CN203889251U - 防涡流出液装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种防涡流出液装置,其设于液体容器底部,其包括与液体容器底部相连的出液管以及设于出液管上的具有多个出水通道以改变水流形态的导流件,每个出水通道均具有进水口与出水口,该多个出水通道的进水口分布于该出液管周围且出水口与出液管相通。本实用新型通过设置多个导流件,形成多个导流通道,改变液体容器底部出液口的水流方向,从而降低和防止涡流的产生,避免产生涡流对设备、工艺带来的不利影响。对于量产型设备来说,可以始终保持流量稳定,减少误报警,降低维护成本;对于实验性设备来说,可以保证液体化学品使用的最大化,避免因降低漩涡所可能造成的浪费。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体集成电路设备技术领域,尤其涉及一种可防止漩涡产生的出液装置。
背景技术
在半导体领域,液体化学品供给是酸槽清洗、化学电镀、化学机械研磨工艺得以实现的重要组成部分,供给是否稳定及时对工艺及生产也会产生巨大影响。
液体化学品一般放在化学品桶体内,现有的化学品桶体一般底部直接连接出液管,当液位下降到一定高度时,就会产生漩涡,漩涡的产生和漩涡的大小与出液口的大小以及化学品流速又有直接影响。当桶体内产生漩涡时,会有大量空气随漩涡进入出液管,使管路里产生大量气泡,导致出液的流量不稳定,气泡对部分感应装置的工作会产生影响,气泡进入泵时又会增加泵的损耗,而当气泡进入设备时对设备工艺又会产生一定影响。
现有减少漩涡的手段主要是根据实际情况在桶体内设置一个安全存量,即控制漩涡大小与流量稳定之间达到一个平衡点,其缺点就是桶体内始终要留有一定量的旧化学品,会对新补充化学品的品质有影响,长时间使用还容易产生结晶等情况,增加维护成本。对一些评估类的化学品,因为需要保留安全存量,很有可能造成这些存量无法使用而造成浪费。
可见,如何在液体化学品桶体内设计一种防涡流的出液装置,在出液过程中防止漩涡涡流的产生,避免由涡流带来的不利影响,是本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
实用新型内容
本实用新型的目的在于弥补上述现有技术的不足,提供一种防涡流出液装置,通过设置多个导流通道,改变出液口的水流方向,从而降低和防止涡流的产生。
为实现上述目的,本实用新型提供一种防涡流出液装置,其设于液体容器底部,其包括与液体容器底部相连的出液管以及设于出液管上的具有多个出水通道以改变水流形态的导流件,每个出水通道均具有进水口与出水口,该多个出水通道的进水口分布于该出液管周围且出水口与出液管相通。
本实用新型的一个具体技术方案中,该导流件包括上水平导流板、下水平导流板及其 两者之间的多个垂直导流板,该下水平导流板具有与出液管相通的孔,该垂直导流板分布于该孔的周围以形成多个出水通道。
进一步地,该垂直导流板具有长边,以该长边延长线与该孔相交的方向设置垂直导流板。
进一步地,该导流件具有八个垂直导流板,其长边延长线相交于同轴,且平均分布于该孔的周围。
进一步地,该上水平导流板为中间向上隆起的弧面盖板。
进一步地,该上水平导流板边缘与液体容器内壁的距离是该液体容器内径的1/50-1/3。
本实用新型的另一个具体技术方案中,该导流件包括多个与出液管相通的吸水管以形成多个出水通道,该多个吸水管的管口向下而设且分布于出液管周围。
进一步地,该吸水管具有向上弯曲的弯曲段,其管口设于弯曲段下端。
进一步地,该导流件具有四个吸水管,管口平均分布于出液管周围。
进一步地,该吸水管管口距离液体容器底面1-10cm。
本实用新型提供的防涡流出液装置,通过设置多个导流件,形成多个导流通道,改变液体容器底部出液口的水流方向,从而降低和防止涡流的产生,避免产生涡流对设备、工艺带来的不利影响。对于量产型设备来说,可以始终保持流量稳定,减少误报警,降低维护成本;对于实验性设备来说,可以保证液体化学品使用的最大化,避免因降低漩涡所可能造成的浪费。
附图说明
为能更清楚理解本实用新型的目的、特点和优点,以下将结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细描述,其中:
图1是本实用新型第一实施例防涡流出液装置的剖面示意图;
图2是第一实施例防涡流出液装置的立体示意图;
图3是本实用新型第二实施例防涡流出液装置的剖面示意图;
图4是第二实施例防涡流出液装置的俯视示意图。
具体实施方式
第一实施例
请参阅图1和图2,本实施例中,防涡流出液装置设于液体容器16的底部,其包括 与液体容器16底部相连并伸出的出液管11以及设于出液管上的导流件,该导流件具有多个出水通道而与出液管相通。
其中,导流件包括上水平导流板12、下水平导流板14以及上下水平导流板之间固定的垂直导流板13,下水平导流板14中间具有与出液管11相通的孔15,垂直导流板13分布于孔15周围以形成多个出水通道。
本实施例中,垂直导流板13具有长边,以该长边延长线与孔15相交的方向设置垂直导流板13,即多个垂直导流板13呈辐射状,以利于液体通过。本实施例采用八个平均分布的垂直导流板13,且其长边延长线相交于同轴,以使得每个出水通道具有相同的形状和大小,保证每个出水通道流经的液体流速相同,进一步降低和防止涡流的产生。
