CN203850341U - 一种柔性oled专用薄膜封装设备 - Google Patents

Abstract

一种柔性OLED专用薄膜封装设备，它主要包括：进口连接腔、转换腔、无机沉积模块、过渡腔、出口连接腔、有机沉积模块、系统电源及控制柜，所述的进口连接腔通过模块化连接着第一转换腔；所述第一转换腔通过中间起着传送基片作用的过渡腔连接着第二转换腔；所述第一转换腔和第二转换腔的上下分别各连接着带有根据柔性OLED专用薄膜封装工艺要求选择相应镀膜模块的无机沉积模块和有机沉积模块；所述第一转换腔和第二转换腔的腔体与镀膜模块之间由两转换腔上面的各自电控阀门隔离，并相互形成独立的气氛环境；它能在保证镀膜工艺的要求下设备采用二维直线构架,可独立装配，使系统的模块化整合与量产化相匹配。

Description

一种柔性OLED专用薄膜封装设备

技术领域

    本实用新型涉及的是一种柔性OLED专用薄膜封装设备，属于薄膜封装技术领域。

背景技术

OLED是主动发光器件，无需背光源，响应速度快，有机材料的发光光谱可调，其发光层是薄膜结构，因此在动态图像显示和色彩方面具有更大的优势，也更容易实现透明、柔性的显示方式。 OLED目前的主要应用还集中在手机和ipad上，未来将渗透至电视及照明更广的应用领域，可折叠弯曲的特性使其可以戴在手上、穿在身上，窗户、镜子、桌子与显示功能合二为一的愿景将成为可能。

    OLED封装从技术路线图上分析主要分三种：

（1）常规封装，这种常规封装方法，工艺成熟、价格较低，防水性一般；

（2）多层薄膜封装，价格较贵，防水性好；

（3）复合封装，价格适中，性能较好。

OLED薄膜封装设备是影响柔性OLED发展的关键瓶颈之一，封装设备完全依赖于外国进口，受制于国外的限制；目前国内的薄膜封装设备达不到超高水氧阻隔性能，不具备完整的柔性薄膜封装技术设备及产业应用链。

发明内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，而提出一种柔性OLED专用薄膜封装设备，它是在保证镀膜工艺要求下采用二维直线构架，可独立装配，使系统的模块化整合与量产化相匹配，在保证成膜均匀性与水氧阻隔性能的同时达到柔软化要求，为下一代柔性OLED提供技术保障。

本实用新型的目的是通过如下技术方案来完成的，它主要包括：进口连接腔、转换腔、无机沉积模块、过渡腔、出口连接腔、有机沉积模块、系统电源及控制柜，所述的进口连接腔通过模块化连接着第一转换腔；所述第一转换腔通过中间起着传送基片作用的过渡腔连接着第二转换腔；所述第一转换腔和第二转换腔的上下分别各连接着带有根据柔性OLED专用薄膜封装工艺要求选择相应镀膜模块的无机沉积模块和有机沉积模块；所述第一转换腔和第二转换腔的腔体与镀膜模块之间由两转换腔上面的各自电控阀门隔离，并相互形成独立的气氛环境。

所述的第一转换腔和第二转换腔主要由真空腔体、电控阀门、支架组成；所述的真空腔体由铝合金或不锈钢等材质密封制成，且所述真空腔体安放在支架上面；真空腔体的四个面都有电控阀门与其它腔体模块连接，并且各个腔体可独立成不同真空度及气氛环境。

所述的无机沉积模块主要由无机真空腔体、预备腔体、支架、真空泵系统组成；所述的无机真空腔体及预备腔体由铝合金或不锈钢等材质密封制成，且两个腔体均由支架支撑；所述真空泵系统与无机真空腔体以及预备腔体相连接，并根据不同的无机镀膜工艺要求被抽成不同真空度。

所述的有机沉积模块主要由有机真空腔体、预备腔体、支架、真空泵系统组成；所述的有机真空腔体及预备腔体由铝合金或不锈钢等材质密封制成，两个腔体相互连接在一起并由支架支撑；所述真空泵系统与有机真空腔体、预备腔体相连接，并根据不同的无机镀膜工艺要求抽成不同真空度。

