CN203990236U - 一种排气管道气液分离装置 - Google Patents

Abstract

一种排气管道气液分离装置，其通过弯管的一端与真空泵的出口相连，弯管的另一端连接一个三通，三通的上方连接尾气的排放管道，三通的下方依次连接有第一阀门、储存罐和第二阀门；其中弯管可实现尾气的顺畅流动，储存罐采用透明耐腐蚀的聚氯乙烯(PVC)等材料制作，以对酸性液体进行储存并方便观察酸性液体的液位，第一阀门打开并且第二阀门关闭，可实现对尾气中的酸性液体的收集，第一阀门关闭并且第二阀门打开，可实现对储存罐中的酸性液体的排放；该排气管道气液分离装置能方便简捷的实现尾气中残留酸性液体的收集和排放，避免酸性液体对管道的腐蚀和对环境的污染。

Description

一种排气管道气液分离装置

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造技术中的化工排气领域，更具体地说，涉及一种排气管道气液分离装置。

背景技术

在集成电路生产过程中，如半导体刻蚀工艺中，部分工艺尾气中含有水汽和其他酸性气体，在经过处理并达到排放标准后，这些混合气体需要经过抽气装置如真空泵并进入排气管道进行排放，以免对环境造成污染。

然而，在排放过程中，由于温度降低，混合气体中的水汽会液化，并和尾气中的其他酸性气体结合后，会形成酸液留存在排气管道中；这些酸液会对管道产生腐蚀作用，导致排气管道泄漏，造成工厂环境的严重污染；请参照图1，图1为原真空泵和排气管道的结构示意图；真空泵1通过排气管道2把达到排放标准的含有水汽和其他酸性气体的尾气排放到厂房之外，但因为混合气体中的水汽会和酸性气体结合并形成酸液，造成排气管道2腐蚀泄漏，污染了工厂环境。

在现有技术中，针对酸性气体在排放过程中的液化问题，目前业界的先进方法是，提高排放气体的温度，一般要求排放气体的温度达到150摄氏度以上，则排放气体中的水汽和其他酸性气体就不会结瘤液化。

然而，本领域技术人员清楚，目前的这种提高排放气体温度的方法，会造成能源的浪费，并且排放气体温度的提高，排放管道等设备的耐温等级需要提高，则引起了设备成本的提高，并导致了设备维护难度的增加。

因此，本领域的技术人员致力于开发一种有效的排气管道气液分离装置，以方便简洁的方法对排气管道中的酸性液体进行排除。

实用新型内容

有鉴于现有技术的上述缺陷，本实用新型的目的在于一种有效的排气管道气液分离装置，以方便简捷的方法对排气管道中的酸性液体进行排除。

为实现上述目的，本实用新型提供了一种排气管道气液分离装置，其通过弯管的一端与真空泵的出口相连，弯管的另一端连接一个三通，三通的上方连接尾气的排放管道，三通的下方依次连接有第一阀门、储存罐和第二阀门；其中弯管可实现尾气的顺畅流动，储存罐采用透明耐腐蚀的聚氯乙烯(PVC)等材料制作，以对酸性液体进行储存并方便观察酸性液体的液位，第一阀门打开并且第二阀门关闭，可实现对尾气中的酸性液体的收集，第一阀门关闭并且第二阀门打开，可实现对储存罐中的酸性液体的排放；该排气管道气液分离装置能方便简捷的实现尾气中残留酸性液体的收集和排放，避免酸性液体对管道的腐蚀和对环境的污染。本实用新型的技术方案如下：

一种排气管道气液分离装置，所述排气管道连接用于排出生产设备中尾气的抽气装置，所述气液分离装置设于所述抽气装置与所述排气管道之间，包括依次向下连接的第一阀门、储液罐和第二阀门，所述第一阀门通过一个三通管分别连接所述排气管道及所述抽气装置，所述排气管道与所述第一阀门的连接段为可使冷凝尾气降落的上升管段，所述排气管道保持在与外界隔离的条件下排出生产设备中的尾气。

优选地，所述储液罐设有液位指示单元。

优选地，所述液位指示单元是所述储液罐罐壁的透明观察窗口。

优选地，所述液位指示单元是所述储液罐设有的电容式液位计。

优选地，还包括一段弯管，所述弯管的一端与所述抽气装置的出口相连，所述弯管的另一端连接所述三通的水平连接口。

优选地，还包括一段回流管，所述回流管连接在所述弯管与所述三通之间，所述回流管的内径大于所述弯管的内径，所述回流管水平布置，所述回流管的轴线穿过所述弯管管口的中心点。

