CN203824535U - 一种桶式基座面心偏差检测仪 - Google Patents
一种桶式基座面心偏差检测仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203824535U CN203824535U CN201420115773.XU CN201420115773U CN203824535U CN 203824535 U CN203824535 U CN 203824535U CN 201420115773 U CN201420115773 U CN 201420115773U CN 203824535 U CN203824535 U CN 203824535U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- detector
- area deviation
- laser ranging
- deviation detector
- ranging probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 32
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims abstract description 25
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 12
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 6
- 210000004877 mucosa Anatomy 0.000 claims description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 10
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003203 everyday effect Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种桶式基座面心偏差检测仪，该检测仪是一种在密闭塑料外壳中安装有数显仪表、开关、电池、高温导线、航空接头和激光测距探头等部件以及供激光探头固定、升降及旋转的装置。本实用新型采用高精度激光传感器对位置距离进行量测，测试时保持仪器位置固定不动，基座旋转到每个面进行测量。本实用新型可以在工艺生产过程中测试基座面心偏差，控制偏差过大导致的工艺均匀性差产生废品的问题，这种测试方式对基座没有玷污风险，能方便在生产装取片期间随时检测，因为可以高温测试，去除了基座冷却到室温的时间，仪器测量时间相对产能无影响，具有较好的经济收益。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体行业中一种桶式基座各装片面到中心轴距离面心偏差检测仪器装置，能高精度非接触式显示微小的偏差数值，可以在生产过程中被测目标物体高温状态下测量，能满足10级的超净环境使用要求。
背景技术
半导体行业硅晶圆片批量生产的气相沉积设备大量使用桶式基座，桶式基座外表为高纯碳化硅材料，在密闭腔体内采用高纯气体进行生产，气体总杂质含量一般要求1PPM以下，因此基座表面不允许有任何玷污。基座装取片操作时对环境洁净度要求为10级超净环境，正常装取硅片时基座温度在200摄氏度以上。目前传统的测量监控采用固定塑料顶杆，旋转观察各装片面到中心轴面心偏差间隙，监控过程需要接触才能实现，同时被测物体存在受玷污的风险，而且不能准确读出数值。因需要手动调节顶杆位置，在生产的装取片过程中基座高温状态时不能量测，需要等待基座冷却后进行。市面上常规的激光测距一般为米级量程，精度为毫米级，不能满足量程需求，但采用特定的激光测微距探头使得微小距离的准确测量可以实现，误差可达正负0.1mm精度，因非接触式测量，可以在200摄氏度时直接测量。
发明内容
针对现有技术中存在的量测手段对生产过程中桶式基座面心偏差检测能力不足等问题，本实用新型提供了一种桶式基座面心偏差检测仪，采用特定的激光测距探头，为非接触式测量，量测误差正负0.1mm精度，可以准确测出正常1到2毫米的桶式基座面心偏差，体积小为便携式，本身无颗粒产生，适用于10级超净环境。
本实用新型的技术解决方案是：一种桶式基座面心偏差检测仪，其特征在于：在密闭塑料外壳中，安装有数显仪表、开关、电池、高温导线、航空接头和激光测距探头及能够使激光测距探头升降、旋转的固定装置，所述数显仪表、开关、电池、航空接头安装在所述塑料外壳底座上侧面，所述激光测距探头通过所述固定装置安装在PVC管上。
所述激光测距探头采用塑料件安装固定在所述塑料外壳上，为满足测试调节要求，探头的仰角可以微调，高度可以上下移动一段距离，并可以左右旋转方向。所述激光测距探头的仰角在-10°到5°微调；所述PVC管放入PVC套管内，所述PVC套管安装在所述塑料外壳底座上；所述数显仪表、开关、电池分别由所述高温导线连接。
这种方法是一种非接触式量程，对基座的温度没有要求，能够在生产过程中进行基座面心偏差的实时监控，对产能无影响，保证了生产的延续性。检测仪设有配套的充电器，为体现便携式要求，仪器工作时由蓄电池供电，总耗电量很低,充一次电可以使用多天，当打开电源开关后，激光测距探头通电，发出激光照射在被测基座表面，激光传感器读出距离值，采用4-20mA标准信号传递到数显仪表，数显仪表按量程换算显示为毫米数值，方便人工读取。为确保充电连接可靠，极性不会反，充电器与仪器的连接采用航空接头。它还设有把手，所述把手安装在所述塑料外壳底座侧面。测试时保持仪器位置固定不动，基座旋转到每个面进行测量，记录数据并计算偏差。检测仪整机外露部位材质选择塑料材质，可以避免引入颗粒和金属玷污，使其可适用于洁净环境。