本实用新型薄膜封装设备基片衬底由进口连接腔进片，通过转换腔在传到无机沉积模块和有机沉积模块进行第一次镀膜，之后再通过过渡腔4在传到下一个转换腔，在进入无机沉积模块和有机沉积模块进行第二次镀膜，这样可反复进行多次镀膜，最后镀好膜的基片衬底经过出口连接腔出片；薄膜封装设备的参数要求可独立设置也可由一中央控制台进行统一控制。

本实用新型所述的柔性OLED专用薄膜封装设备，具有如下明显有益效果：在保证镀膜工艺的要求下设备采用二维直线构架,可独立装配，使系统的模块化整合与量产化相匹配；本专利设备镀膜源使用高分子薄膜和氧化物薄膜的叠加水氧阻隔性更好；镀膜设备各个腔体模块化设计，可包容不同薄膜封装工艺的要求，便于柔性OLED技术与应用的推广实施。

附图说明

图1是本实用新型专利柔性OLED专用薄膜封装设备结构示意图。

图2是本实用新型专利薄膜封装设备转换腔模块结构示意图。

图3是本实用新型专利薄膜封装设备无机沉积模块结构示意图。

图4是本实用新型专利薄膜封装设备有机沉积模块结构示意图。。

具体实施方式

 附图中的标号如下：1—进口连接腔、2—第一转换腔、3—无机沉积模块、4—过渡腔、5—出口连接腔、6—有机沉积模块、7—系统电源及控制柜、8—第二转换腔、21—真空腔体、22—电控阀门、23—支架、31—无机真空腔体、32—预备腔体、33—支架、34—真空泵系统、61—有机真空腔体、62—预备腔体、63—支架、64—真空泵系统。

下面将结合附图对本实用新型作进一步描述：图1所示，它主要包括：进口连接腔1、第一转换腔2、无机沉积模块3、过渡腔4、出口连接腔5、有机沉积模块6、系统电源及控制柜7、第二转换腔8等组成。所述的进口连接腔1通过模块化连接第一转换腔2；第一转换腔2通过中间起着传送基片作用的过渡腔4连接着第二转换腔8；所述第一转换腔2和第二转换腔8的上下分别各连接着带有根据柔性OLED专用薄膜封装工艺要求选择相应镀膜模块的无机沉积模块3和有机沉积模块6；所述第一转换腔2和第二转换腔7的腔体与镀膜模块之间由两转换腔上面的各自电控阀门隔离，并相互形成独立的气氛环境；最后镀好薄膜的OLED通过第二转换腔8到出口连接腔5出去。

图2所示，所述的第一转换腔2和第二转换腔8主要由真空腔体21、电控阀门22、支架23组成；所述的真空腔体21由铝合金或不锈钢等材质密封制成，其能承受一定要求的真空度要求，并且真空腔体21安放在支架23上面；真空腔体21的四个面都有电控阀门22与其它腔体模块连接，并且各个腔体可独立成不同真空度及气氛环境。

图3所示，所述的无机沉积模块3主要由无机真空腔体31、预备腔体32、支架33、真空泵系统34组成；所述的无机真空腔体31及预备腔体32可由铝合金、不锈钢等材质等密封制成，且两个腔体相互独立能承受一定要求的真空度要求，并且腔体由支架23支撑。真空泵系统34与无机真空腔体31、预备腔体32相连接，根据不同的无机镀膜工艺要求抽成不同真空度。

图4所示，所述的有机沉积模块6主要由有机真空腔体61、预备腔体62、支架63、真空泵系统64组成；所述的有机真空腔体61及预备腔体62可由铝合金、不锈钢等材质等密封制成，两个腔体相互连接在一起且能够独立承受一定要求的真空度要求，并且腔体由支架63支撑。真空泵系统64与有机真空腔体61、预备腔体62相连接，根据不同的无机镀膜工艺要求抽成不同真空度。