此处设计的目的在于，所述抽气装置指真空泵等装置，所述弯管可实现尾气的顺畅流动，储存罐可以采用透明耐腐蚀的聚氯乙烯(PVC)或聚四氟乙烯(PTFE)或聚丙烯(PP)材料制作，以对酸性液体进行储存并方便观察酸性液体的液位；排放尾气时，第一阀门打开并且第二阀门关闭，可实现所述排气管道保持在与外界隔离的条件下排出生产设备中的尾气，并实现对尾气中的酸性液体的收集；第一阀门关闭并且第二阀门打开，可实现对储存罐中的酸性液体的排放,并且可以有效的防止出现酸性液体排放时排气管道内的负压把酸性液体吸进排气管道的风险；所述回流管的内径大于所述弯管的内径，所述回流管的轴线穿过所述弯管管口的中心点，以使弯管管口与回流管管口在安装时留有高度差，以储存回流液体，并防止酸性液体回流到弯管内。

优选地，所述第一阀门、所述储存罐和所述第二阀门同轴线，所述轴线垂直于水平面方向。

优选地，还包括一段补充空气管和一个单向阀，所述补充空气管的一端连接在所述排气管道的靠近与三通管的连接入口处，所述补充空气管的另一端与所述单向阀的出风口端连接。

优选地，所述补充空气管轴线与垂直的所述排气管道轴线呈30～80度的夹角设置，且所述补充空气管的出口朝向所述排气管道的上方设置。

此处设计的目的在于，补充空气管向排气管道内吹入冷空气，对尾气进行冷却，以有效地使尾气中的水汽和酸性气体液化并回流至所述储存罐中。

从上述技术方案可以看出，本实用新型一种排气管道气液分离装置，其通过弯管的一端与真空泵的出口相连，弯管的另一端连接一个三通，三通的上方连接尾气的排放管道，三通的下方依次连接有第一阀门、储存罐和第二阀门；其中弯管可实现尾气的顺畅流动，储存罐采用透明耐腐蚀的聚氯乙烯(PVC)等材料制作，以对酸性液体进行储存并方便观察酸性液体的液位，第一阀门打开并且第二阀门关闭，可实现对尾气中的酸性液体的收集，第一阀门关闭并且第二阀门打开，可实现对储存罐中的酸性液体的排放；该排气管道气液分离装置能方便简捷的实现尾气中残留酸性液体的收集和排放，避免酸性液体对管道的腐蚀和对环境的污染。

以下将结合附图对本实用新型的构思、具体流程及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本实用新型的目的、特征和效果。

附图说明

图1为原真空泵和排气管道的结构示意图；

图2为本实用新型的气液分离装置连接在原真空泵和排气管道上的结构示意图。

图中，1为真空泵，2为排气管道，3为弯管，4为回流管，5为补充空气管，6为三通，7为法兰，8为第一阀门，9为储存罐，10为第二阀门，11为单向阀。

具体实施方式

下面结合附图2，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

需要说明的是，在下述实施例中，以处理半导体刻蚀工艺中产生的尾气为例进行说明。

请参阅图2，图2为本实用新型的气液分离装置连接在原真空泵和排气管道上的结构示意图；其说明了一种排气管道气液分离装置，所述分离装置连接在真空泵1的出口与排气管道2的入口之间，所述分离装置包括弯管3、三通6、法兰7、第一阀门8、储存罐9和第二阀门10；所述弯管3的一端与所述真空泵1的出口相连，所述弯管3的另一端连接所述三通6的水平接口，所述三通6的上方连接所述排放管道，所述三通6的下方连接所述法兰7，所述法兰7下方依次连接所述第一阀门8、所述储存罐9和所述第二阀门10；在实施例中，所述第一阀门8、所述储存罐9和所述第二阀门10的材质为透明耐腐蚀的聚氯乙烯(PVC)材质；所述三通6和所述法兰7的材质为不锈钢的材质；在实施例中，所述法兰7、所述第一阀门8、所述储存罐9和所述第二阀门10同轴线，所述轴线垂直于水平面方向；所述储存罐9内腔的上部为圆柱形结构，下部为锥形结构，所述锥形结构的小直径一端与第二阀门10的入口连接。

弯管3可实现尾气的顺畅流动，储存罐9采用透明耐腐蚀的聚氯乙烯(PVC)材料制作，以对酸性液体进行储存并方便观察酸性液体的液位，排放尾气时，第一阀门8打开并且第二阀门10关闭，可实现对尾气中的酸性液体的收集；而当第一阀门8关闭并且第二阀门10打开时，可实现对储存罐9中的酸性液体的排放,并且可以有效的防止出现酸性液体排放时排气管道2内的负压把酸性液体吸进排气管道2的风险；所述储存罐9内腔的上部为圆柱形结构，下部为锥形结构，所述锥形结构的小直径一端与第二阀门10的入口连接，以起到导流作用，并提高储存罐9储存酸性液体的能力。