本实用新型的有益效果是：本实用新型可以在工艺生产过程中测试基座面心偏差，控制WR膜厚均匀性差导致的后继工艺，进而导致批次性产品报废从而给生产企业带来经济损失的问题。本实用新型的测试方式对基座没有玷污风险，方便在生产装取片期间随时检测，因为可以高温测试，节省了基座冷却到室温的时间，对产能无影响，保证了生产的延续性。本实用新型因为提升了WR膜厚均匀性在生产过程中的控制能力，减少了批次性废品风险，而具有显著的经济收益。
附图说明
图1是本实用新型电路原理图。
图2是本实用新型中测距仪的机构图。
图3是本实用新型中测距应用示意图。
图中：1、塑料外壳底座；2、 数显仪表；3、开关；4、电池；5、航空接头；6、高温导线；7、把手； 8、塑料外盖壳及密封圈；9、特定的激光测距探头，型号CP24MHT80 ；10、激光探头固定装置；11、 充电器；12、LED指示灯；13、稳压管；14、电阻；15、PVC T型头；16、PVC管，外径20mm；17、PVC套管，内径20mm；18、PP六角螺丝，M5*20mm；19、桶式基座；20、偏差检测仪。
具体实施方式
以下结合附图，通过具体实施例对本实用新型技术方案做进一步的说明。
本实施例的桶式基座面心偏差检测仪，采用特定的激光传感器对位置距离进行量测，测试时保持仪器位置固定不动，基座旋转到每个面进行测量。传统的顶杆间隙面心偏差测量需要接触才能实现，被测基座存在受玷污的风险，无法在生产过程中高温装取片状态量测，而本检测仪采用激光测试方式，非接触式量程，对基座的温度没有要求，实现了在生产过程中进行基座面心偏差的实时监控，对产能无影响，保证了生产的延续性。在密闭塑料外壳中，安装数显仪表，开关，电池，高温导线，航空接头，激光测距探头及供激光探头升降、旋转及固定的装置，可适用于洁净环境，整机外露部位选择塑料材质避免引入颗粒和金属玷污；激光测距探头发出激光照射在被测基座表面，读出距离值，信号传递到数显仪表，数显仪表按量程换算显示为毫米数值；激光测距探头采用塑料件安装固定在外壳上，为满足测试调节要求，探头的仰角可以微调，高度可以上下移动一段距离，并可以左右旋转方向；体现便携式要求，仪器工作时由蓄电池供电，充一次电可以使用多天；为确保充电连接可靠，极性不会反，充电器与仪器的连接采用航空接头。
如图1所示，图1为本实用新型电路原理图。本实施例的桶式基座面心偏差检测仪20在充电时，充电器11通过航空接头5与仪器连接，给电池4充电，充电约2小时，完成后充电器11指示灯红变绿，拔下航空接头5，仪器可便携移动；电池4为24VDC/1600毫安时密封蓄电池，仪器工作时总耗电约为80毫安时，电池供电可以连续16小时，按每次2分钟测试时间，每天测试100次估算，正常可以使用5天以上；电池4通过开关3给激光测距探头9和数显仪表2供电，为减少颗粒，电路连接采用表面光洁的高温导线6；激光测距探头9和数显仪表2连接信号线，传递电流信号，供电后期电池4储电量下降会导致电压下降，电路中增加了LED指示灯12、稳压管13及电阻14串联的电路，电压较低时LED指示灯12会变暗直到熄灭，以指示电量，使用中若LED指示灯12变暗至熄灭，应及时充电。
如图2所示，图2是本实用新型中测距仪的机构图。本实施例中，PVC塑料外壳底座1、PVC塑料外盖壳及密封圈8安装好后平放尺寸为长宽高为200mm*150mm*80mm；数显仪表2、开关3、电池4、 航空接头5按图示位置安装在PVC塑料外壳底座1上侧面，激光测距探头9用激光固定装置10安装在外径20mmPVC管16上，仰角可以-10°到5°微调；PVC管16放入内径20mm PVC套管17内，PVC套管17如图示安装在PVC塑料外壳底座1上，PVC套管17侧面开孔攻丝，安装M5*20mm PP六角螺丝18，旋紧PP六角螺丝18可以将PVC管16固定在PVC套管17上；松开PP六角螺丝18，激光测距探头9可以上下移动约100mm，顺时针或逆时针旋转180°以上。为防止PVC管16脱出，其下端安装PVCT型头15卡住。LED指示灯12安装在开关3边上；稳压管13、电阻14，因体积较小，直接焊接接在LED指示灯12上，并用热缩套管保护；把手7安装在PVC塑料外壳底座1侧面；电气接线采用高温导线6按原理图所示连接。
如图3所示，图3是本实用新型中测距应用示意图。图中，桶式基座19处于生产装片位置，偏差检测仪20放置于基座侧前方，调整测距仪探头与基座位置在120mm正负40mm，调整探头高度，上下角度和左右方向，将激光基本垂直照射在基座表面，保持量测时偏差检测仪20位置固定不变，旋转桶式基座19到各个面的位置，记录测量数据，并计算偏差，记录数据最终用于生产过程中工艺均匀性的稳定性控制。
以上所述仅为本实用新型之较佳实施例而已，并非以此限制本实用新型的实施范围，凡熟悉此项技术者，运用本实用新型的原则及技术特征，所作的各种变更及装饰，皆应涵盖于本权利要求书所界定的保护范畴之内。
Claims (6)
1.一种桶式基座面心偏差检测仪，其特征在于：在密闭塑料外壳中，安装有数显仪表、开关、电池、高温导线、航空接头和激光测距探头及能够使激光测距探头升降、旋转的固定装置，所述数显仪表、开关、电池、航空接头安装在所述塑料外壳底座上侧面，所述激光测距探头通过所述固定装置安装在PVC管上。
2.根据权利要求1所述的桶式基座面心偏差检测仪，其特征在于：所述激光测距探头采用塑料件安装固定在所述塑料外壳上，所述激光测距探头的仰角能够微调，高度上下移动一段距离，并左右旋转方向。
