CN203810898U - 一种微波真空热压炉 - Google Patents

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叶乾旭
彭金辉
朱红波
张利波
陈菓
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本实用新型涉及一种微波真空热压炉,属于微波冶金设备技术领域。该微波真空热压炉,所述微波腔体内层通过腔体内外层连接件与微波腔体外层连接构成微波腔体,微波腔体上设有至少四个磁控管,微波腔体外层分别设有至少一个进水管和出水管,微波腔体内层顶端设有真空泵接口,微波腔体外层顶端的中间位置设有插入至微波腔体内层内部的液压杆,液压杆能在微波腔体内层内部垂直运动,液压杆底端端部通过上热压头连接层和连接孔与上热压头连接,液压杆竖直对应且位于微波腔体外层的底端上设有下热压头底座,热压头底座通过下热压头连接层与下热压头连接,微波腔体内层内部设有保温体。本实用新型结构简单、使用方便,且使热压工艺与微波加热结合起来。

Description

一种微波真空热压炉
技术领域
本实用新型涉及一种微波真空热压炉,属于微波冶金设备技术领域。
背景技术
真空热压炉被广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理,也可在充气保护情况下热压成形烧结。
目前其发热原理主要有三种。第一,感应加热,由电感线圈与电子振荡器结合在磨具内部产生高频电磁场而生热,磨具材质一般采用石墨或钢材,其优点是压力和感应热可完全独立控制,缺点是高频发生器昂贵,并且要求磨具具有极高的同轴精度和极佳的热传导性能,否则加热将极不均匀。第二,间接电阻加热,将磨具置入装有石墨加热元件的腔体内,先利用电流对石墨元件进行加热,再靠气体的对流传热来对磨具进行加热,优点是模具可达到极高的温度,加热和压力相对独立控制,最主要的缺点是磨具升温所需时间长。第三,场辅助加热,始于1933年的直接利用硬质合金粉末的电阻进行电阻加热的快速直接热压技术和采用脉冲直流电的放电等离子体加热,其优点是缩短了升温时间,避免了晶粒的生长并节省了能耗。
目前所采用的热压头都是钢铁材质,具有很高的热传导系数和反射微波的特点。前者会导致,随着处理温度的升高,物料热量会很快地被压头“吸走”,大量热量被压头这个蓄热体无谓消耗,使物料升温减缓,造成能量的浪费;后者会导致物料上下两断面不能很好的得到微波的辐照,降低微波加热效率和物料升温速率。
微波加热是新近发展起来并日渐成熟的加热技术,具有非接触式直接加热,体加热,升温速率快,能促进粒子间的渗透,能及时对所处理物料进行控温等优点。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题及不足,本实用新型提供一种微波真空热压炉。该微波真空热压炉采用微波加热,可使物料实现非接触式的直接快速加热,具体就是实现非接触式的直接快速加热,减少物料热量的无谓流失,同时可使热压工艺与微波加热的优点充分结合起来,本实用新型通过以下技术方案实现。
一种微波真空热压炉,包括进水管1、真空泵接口2、液压杆3、出水管4、腔体内外层连接件5、上热压头连接层6、磁控管7、上热压头8、下热压头底座9、过滤头10、连接孔11、下热压头12、保温体13、下热压头连接层14、微波腔体内层15、微波腔体外层16,所述微波腔体内层15通过腔体内外层连接件5与微波腔体外层16连接构成微波腔体,微波腔体上设有至少四个磁控管7,微波腔体外层16分别设有至少一个进水管1和出水管4,微波腔体内层15顶端设有真空泵接口2,微波腔体外层16顶端的中间位置设有插入至微波腔体内层15内部的液压杆3,液压杆3能在微波腔体内层15内部垂直运动,液压杆3底端端部通过上热压头连接层6和连接孔11与上热压头8连接,液压杆3竖直对应且位于微波腔体外层16的底端上设有下热压头底座9,热压头底座9通过下热压头连接层14与下热压头12连接,微波腔体内层15内部设有保温体13。
所述上热压头8和下热压头12材质为石英类透波陶瓷材料。
所述保温体13为硅酸铝纤维耐高温轻质透波保温材料。
该装置的使用方法为:打开炉门,将处理物料放置于热压头12中间,关上炉门,在真空泵接口2上接入真空泵,开启真空泵当真空度到达设定值时,开启磁控管7进行微波加热,同时开启液压机构,加热到一定的时间该装置整体温度较高,向各个进水管1中通入冷却水对炉壁进行冷却,使炉外操作安全且能防止腔体变形影响密封性能。
本实用新型的有益效果是:(1)该微波真空热压炉采用微波加热,可使物料实现非接触式的直接快速加热,具体就是实现非接触式的直接快速加热,减少物料热量的无谓流失,同时可使热压工艺与微波加热的优点充分结合起来;(2)本实用新型结构简单、使用方便。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图。
图中:1-进水管,2-真空泵接口,3-液压杆,4-出水管,5-腔体内外层连接件,6-上热压头连接层,7-磁控管,8-上热压头,9-下热压头底座,10-过滤头,11-连接孔,12-下热压头,13-保温体,14-下热压头连接层,15-微波腔体内层,16-微波腔体外层。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式,对本实用新型作进一步说明。
实施例1
如图1所示,该微波真空热压炉,包括进水管1、真空泵接口2、液压杆3、出水管4、腔体内外层连接件5、上热压头连接层6、磁控管7、上热压头8、下热压头底座9、过滤头10、连接孔11、下热压头12、保温体13、下热压头连接层14、微波腔体内层15、微波腔体外层16,所述微波腔体内层15通过腔体内外层连接件5与微波腔体外层16连接构成微波腔体,微波腔体上设有四个磁控管7,微波腔体外层16分别设有三个进水管1和出水管4,微波腔体内层15顶端设有真空泵接口2,微波腔体外层16顶端的中间位置设有插入至微波腔体内层15内部的液压杆3,液压杆3能在微波腔体内层15内部垂直运动,液压杆3底端端部通过上热压头连接层6和连接孔11与上热压头8连接,液压杆3竖直对应且位于微波腔体外层16的底端上设有下热压头底座9,热压头底座9通过下热压头连接层14与下热压头12连接,微波腔体内层15内部设有保温体13。
其中上热压头8和下热压头12材质为石英类透波陶瓷材料;保温体13为硅酸铝纤维耐高温轻质透波保温材料。
实施例2
该微波真空热压炉,包括进水管1、真空泵接口2、液压杆3、出水管4、腔体内外层连接件5、上热压头连接层6、磁控管7、上热压头8、下热压头底座9、过滤头10、连接孔11、下热压头12、保温体13、下热压头连接层14、微波腔体内层15、微波腔体外层16,所述微波腔体内层15通过腔体内外层连接件5与微波腔体外层16连接构成微波腔体,微波腔体上设有至少四个磁控管7,微波腔体外层16分别设有至少一个进水管1和出水管4,微波腔体内层15顶端设有真空泵接口2,微波腔体外层16顶端的中间位置设有插入至微波腔体内层15内部的液压杆3,液压杆3能在微波腔体内层15内部垂直运动,液压杆3底端端部通过上热压头连接层6和连接孔11与上热压头8连接,液压杆3竖直对应且位于微波腔体外层16的底端上设有下热压头底座9,热压头底座9通过下热压头连接层14与下热压头12连接,微波腔体内层15内部设有保温体13。
其中上热压头8和下热压头12材质为石英类透波陶瓷材料;保温体13为硅酸铝纤维耐高温轻质透波保温材料。
实施例3
该微波真空热压炉,包括进水管1、真空泵接口2、液压杆3、出水管4、腔体内外层连接件5、上热压头连接层6、磁控管7、上热压头8、下热压头底座9、过滤头10、连接孔11、下热压头12、保温体13、下热压头连接层14、微波腔体内层15、微波腔体外层16,所述微波腔体内层15通过腔体内外层连接件5与微波腔体外层16连接构成微波腔体,微波腔体上设有六个磁控管7,微波腔体外层16分别设有四个进水管1和出水管4,微波腔体内层15顶端设有真空泵接口2,微波腔体外层16顶端的中间位置设有插入至微波腔体内层15内部的液压杆3,液压杆3能在微波腔体内层15内部垂直运动,液压杆3底端端部通过上热压头连接层6和连接孔11与上热压头8连接,液压杆3竖直对应且位于微波腔体外层16的底端上设有下热压头底座9,热压头底座9通过下热压头连接层14与下热压头12连接,微波腔体内层15内部设有保温体13。
其中上热压头8和下热压头12材质为石英类透波陶瓷材料;保温体13为硅酸铝纤维耐高温轻质透波保温材料。