在实施例中，还包括一段回流管4、一段补充空气管5和一个单向阀11，所述回流管4连接在所述弯管3与所述三通6之间，所述回流管4的内径大于所述弯管3的内径，所述回流管4的轴线穿过所述弯管3管口的中心点，以使弯管3管口与回流管4管口在安装时留有高度差，以储存回流液体；所述补充空气管5的一端连接于所述三通6上方的所述排气管道2的入口处，避免补充空气吹向弯管，所述补充空气管5的另一端与所述单向阀11的出风口端连接；所述补充空气管5轴线与垂直的所述排气管道2轴线呈30度的夹角设置，且所述补充空气管5的出口朝向所述排气管道2的上方设置。

所述回流管4的内径大于所述弯管3的内径，所述回流管4的轴线穿过所述弯管3管口的中心点，以使弯管3管口与回流管4管口在安装时留有高度差，以储存回流液体，并防止酸性液体回流到弯管3内；补充空气管5向排气管道2内吹入冷空气，对尾气进行冷却，以有效地使尾气中的水汽和酸性气体液化并回流至所述储存罐9中。

在另一实施例中，所述第一阀门8和所述第二阀门10为电磁自动控制阀，所述储存罐9设置有电容式液位计，所述第二阀门10的出口连接有排液管道，所述排液管道连接有酸性液体回收装置；通过电容式液位计对储存罐9内的液位进行检测，并通过控制系统可实现对所述第一阀门8和所述第二阀门10的自动控制以达到自动排放酸液的目的。

从上述实施方案可以看出，本实用新型一种排气管道气液分离装置，其通过弯管3的一端与真空泵1的出口相连，弯管3的另一端连接一个三通6，三通6的上方连接尾气的排放管道，三通6的下方连接一个法兰7，法兰7下方依次连接有第一阀门8、储存罐9和第二阀门10；其中弯管3可实现尾气的顺畅流动，储存罐9采用透明耐腐蚀的聚氯乙烯(PVC)材料制作，以对酸性液体进行储存并方便观察酸性液体的液位，第一阀门8打开并且第二阀门10关闭，可实现对尾气中的酸性液体的收集；第一阀门8关闭并且第二阀门10打开，可实现对储存罐9中的酸性液体的排放；该排气管道2气液分离装置能方便简捷的实现尾气中残留酸性液体的收集和排放，避免酸性液体对管道的腐蚀和对环境的污染。

以上所述的仅为本实用新型的优选实施例，所述实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种排气管道气液分离装置，所述排气管道连接用于排出生产设备中尾气的抽气装置，其特征在于，所述气液分离装置设于所述抽气装置与所述排气管道之间，包括依次向下连接的第一阀门、储液罐和第二阀门，所述第一阀门通过一个三通管分别连接所述排气管道及所述抽气装置，所述排气管道与所述第一阀门的连接段为可使冷凝尾气降落的上升管段，所述排气管道保持在与外界隔离的条件下排出生产设备中的尾气。

2.如权利要求1所述的排气管道气液分离装置，其特征在于，所述储液罐设有液位指示单元。

3.如权利要求2所述的排气管道气液分离装置，其特征在于，所述液位指示单元是所述储液罐罐壁的透明观察窗口。

4.如权利要求2所述的排气管道气液分离装置，其特征在于，所述液位指示单元是所述储液罐设有的电容式液位计。

5.如权利要求1所述的排气管道气液分离装置，其特征在于，还包括一段弯管，所述弯管的一端与所述抽气装置的出口相连，所述弯管的另一端连接所述三通的水平连接口。

6.如权利要求5所述的排气管道气液分离装置，其特征在于，还包括一段回流管，所述回流管连接在所述弯管与所述三通之间，所述回流管的内径大于所述弯管的内径，所述回流管水平布置，所述回流管的轴线穿过所述弯管管口的中心点。

7.如权利要求1所述的排气管道气液分离装置，其特征在于，所述第一阀门、所述储存罐和所述第二阀门同轴线，所述轴线垂直于水平面方向。

8.如权利要求1所述的排气管道气液分离装置，其特征在于，还包括一段补充空气管和一个单向阀，所述补充空气管的一端连接在所述排气管道的靠近与三通管的连接入口处，所述补充空气管的另一端与所述单向阀的出风口端连接。

9.如权利要求8所述的排气管道气液分离装置，其特征在于，所述补充空气管轴线与垂直的所述排气管道轴线呈30～80度的夹角设置，且所述补充空气管的出口朝向所述排气管道的上方设置。