3.根据权利要求2所述的桶式基座面心偏差检测仪，其特征在于：所述激光测距探头的仰角在-10°到5°微调；所述PVC管放入PVC套管内，所述PVC套管安装在所述塑料外壳底座上；所述数显仪表、开关、电池分别由所述高温导线连接。
4.根据权利要求1所述的桶式基座面心偏差检测仪，其特征在于：检测仪工作时由蓄电池供电，充电器与检测仪的连接采用所述航空接头。
5.根据权利要求1至4之一所述的桶式基座面心偏差检测仪，其特征在于：它还设有把手，所述把手安装在所述塑料外壳底座侧面；所述激光测距探头对位置距离进行量测，测试时保持仪器位置固定不动，基座旋转到每个面进行测量。
6.根据权利要求5所述的桶式基座面心偏差检测仪，其特征在于：所述激光测距探头发出激光照射在被测基座表面，读出距离值，信号传递到所述数显仪表，数显仪表按量程换算显示为毫米数值。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420115773.XU CN203824535U (zh) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | 一种桶式基座面心偏差检测仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420115773.XU CN203824535U (zh) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | 一种桶式基座面心偏差检测仪 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203824535U true CN203824535U (zh) | 2014-09-10 |
Family
ID=51480020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420115773.XU Expired - Lifetime CN203824535U (zh) | 2014-03-14 | 2014-03-14 | 一种桶式基座面心偏差检测仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203824535U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110687372A (zh) * | 2019-09-24 | 2020-01-14 | 广东省医疗器械质量监督检验所 | 一种用于辐射发射试验天线塔位置调节的装置及方法 |
-
2014
- 2014-03-14 CN CN201420115773.XU patent/CN203824535U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110687372A (zh) * | 2019-09-24 | 2020-01-14 | 广东省医疗器械质量监督检验所 | 一种用于辐射发射试验天线塔位置调节的装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103197147B (zh) | 一种太阳能电池多功能接触电阻自动测量仪及其测量系统 | |
| CN203941232U (zh) | 一种雾化器电阻在线检测装置 | |
| CN202083309U (zh) | 大量程通用卡尺自动检定装置 | |
| CN207170304U (zh) | 锂电池盖帽半成品表面纹理及超声焊接自动化检测设备 | |
| CN103322952B (zh) | 滑块端面跳动数字化检测机 | |
| CN111351454A (zh) | 一种玻璃板退火段平整度在线检测装置 | |
| CN108061541A (zh) | 一种土木工程用水平仪 | |
| CN203824535U (zh) | 一种桶式基座面心偏差检测仪 | |
| CN210400238U (zh) | 锂电池极片在线厚度检测装置 | |
| CN207180659U (zh) | 土木施工用测量装置 | |
| CN203658557U (zh) | 磁通量测试机 | |
| CN103575530A (zh) | 智控双啮合汽车齿轮精度检测系统 | |
| CN205049177U (zh) | 圆柱滚子超精磨削精度和表面质量在线监测装置 | |
| CN207763674U (zh) | 一种汽车变速箱齿轮高度检测工装 | |
| CN207581925U (zh) | 蒸发率检测系统 | |
| CN104457495A (zh) | 位移传感器检测装置 | |
| CN204007388U (zh) | 一种测量坩埚尺寸的工具 | |
| CN207275856U (zh) | 一种卷料余料量监测装置及系统 | |
| CN204649278U (zh) | 带有可调式恒压电源的燃气表整表检测跑合台 | |
| CN208238738U (zh) | 一种锂离子电池极片在线测厚装置 | |
| CN201108998Y (zh) | 一种与快走丝线切割机床配套使用的校调器 | |
| CN203178035U (zh) | 一种轴承密封状态测量装置 | |
| CN202210003U (zh) | 一种热电偶及仪表的校准系统 | |
| CN104713640B (zh) | 室内光照度智能测量装置及其运行方法 | |
| CN103630924A (zh) | 全身放射性表面污染监测系统的多维检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20140910 |