本实施例中,上水平导流板12的中间向上隆起而呈弧面盖板,以利于出液装置上方的液体从上水平导流板12的边缘向下流动;本实施例中,上水平导流板12边缘与液体容器16内壁的距离是液体容器16内径的1/10,以保证出液装置防涡流的效果,较佳地距离是液体容器内径的1/50-1/3之间。
实际应用中,本实施例的上水平导流板12、下水平导流板14和垂直导流板13焊接在一起,并固定在出液管11顶端,液体水流在向下流动的过程中,先经过上水平导流板12后水流方向由向下变为横向,从上水平导流板12边缘流下后,再经过垂直导流板13形成的出水通道,水流方向由外侧向中心的出液管11流动,并被垂直导流板13阻挡而引导,进一步改变了水流的形态,从而降低或防止漩涡涡流的产生。
第二实施例
请参阅图3和图4,本实施例中,防涡流出液装置设于液体容器26的底部,其包括与液体容器26底部相连并伸出的出液管21以及设于出液管上的导流件,该导流件具有多个出水通道而与出液管相通。
其中,导流件包括多个与出液管21相通的吸水管22,吸水管22的管口23向下而分布于出液管21周围。
本实施例中,吸水管22具有向上弯曲的弯曲段,其管口23设于弯曲段的下端,形成类似倒斜U形,目的是为了让水流向上流动,经过弯曲段顶峰后再从出液管21流出,从而降低或防止涡流的产生,因此,在其他实施例中,吸水管也可以是L型的两段直管段,但以本实施例的弯曲状为佳,有利于水流的流动方向。
本实施例中,导流件包括四个吸水管22,并平均分布于出液管21周围,使得液体容器26底部水流被均匀导出,以利于降低或防止涡流的产生。此外,吸水管管口23距离液体容器底面3cm,以保证出液装置防涡流的效果,较佳地距离是液体容器内径的1-10cm之间。
实际应用中,本实施例的吸水管22固定在出液管21顶端,液体水流在压力作用下(自身压力或外部压力,如泵)由吸水管管口23进入吸水管22,水流方向由直接向下变为先向上,经过吸水管22顶峰之后再向下流出出液管21,从而改变水流形态,来降低或防止涡流的产生。
上述两个实施例分别以两种形式的导流件实现本实用新型的发明目的,但本实用新型的保护范围不仅限于此,任何可使出液装置具有多个出水通道的导流件,均可实现本发明目的,从而受本实用新型的保护。
Claims (10)
1.一种防涡流出液装置,其设于液体容器底部,其特征在于:其包括与液体容器底部相连的出液管以及设于出液管上的具有多个出水通道以改变水流形态的导流件,每个出水通道均具有进水口与出水口,该多个出水通道的进水口分布于该出液管周围且出水口与出液管相通。
2.根据权利要求1所述的防涡流出液装置,其特征在于:该导流件包括上水平导流板、下水平导流板及其两者之间的多个垂直导流板,该下水平导流板具有与出液管相通的孔,该垂直导流板分布于该孔的周围以形成多个出水通道。
3.根据权利要求2所述的防涡流出液装置,其特征在于:该垂直导流板具有长边,以该长边延长线与该孔相交的方向设置垂直导流板。
4.根据权利要求3所述的防涡流出液装置,其特征在于:该导流件具有八个垂直导流板,其长边延长线相交于同轴,且平均分布于该孔的周围。
5.根据权利要求2所述的防涡流出液装置,其特征在于:该上水平导流板为中间向上隆起的弧面盖板。
6.根据权利要求5所述的防涡流出液装置,其特征在于:该上水平导流板边缘与液体容器内壁的距离是该液体容器内径的1/50-1/3。
7.根据权利要求1所述的防涡流出液装置,其特征在于:该导流件包括多个与出液管相通的吸水管以形成多个出水通道,该多个吸水管的管口向下而设且分布于出液管周围。
8.根据权利要求7所述的防涡流出液装置,其特征在于:该吸水管具有向上弯曲的弯曲段,其管口设于弯曲段下端。
9.根据权利要求7所述的防涡流出液装置,其特征在于:该导流件具有四个吸水管,管口平均分布于出液管周围。
10.根据权利要求7所述的防涡流出液装置,其特征在于:该吸水管管口距离液体容器底面1-10cm。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105822612A (zh) * | 2016-06-02 | 2016-08-03 | 三河市新宏昌专用车有限公司 | 节油液压油箱 |
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CN109537553A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-29 | 北京绿景行科技发展有限公司 | 一种水面漂浮杂质清除设备 |
CN109612782A (zh) * | 2018-12-25 | 2019-04-12 | 水利部交通运输部国家能源局南京水利科学研究院 | 一种道路雨水径流自动采集装置及方法 |
CN113092334A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-07-09 | 中国神华煤制油化工有限公司 | 多地层渗透张量测量装置 |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105822612A (zh) * | 2016-06-02 | 2016-08-03 | 三河市新宏昌专用车有限公司 | 节油液压油箱 |
CN108294625A (zh) * | 2017-11-06 | 2018-07-20 | 无锡鼎加弘思饮品科技有限公司 | 一种可形成液体导流的饮料配料容器 |
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