Claims (3)

1.一种微波真空热压炉,其特征在于:包括进水管(1)、真空泵接口(2)、液压杆(3)、出水管(4)、腔体内外层连接件(5)、上热压头连接层(6)、磁控管(7)、上热压头(8)、下热压头底座(9)、过滤头(10)、连接孔(11)、下热压头(12)、保温体(13)、下热压头连接层(14)、微波腔体内层(15)、微波腔体外层(16),所述微波腔体内层(15)通过腔体内外层连接件(5)与微波腔体外层(16)连接构成微波腔体,微波腔体上设有至少四个磁控管(7),微波腔体外层(16)分别设有至少一个进水管(1)和出水管(4),微波腔体内层(15)顶端设有真空泵接口(2),微波腔体外层(16)顶端的中间位置设有插入至微波腔体内层(15)内部的液压杆(3),液压杆(3)能在微波腔体内层(15)内部垂直运动,液压杆(3)底端端部通过上热压头连接层(6)和连接孔(11)与上热压头(8)连接,液压杆(3)竖直对应且位于微波腔体外层(16)的底端上设有下热压头底座(9),热压头底座(9)通过下热压头连接层(14)与下热压头(12)连接,微波腔体内层(15)内部设有保温体(13)。
2.根据权利要求1所述的微波真空热压炉,其特征在于:所述上热压头(8)和下热压头(12)材质为石英类透波陶瓷材料。
3.根据权利要求1所述的微波真空热压炉,其特征在于:所述保温体(13)为硅酸铝纤维耐高温轻质透波保温材料。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN104567370A (zh) * 2014-12-10 2015-04-29 昆明理工大学 一种微波双螺旋管式炉和利用该微波双螺旋管式炉与矿热炉联合制备锰铁合金的方法
CN104810300A (zh) * 2015-03-31 2015-07-29 山西南烨立碁光电有限公司 新型Wafer Bonding设备
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