实施例：

附图1、2、3、4所示，本实用新型所述的一种柔性OLED专用薄膜封装设备进口连接腔、转换腔、无机沉积模块、过渡腔、出口连接腔、有机沉积模块、系统电源及控制柜等组成；所述的两个转换腔2、8上下分别无机沉积模块3和有机沉积模块6，其腔体与镀膜模块之间由转换腔2上面的电控阀门22隔离，相互形成独立的气氛环境。左右两个转换腔2、8之间通过一个过渡腔4连接，起着传送基片的作用。所述的无机沉积模块3和有机沉积模块6分别由真空腔体、预备腔体、真空泵系统、支架组成，其真空腔体、预备腔体可以相互隔离形成不同要求的镀膜要求，腔体的真空度要求由真空泵系统根据设定的镀膜工艺要求来完成。

本实用新型薄膜封装设备基片衬底由进口连接腔1进片，通过第一转换腔2在传到无机沉积模块3和有机沉积模块6进行第一次镀膜，之后再通过过渡腔4在传到第二转换腔8，在进入无机沉积模块3和有机沉积模块6进行第二次镀膜，这样可反复进行多次镀膜，最后镀好膜的基片衬底经过出口连接腔5出片；薄膜封装设备的参数要求全部由系统电源及控制柜7来控制完成，可独立设置也可由一中央控制台进行统一控制。

本实用新型无机薄膜沉积模块主要采用线性低温磁控溅射技术，有机沉积模块采用一个线性有机镀膜源，左右两端配有控制挡板科保证镀膜工艺质量稳定。各个镀膜模块及腔体各自独立模块化设计，易于实现不同的工艺要求及产量要求。

Claims (4)

1.一种柔性OLED专用薄膜封装设备，它主要包括：进口连接腔、转换腔、无机沉积模块、过渡腔、出口连接腔、有机沉积模块、系统电源及控制柜，其特征在于所述的进口连接腔（1）通过模块化连接着第一转换腔（2）；所述第一转换腔（2）通过中间起着传送基片作用的过渡腔（4）连接着第二转换腔（8）；所述第一转换腔（2）和第二转换腔（8）的上下分别各连接着带有根据柔性OLED专用薄膜封装工艺要求选择相应镀膜模块的无机沉积模块（3）和有机沉积模块（6）；所述第一转换腔（2）和第二转换腔（8）的腔体与镀膜模块之间由两转换腔上面的各自电控阀门隔离，并相互形成独立的气氛环境。

2.根据权利要求1所述的柔性OLED专用薄膜封装设备，其特征在于所述的第一转换腔（2）和第二转换腔（8）主要由真空腔体（21）、电控阀门（22）、支架（23）组成；所述的真空腔体（21）由铝合金或不锈钢材质密封制成，且所述真空腔体（21）安放在支架（23）上面；真空腔体（21）的四个面都有电控阀门（22）与其它腔体模块连接，并且各个腔体可独立成不同真空度及气氛环境。

3.根据权利要求1所述的柔性OLED专用薄膜封装设备，其特征在于所述的无机沉积模块（3）主要由无机真空腔体（31）、预备腔体（32）、支架（33）、真空泵系统（34）组成；所述的无机真空腔体（31）及预备腔体（32）由铝合金或不锈钢材质密封制成，且两个腔体均由支架（23）支撑；所述真空泵系统（34）与无机真空腔体（31）以及预备腔体（32）相连接，并根据不同的无机镀膜工艺要求被抽成不同真空度。

4.根据权利要求1所述的柔性OLED专用薄膜封装设备，其特征在于所述的有机沉积模块（6）主要由有机真空腔体（61）、预备腔体（62）、支架（63）、真空泵系统（64）组成；所述的有机真空腔体（61）及预备腔体（62）由铝合金或不锈钢材质密封制成，两个腔体相互连接在一起并由支架（63）支撑；所述真空泵系统（64）与有机真空腔体（61）、预备腔体（62）相连接，并根据不同的无机镀膜工艺要求抽成不同真空度。