所述过滤池内的清洁度检测计、与该清洁度检测计对应连接的主控单元，在所述过滤池的底部设置有出液口，该装置还包括与所述出液口对应连通的离心泵，在所述离心泵的出口端连接有与该出口连通的回流阀、排液阀，所述回流阀、排液阀与所述主控单元对应连接，所述离心泵经由对应的继电器与所述主控单元对应连接。本实用新型缩短了检测时间，避免了检测结果滞后的影响，同时保证了切割液生产产品的连续性和稳定性，提高了生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种晶硅片切割液清洁度在线检测装置，尤其涉及一种应用于晶硅片切割液生产技术领域中的晶硅片切割液清洁度在线检测装置。
背景技术
晶硅片切割液在生产过程中采用固液分离技术，即将切割液中大部分的固体颗粒分离出来，再通过多孔活性炭吸附脱色和过滤的方法，对分离出的液体进行提纯处理，去除切割液中的细小颗粒等杂质，提高切割液的清洁度，使其最终成为无色透明的液体，以达到产品性能指标要求。在整个切割液的生产过程中，清洁度是产品品质高低的重要衡量指标，在切割液的生产过程中需要频繁的检测切割液的清洁度，以保证产品质量合格品质稳定。目前监测切割液清洁度的主要方法是在生产现场取样，而后送到质检室检测化验，等检测结果出来后再反馈给生产线。而生产现场往往需要等待检测结果出来后，来判断生产的产品清洁度是否合格，若不合格需要调整相关生产参数来保证产品质量等等。这类监测方法造成整个清洁度检测的时间较长，检测结果滞后，造成生产现场等待时间太久、生产效率降低，对生产的连续性和稳定性造成影响。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，适应现实需要，提供一种晶硅片切割液清洁度在线检测装置，旨在解决目前采用传统检测方式检测周期长、清洁度在生产时不能实施检测、造成生产效率低的技术问题。
为了实现本实用新型的目的，本实用新型所采用的技术方案为：
设计一种晶硅片切割液清洁度在线检测装置，包括过滤池、清洁度监测机构；所述清洁度监测机构包括设置于所述过滤池内的清洁度检测计、与该清洁度检测计对应连接的主控单元，在所述过滤池的底部设置有出液口，该装置还包括与所述出液口对应连通的离心泵，在所述离心泵的出口端设有回流阀、排液阀，所述回流阀、排液阀与所述主控单元对应连接，所述离心泵经由对应的继电器与所述主控单元对应连接。
所述过滤池由无色透明的工程塑料制成。
在所述过滤池侧壁设置有灯箱，并在所述灯箱内设置有灯管。
所述清洁度监测机构还包括与所述主控单元对应连接的上位机。
所述清洁度监测机构还包括与所述主控单元对应连接的用于显示清洁度结果的显示设备。
所述主控单元为PLC，所述显示设备为显示屏，所述显示屏经由对应的A/D转换器与所述主控单元对应连接。
本实用新型的有益效果在于：
本装置可实现在线实时检测及自动处理，并将检测的清洁度的检测结果通过现场的显示屏予以显示，同时输出值控制室内上位机中实现远程监控，缩短了检测时间，避免了检测结果滞后的影响，同时保证了切割液生产产品的连续性和稳定性，同时也避免了人工频繁取样、送样及检测的繁琐性，降低了员工的劳动强度，提高了生产效率。
附图说明
图1为本实用新型主要结构示意图；
图2为本实用新型电气控制原理示意图；
图中：1.过滤池；2.清洁度检测计；3.灯箱；4.灯管；5.离心泵；6.回流阀；7.排液阀；8.出液口。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：
实施例1：一种晶硅片切割液清洁度在线检测装置。参见图1，图2，包括由无色透明的工程塑料制成的过滤池1、清洁度监测机构；所述的清洁度监测机构包括设置于过滤池1内的清洁度检测计2、与该清洁度检测计2对应连接的PLC、经由对应的A/D转换器与PLC对应连接的用于显示清洁度检测结果的显示屏，该清洁度监测机构还包括与PLC对应连接的用于实现远程实施监测的上位机。在上述的过滤池1的底部设置有出液口8，该晶硅片切割液清洁度在线检测装置还包括与上述出液口8对应连通的离心泵5，在该离心泵5的出口处连接有与该出口连通的回流阀6、排液阀7，上述的离心泵5经由对应的继电器与PLC对应连接，上述的回流阀6、排液阀7均为电磁阀，且均与PLC对应连接。在上述的过滤池1的侧壁上还设置有灯箱3，并在灯箱内设置有灯管4。
本实用新型的工作过程如下：
待检测的切割液首先进入过滤池1内，并由清洁度监测机构进行检测，检测的结果显示在显示屏上，有利于操作人员直观的观察到，同时PLC将检测结果输出至控制室内的上位机中，当清洁度监测机构检测的切割液的清洁度合格时，PLC控制关闭回流阀6、打开排液阀7，合格的切割液通过排液阀7由离心泵5打走；当清洁度监测机构检测到的切割液不合格时，PLC控制关闭排液阀7、打开回流阀6，不合格的切割液通过回流阀6由离心泵打入上个工序中，再次进行脱色过滤系统重新脱色过滤，之后再次进入过滤,1内进行上述步骤，在上述步骤实施时可打开灯管，由于过滤池是无色透明的，灯管的光线照入到切割液中，操作人员可直观快速的判断切割液的大致清洁程度。
本实施例公布的是较佳的实施例，但并不局限于此，本领域的普通技术人员，极易根据上述实施例，领会本实用新型的精神，并做出不同的引申和变化，但只要不脱离本实用新型的精神，都在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种晶硅片切割液清洁度在线检测装置，包括过滤池、清洁度监测机构；其特征是：所述清洁度监测机构包括设置于所述过滤池内的清洁度检测计、与该清洁度检测计对应连接的主控单元，在所述过滤池的底部设置有出液口，该装置还包括与所述出液口对应连通的离心泵，在所述离心泵的出口端设有回流阀、排液阀，所述回流阀、排液阀与所述主控单元对应连接，所述离心泵经由对应的继电器与所述主控单元对应连接。
2. 如权利要求1所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：所述过滤池由无色透明的工程塑料制成。
3.如权利要求2所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：在所述过滤池侧壁设置有灯箱，并在所述灯箱内设置有灯管。
4.如权利要求1所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：所述清洁度监测机构还包括与所述主控单元对应连接的上位机。
5.如权利要求4所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：所述清洁度监测机构还包括与所述主控单元对应连接的用于显示清洁度结果的显示设备。
6.如权利要求5所述的晶硅片切割液清洁度在线检测装置，其特征是：所述主控单元为PLC，所述显示设备为显示屏，所述显示屏经由对应的A/D转换器与所述主控单元对应连接。
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| CN201420344966.2U CN204008500U (zh) | 2014-06-26 | 2014-06-26 | 晶硅片切割液清洁度在线检测装置 |
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| CN201420344966.2U CN204008500U (zh) | 2014-06-26 | 2014-06-26 | 晶硅片切割液清洁度在线检测装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104950081A (zh) * | 2015-06-17 | 2015-09-30 | 彭伟 | 一种列管换热器的清洁率在线测试方法及装置 |
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2014
- 2014-06-26 CN CN201420344966.2U patent/CN204008500U/zh not_active Expired - Fee Related
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Granted publication date: 20141210 Termination date: 20180626 |